长寿命免维护的紫外激光器制造技术

一种长寿命免维护的紫外激光器，包括：主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台；主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、倍频组件、及尾端镜；激光晶体及调Q晶体设置在前端镜与转折镜之间；倍频组件包括三倍频晶体及二倍频晶体；二倍频晶体及三倍频晶体安装在第一电动位移平台上，第一电动位移平台以平行三倍频晶体输出端端面的方向，带动二倍频晶体及三倍频晶体进行移动。因长期工作而导致通光点损坏，通过第一电动位移平台对倍频组件进行移动，调整激光打在倍频组件上的点位置，从而能提升倍频组件及紫外激光器整体的使用寿命，减少倍频组件的更换处理。

【技术实现步骤摘要】
长寿命免维护的紫外激光器
本专利技术涉及激光技术，特别是涉及一种长寿命免维护的紫外激光器。
技术介绍
激光是近代科学技术中的重大专利技术之一，其中，355nm紫外激光应用于冷加工领域，在非金属以及精密加工中的应用价值尤其突出。随着全球对精细加工的需求日益增加，使得紫外激光器的应用领域不断扩大。现有技术基本以808nm或880nm半导体激光器泵浦激光晶体产生1064nm脉冲光，1064nm光倍频产生532nm绿光，1064nm与532nm激光合频产生355nm紫外激光。紫外激光由于波长短，光子能量强，经过的器件都容易损坏，损坏程度与紫外激光的的功率密度成正比，特别在高功率紫外激光器上尤为严重。由于倍频晶体的材料的缺陷，激光器倍频晶体的使用寿命受到限制，在使用过程中倍频晶体上通光点处容易损坏，令紫外激光器整体无法保证长期稳定运行。
技术实现思路
基于此，有必要针对倍频晶体上通光点处在长期运行后损坏问题，提供一种长寿命免维护的紫外激光器。一种长寿命免维护的紫外激光器，包括：主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台；所述主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、倍本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，包括：主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台；所述主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、倍频组件、及尾端镜；所述泵浦源用于发出泵浦光；所述前端镜、所述转折镜及所述尾端镜组成激光谐振腔，所述激光晶体位于所述激光谐振腔内；所述激光晶体及所述调Q晶体设置在所述前端镜与所述转折镜之间；所述倍频组件包括三倍频晶体及二倍频晶体；所述三倍频晶体及所述二倍频晶体设置在所述转折镜与所述尾端镜之间；所述泵浦源发出的泵浦光经所述聚焦组件聚焦整形后，入射到所述激光晶体；泵浦光进入所述激光晶体后，在所述激光谐振腔内产生1064nm基频连...

【技术特征摘要】
1.一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，包括：主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台；所述主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、倍频组件、及尾端镜；所述泵浦源用于发出泵浦光；所述前端镜、所述转折镜及所述尾端镜组成激光谐振腔，所述激光晶体位于所述激光谐振腔内；所述激光晶体及所述调Q晶体设置在所述前端镜与所述转折镜之间；所述倍频组件包括三倍频晶体及二倍频晶体；所述三倍频晶体及所述二倍频晶体设置在所述转折镜与所述尾端镜之间；所述泵浦源发出的泵浦光经所述聚焦组件聚焦整形后，入射到所述激光晶体；泵浦光进入所述激光晶体后，在所述激光谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行控制与调制，得到在所述前端镜、所述转折镜、及所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光；在沿所述转折镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述三倍频晶体折射后，射入所述二倍频晶体内，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，最后部分532nm绿光和剩余未转化的1064nm脉冲光在所述三倍频晶体内进行和频，产生355nm紫外激光，所述三倍频晶体输出端采用布氏角切割，所述三倍频晶体的输出端将剩余的1064nm激光、532nm激光、355nm激光分开，剩余的1064nm激光沿原路返回，继续在所述激光谐振腔内工作；所述二倍频晶体及所述三倍频晶体安装在所述第一电动位移平台上，当所述倍频组件的通光点受损时，所述第一电动位移平台以平行所述三倍频晶体输出端端面的方向，带动所述二倍频晶体及所述三倍频晶体进行移动。2.根据权利要求1所述的种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，所述第一电动位移平台包括第一驱动组件，第一驱动组件包括第一基座、安装在所述第一基座一侧的第一驱动电机、转动设置在所述第一基座中的第一传动丝杆、及连接所述第一传动丝杆的第一滑座；所述第一驱动电机的输出轴与所述第一传动丝杆的一端连接；当需要对所述倍频组件进行移动时，所述第一传动丝杆通过螺纹驱动所述第一滑座相对所述第一基座移动；所述第一传动丝杆的延伸方向与所述三倍频晶体输出端的端面平行；所述二倍频晶体及所述三倍频晶体安装在第一滑座上。3.根据权利要求2所述的种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，所述第一电动位移平台还包括第二驱动组件，所述二倍频晶体及所述三倍频晶体通过所述第二驱动组件安装在所述第一滑座上，所述第二驱动组件包括连接所述第一滑座的第一引导架、安装在所述第一滑座上的第二驱动电机、连接所述第二驱动电机的第二传动丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：任戬，
申请(专利权)人：深圳市杰普特光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44