一种晶圆片高效分选的自动清洗机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体、吸附机构、晶圆片放置架、支撑腿、晶圆片放置槽和喷头，所述晶圆片分选机本体的内侧顶部设有固定杆，所述固定杆的底部设有气缸，所述气缸的顶部设有电机，且所述电机位于固定杆的顶部，所述气缸的底部设有吸附机构，所述晶圆片分选机本体的内侧底部设有晶圆片放置架，所述晶圆片放置架的底部两侧设有支撑板，所述晶圆片放置架的顶部设有活动板，所述水盒的内侧分布有喷头，所述晶圆片分选机本体的底部分布有支撑腿。该晶圆片高效分选的自动清洗机构，高效的将活动板上的晶圆片放置槽清洗干净，使得吸附机构产生较强的吸力，可高效的将晶圆片吸附分选。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片高效分选的自动清洗机构
本技术涉及晶圆片分选机设备
，具体为一种晶圆片高效分选的自动清洗机构。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.99%。晶圆片的由来，是先将二氧化矽经过纯化，融解，蒸馏之后，制成矽晶棒，晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨，抛光和切片成为晶圆母片，由于圆形的晶圆片本身没有方向性，不适合电子的传输，因此这些晶圆还必须切出一个边，当做类似三角形的“底”，所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆，而是被切掉一个边，成为有“底”的圆。现有的晶圆片分选机长时间使用会产生较多的灰尘，可能造成较大的误差，不能进行高效快速的清洗，久而久之会导致寿命减短，并且现有的晶圆片分选机很难将晶圆片吸附分选，难以满足现有的晶圆片分选需求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体、吸附机构、晶圆片放置架、支撑腿、晶圆片放置槽和喷头，所述晶圆片分选机本体的内侧顶部设有固定杆，所述固定杆的底部设有气缸，所述气缸的顶部设有电机，且所述电机位于固定杆的顶部，所述气缸的底部设有吸附机构，所述晶圆片分选机本体的内侧底部设有晶圆片放置架，所述晶圆片放置架的底部两侧设有支撑板，所述晶圆片放置架的顶部设有活动板，所述活动板的顶部分布有晶圆片放置槽，所述晶圆片放置架的顶部两侧设有水盒，所述水盒的顶部中间设有注水孔，所述水盒的内侧分布有喷头，所述晶圆片分选机本体的底部分布有支撑腿。作为本技术的一种优选实施方式，所述喷头为弯折结构，且所述喷头通过滑轨连接于水盒的侧部，使得高效的将晶圆片放置槽清洗干净，清洗范围广。作为本技术的一种优选实施方式，所述支撑板的底部设有安装板，且安装板的两侧均设有螺纹孔，经过螺纹孔可使用螺纹紧固连接，避免不稳定导致误差。作为本技术的一种优选实施方式，所述支撑腿的内部填充分布有减震弹簧，所述支撑腿的底部设有垫板，减小振动，使得降低噪音，更加稳定。作为本技术的一种优选实施方式，所述垫板的厚度为0.35cm，且所述垫板为天然橡胶材质，防滑耐磨，进一步减小振动。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1.该晶圆片高效分选的自动清洗机构，通过设置的水盒和喷头，可高效的将活动板上的晶圆片放置槽清洗干净，使用方便，功能多样，并且可将活动板拆卸清洗，设计合理，易于实现。2.该晶圆片高效分选的自动清洗机构，通过设置的吸附机构，可通过气缸带动气压杆使得吸附机构产生较强的吸力，可高效的将晶圆片吸附分选，结构简单。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种晶圆片高效分选的自动清洗机构的整体结构图；图2为本技术一种晶圆片高效分选的自动清洗机构的置物架结构图。图中:晶圆片分选机本体-1、吸附机构-2、晶圆片放置架-3、支撑腿-4、晶圆片放置槽-5、喷头-6、气缸-7、固定杆-8、电机-9、垫板-10、水盒-11、注水孔-12、螺纹孔-13、支撑板-14、活动板-15。