一种便于检修的独立式晶圆捡选机制造技术

本发明专利技术公开了一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架、捡选机主体、装料桶车以及传送带支架下侧的支撑机构，所述传送带支架侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口、挡板、凹槽、弹簧、托盘、海绵软体、魔术贴A面、魔术贴B面和海绵保护条，所述传送带支架安装固定在捡选机主体的侧面；该发明专利技术设置有防护机构，防止晶圆在捡选的过程中被碰坏，降低晶圆生产成本，且海绵保护条通过魔术贴A面与魔术贴B面粘合固定在挡板侧面，方便用户安装固定和拆卸更换，保证海绵保护条的防护功能，并提高用户的工作效率，海绵软体通过固定块和卡槽固定，方便海绵软体拆卸更换和检修，增加海绵软体的持续防护效果。

【技术实现步骤摘要】
一种便于检修的独立式晶圆捡选机
本专利技术属于晶圆捡选机
，具体涉及一种便于检修的独立式晶圆捡选机。
技术介绍
晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的不同尺寸的晶圆，如8英寸晶圆、12英寸晶圆等，晶圆捡选机是将随机的、不同尺寸的晶圆，按其要求进行分类（按产品类别或产品目的地不同分）的一种物料搬运设备。现有的晶圆捡选机在使用过程中，晶圆在捡选出口容易被碰伤，导致晶圆损坏，并浪费晶圆材料，或者晶圆使用人工捡选，浪费人力和财力，增加晶圆成本且捡选完成的晶圆运输不方便的问题，为此我们提出一种便于检修的独立式晶圆捡选机。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种便于检修的独立式晶圆捡选机，以解决上述
技术介绍
中提出现有的晶圆捡选机在使用过程中，晶圆在捡选出口容易被碰伤，导致晶圆损坏，并浪费晶圆材料，或者晶圆使用人工捡选，浪费人力和财力，增加晶圆成本且捡选完成的晶圆运输不方便的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种便于检修本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架（3）、捡选机主体（6）、装料桶车（9）以及传送带支架（3）下侧的支撑机构，其特征在于：所述传送带支架（3）侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口（7）、挡板（8）、凹槽（10）、弹簧（11）、托盘（12）、海棉软体（15）、魔术贴A面（16）、魔术贴B面（17）和海绵保护条（18），所述传送带支架（3）安装固定在捡选机主体（6）的侧面，所述装料桶车（9）安装放置在传送带支架（3）的一侧，所述装料桶车（9）的侧面设置有把手，所述捡选口（7）开设在传送带支架（3）的侧面，所述挡板（8）对称安装固定在捡选口（7）的两侧，所述凹槽（10）开设在装...

【技术特征摘要】
1.一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架（3）、捡选机主体（6）、装料桶车（9）以及传送带支架（3）下侧的支撑机构，其特征在于：所述传送带支架（3）侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口（7）、挡板（8）、凹槽（10）、弹簧（11）、托盘（12）、海棉软体（15）、魔术贴A面（16）、魔术贴B面（17）和海绵保护条（18），所述传送带支架（3）安装固定在捡选机主体（6）的侧面，所述装料桶车（9）安装放置在传送带支架（3）的一侧，所述装料桶车（9）的侧面设置有把手，所述捡选口（7）开设在传送带支架（3）的侧面，所述挡板（8）对称安装固定在捡选口（7）的两侧，所述凹槽（10）开设在装料桶车（9）的内表面，所述弹簧（11）的底端放置在凹槽（10）的内部，所述托盘（12）安装固定在弹簧（11）的顶端并放置在装料桶车（9）的内部，所述魔术贴A面（16）安装固定在挡板（8）的表面，所述魔术贴B面（17）安装固定在魔术贴A面（16）的侧面，所述海绵保护条（18）安装固定在魔术贴B面（17）的侧面，所述海绵保护条（18）通过魔术贴A面（16）与魔术贴B面（17）粘合固定在挡板（8）的侧面，所述传送带支架（3）的上侧设置有固定机构。2.根据权利要求1所述的一种便于检修的独立式...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪文坚，李锋，王丽，刘少丽，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32