一种离子液体电沉积电镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种离子液体电沉积电镀装置，包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，整体结构设计合理，工件首先在第一隔离室脱水脱氧处理后，之后进入第二隔离室作离子液体电沉积电镀处理，最后进入第三隔离室作清洗处理，全过程在密封无氧无水环境下进行，无需人工操作自动化程度高，电脑控制提高了设备的可控性和灵活性，使用范围广操作简单实用。

【技术实现步骤摘要】
一种离子液体电沉积电镀装置
本技术涉及电镀领域，具体涉及一种离子液体电沉积电镀装置。
技术介绍
低温离子液体电沉积技术是目前电镀行业向高效环保电镀发展的一个新方向，它有别于传统的电沉积电镀，不用水，不会产生大量废液非常环保，整个加工过程只需在室温或接近室温下进行，具有能耗低，无污染，条件温和等优点，可大幅降低能耗和生产成本，具有巨大的发展潜力，因此深受电镀厂家青睐，低温离子液体电沉积需通过专门的电沉积电镀装置来进行，以满足其在无水，无氧的工艺条件下工作，但是现有的电沉积电镀装置结构较为复杂，适用性有所不足，较难提供无水无氧环境。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供了一种离子液体电沉积电镀装置，使用本技术的装置能够满足在无水无氧的环境下对工件实现整个离子液体电沉积电镀过程，具体技术方案如下：一种离子液体电沉积电镀装置，包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，第一隔离室内部安装前处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子液体电沉积电镀装置，其特征在于：包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，第一隔离室内部安装前处理槽, 第二隔离室内部安装液态离子电镀槽，第三隔离室安装溶剂清洗槽，第一密封门安装在第一隔离室侧方控制外部空间连通第一隔离室，第二密封门安装在第一隔离室与第二隔离室之间控制第一隔离室连通第二隔离室，第三密封门安装在第二隔离室与第三隔离室控制第二隔离室连通第三隔离室，第四密封门安装在第三隔离室...

【技术特征摘要】
1.一种离子液体电沉积电镀装置，其特征在于：包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，第一隔离室内部安装前处理槽,第二隔离室内部安装液态离子电镀槽，第三隔离室安装溶剂清洗槽，第一密封门安装在第一隔离室侧方控制外部空间连通第一隔离室，第二密封门安装在第一隔离室与第二隔离室之间控制第一隔离室连通第二隔离室，第三密封门安装在第二隔离室与第三隔离室控制第二隔离室连通第三隔离室，第四密封门安装在第三隔离室侧方控制外部空间连通第三隔离室，第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室内部分别安装有一夹取输送工件的机械手，第一隔离室上方通过管路连接第一真空阀门，第二隔离室上方通过管路连接第二真空阀门，第三隔离...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫崧鹰，邓茜，邓志坚，
申请(专利权)人：东莞市希锐自动化科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44