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体1、吸附机构2、晶圆片放置架3、支撑腿4、晶圆片放置槽5和喷头6，所述晶圆片分选机本体1的内侧顶部设有固定杆8，所述固定杆8的底部设有气缸7，所述气缸7的顶部设有电机9，且所述电机9位于固定杆8的顶部，所述气缸7的底部设有吸附机构2，所述晶圆片分选机本体1的内侧底部设有晶圆片放置架3，所述晶圆片放置架3的底部两侧设有支撑板14，所述晶圆片放置架3的顶部设有活动板15，所述活动板15的顶部分布有晶圆片放置槽5，所述晶圆片放置架3的顶部两侧设有水盒11，所述水盒11的顶部中间设有注水孔12，所述水盒11的内侧分布有喷头6，所述晶圆片分选机本体1的底部分布有支撑腿4。请参阅图1，所述喷头6为弯折结构，且所述喷头6通过滑轨连接于水盒11的侧部，使得高效的将晶圆片放置槽5清洗干净，清洗范围广。请参阅图2，所述支撑板14的底部设有安装板，且安装板的两侧均设有螺纹孔13，经过螺纹孔13可使用螺纹紧固连接，避免不稳定导致误差。请参阅图1，所述支撑腿4的内部填充分布有减震弹簧，所述支撑腿4的底部设有垫板10，减小振动，使得降低噪音，更加稳定。请参阅图1，所述垫板10的厚度为0.35cm，且所述垫板10为天然橡胶材质，防滑耐磨，进一步减小振动。本技术所述的一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，可经过电机9和气缸7使得吸附机构2旋转、左右移动，实现高效的吸附分选，放置于晶圆片放置槽5内，不用时，可从注水孔12向水盒11内注水，然后启动喷头6，将活动板15上的晶圆片放置槽5清洗干净。本技术的晶圆片分选机本体1、吸附机构2、晶圆片放置架3、支撑腿4、晶圆片放置槽5、喷头6、气缸7、固定杆8、电机9、垫板10、水盒11、注水孔12、螺纹孔13、支撑板14、活动板15，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是现有的晶圆片分选机长时间使用会产生较多的灰尘，可能造成较大的误差，不能进行高效快速的清洗，久而久之会导致寿命减短，并且现有的晶圆片分选机很难将晶圆片吸附分选，难以满足现有的晶圆片分选需求等问题，本技术通过上述部件的互相组合，通过设置的水盒和喷头，可高效的将活动板上的晶圆片放置槽清洗干净，使用方便，功能多样，并且可将活动板拆卸清洗，设计合理，易于实现。通过设置的吸附机构，可通过气缸带动气压杆使得吸附机构产生较强的吸力，可高效的将晶圆片吸附分选，结构简单。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体(1)、吸附机构(2)、晶圆片放置架(3)、支撑腿(4)、晶圆片放置槽(5)和喷头(6)，其特征在于：所述晶圆片分选机本体(1)的内侧顶部设有固定杆(8)，所述固定杆(8)的底部设有气缸(7)，所述气缸(7)的顶部设有电机(9)，且所述电机(9)位于固定杆(8)的顶部，所述气缸(7)的底部设有吸附机构(2)，所述晶圆片分选机本体(1)的内侧底部设有晶圆片放置架(3)，所述晶圆片放置架(3)的底部两侧设有支撑板(14)，所述晶圆片放置架(3)的顶部设有活动板(15)，所述活动板(15)的顶部分布有晶圆片放置槽(5)，所述晶圆片放置架(3)的顶部两侧设有水盒(11)，所述水盒(11)的顶部中间设有注水孔(12)，所述水盒(11)的内侧分布有喷头(6)，所述晶圆片分选机本体(1)的底部分布有支撑腿(4)。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体(1)、吸附机构(2)、晶圆片放置架(3)、支撑腿(4)、晶圆片放置槽(5)和喷头(6)，其特征在于：所述晶圆片分选机本体(1)的内侧顶部设有固定杆(8)，所述固定杆(8)的底部设有气缸(7)，所述气缸(7)的顶部设有电机(9)，且所述电机(9)位于固定杆(8)的顶部，所述气缸(7)的底部设有吸附机构(2)，所述晶圆片分选机本体(1)的内侧底部设有晶圆片放置架(3)，所述晶圆片放置架(3)的底部两侧设有支撑板(14)，所述晶圆片放置架(3)的顶部设有活动板(15)，所述活动板(15)的顶部分布有晶圆片放置槽(5)，所述晶圆片放置架(3)的顶部两侧设有水盒(11)，所述水盒(11)的顶部中间设有注水孔(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：张栖源，
申请(专利权)人：江西点亮科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36