下载基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置的技术资料

文档序号:19485718

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本发明公开了一种基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置,采用点光源经扩束系统产生标准平面波,经透射被测光学系统,分光棱镜、移相器,以可变性反射镜作为反射波面,获取光学系统的干涉条纹,通过控制可变性反射镜的变形量获取均匀干涉条纹,则反射镜的...
该专利属于西安应用光学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安应用光学研究所授权不得商用。

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