一种外腔倍频紫外激光器制造技术

本实用新型专利技术公开一种外腔倍频紫外激光器，包括基频光脉冲激光器，基频光脉冲激光器的后方依次同光轴地设置有二倍频晶体和三倍频晶体；基频光脉冲激光器包括由左至右依次同光轴地设置有泵浦源、第一聚焦透镜、输入镜、增益介质、声光调制器和输出镜，其简化系统结构，降低系统调试难度，能够得到高效、优异光束质量的三倍频光输出。

【技术实现步骤摘要】
一种外腔倍频紫外激光器
本技术涉及激光器
，具体涉及一种外腔倍频紫外激光器。
技术介绍
目前，紫外激光器的输出波长在0.4μm以下，由于波长短的优势，使得紫外光可以得到更小的聚焦光斑，且加工热影响区微乎其微，因而可以进行超精细激光加工；在许多激光应用领域逐渐展示出其无可比拟的优势。与传统的红外加工不同，紫外光与物质相互作用从本质上来说不是“热”处理，而是利用紫外光子能量高的特点直接破坏许多非金属材料表面的分子键，相比较而言，这是一种“冷”处理方式，相比较“热”处理，这种"冷"处理加工具有加工面更加光滑的和烧蚀程度更加弱的优势；而且，紫外短波长本身的特性对金属和聚合物的机械微处理具有优越性.它可以被聚焦到亚微米数量级的点上，因此可以进行细微部件的加工，即使在不高的脉冲能量水平下，也能得到很高的能量密度，有效地进行材料加工。一般来说，可以通过腔外倍频或者腔内倍频来获得紫外输出，但是与一般的红外激光器相比，紫外激光器存在腔形比较复杂，体积相对较大，调试难度也相对较大的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种外腔倍频紫外激光器，以解决现有技术中所存在的腔形比较复杂，体积相对较大，调试难度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外腔倍频紫外激光器，所述外腔倍频紫外激光器包括基频光脉冲激光器(1)，其特征在于，基频光脉冲激光器(1)的后方依次同光轴地设置有二倍频晶体(2)和三倍频晶体(3)；基频光脉冲激光器(1)包括由左至右依次同光轴地设置有泵浦源(4)、第一聚焦透镜(5)、输入镜(6)、增益介质(7)、声光调制器(8)和输出镜(9)。

【技术特征摘要】
1.一种外腔倍频紫外激光器，所述外腔倍频紫外激光器包括基频光脉冲激光器(1)，其特征在于，基频光脉冲激光器(1)的后方依次同光轴地设置有二倍频晶体(2)和三倍频晶体(3)；基频光脉冲激光器(1)包括由左至右依次同光轴地设置有泵浦源(4)、第一聚焦透镜(5)、输入镜(6)、增益介质(7)、声光调制器(8)和输出镜(9)。2.如权利要求1所述的外腔倍频紫外激光器，其特征在于，基频光脉冲激光器(1)为主动调Q激光器、被动调Q激光器、端泵脉冲激光器、侧泵激光器或锁模激光器。3.如权利要求1所述的外腔倍频紫外激光器，其特征在于，第一聚焦透镜(5)为双凸透镜。4.如权利要求1所述的外腔倍频紫外激光...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾富强，叶毅聪，陈镇辉，丘国雄，廖生苗，王炎升，
申请(专利权)人：南光高科厦门激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35