下载一种便于检修的独立式晶圆捡选机的技术资料

文档序号:19465363

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本发明公开了一种便于检修的独立式晶圆捡选机,包括传送带支架、捡选机主体、装料桶车以及传送带支架下侧的支撑机构,所述传送带支架侧面设置有防护机构,所述防护机构包括捡选口、挡板、凹槽、弹簧、托盘、海绵软体、魔术贴A面、魔术贴B面和海绵保护条,所...
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