太阳能电池基底的清洗方法及太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术适用于太阳能电池技术领域，提供了一种太阳能电池基底的清洗方法及太阳能电池的制备方法，太阳能电池基底的清洗方法包括：在基底背面经离子注入处理后，对所述基底的正面进行氧化处理，其中，所述基底的正面为所述基底背面的相对面；对氧化处理后的基底进行清洗处理。本发明专利技术能够将基底正面沉积的磷清洗干净。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池基底的清洗方法及太阳能电池的制备方法
本专利技术属于太阳能电池
，尤其涉及一种太阳能电池基底的清洗方法及太阳能电池的制备方法。
技术介绍
在制备N型离子注入太阳能电池的过程中，基底的背面经离子注入工艺注入磷后，会在基底的正面沉积磷，基底正面沉积的磷会导致制备的太阳能电池漏电，且在对太阳能电池进行电致发光测试时，会产生水印，因此，需要通过清洗工艺将基底正面沉积的磷完全去除。通常，通过双氧水、盐酸、氢氟酸等化学品对基底进行清洗，但是，这种清洗方法常常导致基底正面沉积的磷清洗不干净。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种太阳能电池基底的清洗方法及太阳能电池的制备方法，以解决现有技术中基底正面沉积的磷清洗不干净的问题。本专利技术实施例的第一方面提供了一种太阳能电池基底的清洗方法，包括：在基底背面经离子注入处理后，对所述基底的正面进行氧化处理，其中，所述基底的正面为所述基底背面的相对面；对氧化处理后的基底进行清洗处理。可选的，对所述基底的正面进行气体氧化处理。进一步的，所述对所述基底的正面进行氧化处理，包括：将所述基底放入石英舟中，使所述基底的正面与空气接触；将所述石本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池基底的清洗方法，其特征在于，包括：在基底背面经离子注入处理后，对所述基底的正面进行氧化处理，其中，所述基底的正面为所述基底背面的相对面；对氧化处理后的基底进行清洗处理。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池基底的清洗方法，其特征在于，包括：在基底背面经离子注入处理后，对所述基底的正面进行氧化处理，其中，所述基底的正面为所述基底背面的相对面；对氧化处理后的基底进行清洗处理。2.如权利要求1所述的太阳能电池基底的清洗方法，其特征在于，对所述基底的正面进行气体氧化处理。3.如权利要求2所述的太阳能电池基底的清洗方法，其特征在于，所述对所述基底的正面进行氧化处理，包括：将所述基底放入石英舟中，使所述基底的正面与空气接触；将所述石英舟放入反应炉中，并将所述反应炉的温度升高至预设温度；在所述反应炉中通入干燥的氧气，对所述基底的正面进行氧化处理。4.如权利要求1所述的太阳能电池基底的清洗方法，其特征在于，采用强氧化溶液对所述基底的正面进行氧化处理。5.如权利要求4所述的太阳能电池基底的清洗方法，其特征在于，所述强氧化溶液为硝酸；所述对所述基底的正面进行氧化处理，包括：将所述基底放入硝酸中氧化100秒至800秒，其中，所述硝酸的体积浓度为范围10％至50％。6.如权利要求1至5任一项所述的太阳能电池基底...

【专利技术属性】
技术研发人员：马红娜，李锋，史金超，汤欢，王平，李拯宇，李桐，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13