一种具有ZrN层的低辐射玻璃制造技术

技术编号:19443017 阅读:41 留言:0更新日期:2018-11-14 15:40
本发明专利技术提供了一种具有ZrN层的低辐射玻璃,低辐射玻璃是由如下方法制备的:在玻璃基底上,沉积底层电介质层;在底层电介质层上,沉积第一隔离层;在第一隔离层上,沉积第一ZrN层;在第一ZrN层上,沉积第一Ag层;在第一Ag层上,沉积第一Cu层;在第一Cu层上,沉积第一Pd层;在第一Pd层上,沉积第二ZrN层;在第二ZrN层上,沉积第二隔离层;在第二隔离层上,沉积顶层保护层。本发明专利技术针对现有技术的问题,提出了一种带有ZrN层的低辐射玻璃,本发明专利技术由于加入了ZrN层,大大提高了材料的低辐射特性,同时由于本发明专利技术加入了Cu和Pd层,并特别设计了各层之间的层顺序,使得本发明专利技术的低辐射玻璃能够呈现金色外观。

【技术实现步骤摘要】
一种具有ZrN层的低辐射玻璃
本专利技术涉及低辐射玻璃领域,特别涉及一种具有ZrN层的低辐射玻璃。
技术介绍
目前,建筑能耗的50%是通过窗户散失的,因此减少玻璃窗的热损失对建筑节能具有非常重要的意义。目前国内节能型玻璃窗主要有以下几种:中空玻璃,热反射镀膜玻璃,低辐射镀膜中空玻璃等,其中低辐射镀膜玻璃既有良好的透光性,又能有效的阻挡红外热辐射,其U值(热传导系数)为1.3-1.8W/m2K,是普通玻璃的四分之一,其保温隔热能力远远超过普通墙体。因此低辐射镀膜玻璃是世界上公认的理想的节能型窗玻璃材料。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供,从而克服现有技术的缺点。为实现上述目的,本专利技术提供了一种具有ZrN层的低辐射玻璃,其特征在于:低辐射玻璃是由如下方法制备的:在玻璃基底上,沉积底层电介质层;在底层电介质层上,沉积第一隔离层;在第一隔离层上,沉积第一ZrN层;在第一ZrN层上,沉积第一Ag层;在第一Ag层上,沉积第一Cu层;在第一C本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有ZrN层的低辐射玻璃,其特征在于:所述低辐射玻璃是由如下方法制备的:在玻璃基底上,沉积底层电介质层;在所述底层电介质层上,沉积第一隔离层;在所述第一隔离层上,沉积第一ZrN层;在所述第一ZrN层上,沉积第一Ag层;在所述第一Ag层上,沉积第一Cu层;在所述第一Cu层上,沉积第一Pd层;在所述第一Pd层上,沉积第二ZrN层;在所述第二ZrN层上,沉积第二隔离层;在所述第二隔离层上,沉积顶层保护层。

【技术特征摘要】
1.一种具有ZrN层的低辐射玻璃,其特征在于:所述低辐射玻璃是由如下方法制备的:在玻璃基底上,沉积底层电介质层;在所述底层电介质层上,沉积第一隔离层;在所述第一隔离层上,沉积第一ZrN层;在所述第一ZrN层上,沉积第一Ag层;在所述第一Ag层上,沉积第一Cu层;在所述第一Cu层上,沉积第一Pd层;在所述第一Pd层上,沉积第二ZrN层;在所述第二ZrN层上,沉积第二隔离层;在所述第二隔离层上,沉积顶层保护层。2.如权利要求1所述的低辐射玻璃,其特征在于:所述底层电介质层是二氧化钛层,所述底层电介质层的厚度为30-40nm,所述第一隔离层是金属钛层,所述第一隔离层的厚度为20-30nm。3.如权利要求1所述的低辐射玻璃,其特征在于:所述第二隔离层是NiCr层,所述第二隔离层的厚度为30-40nm,所述顶层保护层是Si3N4层,所述顶层保护层的厚度为20-30nm。4.如权利要求1所述的低辐射玻璃,其特征在于:在所述第一隔离层上沉积第一ZrN层具体为:采用射频溅射方法,靶材为金属锆,氮气流量为50-60sccm,溅射功率为700-900W,基片温度为200-300℃,所述第一Z...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄倩
申请(专利权)人:南通安企熙医疗科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

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