一种升摆组件及升摆阀制造技术

本实用新型专利技术的目的是提供一种升摆组件及升摆阀。升摆组件包括第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件包括第一驱动机构，第一驱动机构具有执行轴，第二驱动组件包括第二驱动机构，第二驱动机构具有套筒件；执行轴包括轴本体和输出部，套筒件套设在输出部上并与输出部可传动地轴孔配合；轴本体被设置成能够带动输出部在套筒件内沿直线滑动；套筒件被设置成能够自转以带动输出部自转。由于第一驱动组件和第二驱动组件能驱动同一个输出部运动，因此第一驱动组件和第二驱动组件的驱动效果只需要设置一个执行件就能向外界输出，因此本申请的升摆组件具有更简单的结构。本实用新型专利技术提供的升摆阀，包括上述升摆组件，从而具有更简单的结构及稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种升摆组件及升摆阀
本技术涉及一种升摆组件及升摆阀。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。现有技术中的“单晶炉”上采用的是翻板阀，阀门总高度是升摆阀的3倍以上，而阀门越高“单晶炉”所生产的晶棒长度就越短，所以阀门高度下降后可以提高生产效率。市场上有一种适用于单晶炉的升摆阀，能够有效降低阀门高度。该升摆阀包括阀板和驱动装置。该驱动装置使用两个气缸，两个气缸的活塞轴分别对阀板执行升降和摆动的动作，这种升摆阀的结构较为复杂，并且稳定性欠佳。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种升摆组件，其具有结构简单的优点。本技术的目的还在于提供一种升摆阀，该升摆阀包括上述升摆组件，从而具有结构简单的优点。为实现所述目的的升摆组件，包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一驱动机构，所述第一驱动机构具有执行轴，所述第二驱动组件包括第二驱动机构，所述第二驱动机构具有套筒件；所述执行轴包括轴本体和输出部，所述套筒件套设在所述输出部上，并与所述输出部可传动地轴孔配合；所述轴本体被设置成能够带动所述输出部在所述套筒件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种升摆组件，包括第一驱动组件(1)和第二驱动组件(2)，其特征在于，所述第一驱动组件(1)包括第一驱动机构，所述第一驱动机构具有执行轴(11)，所述第二驱动组件(2)包括第二驱动机构，所述第二驱动机构具有套筒件(21)；所述执行轴(11)包括轴本体(110)和输出部(111)，所述套筒件(21)套设在所述输出部(111)上，并与所述输出部(111)可传动地轴孔配合；所述轴本体(110)被设置成能够带动所述输出部(111)在所述套筒件(21)内沿直线滑动；所述套筒件(21)被设置成能够自转，以带动所述输出部(111)自转。

【技术特征摘要】
1.一种升摆组件，包括第一驱动组件(1)和第二驱动组件(2)，其特征在于，所述第一驱动组件(1)包括第一驱动机构，所述第一驱动机构具有执行轴(11)，所述第二驱动组件(2)包括第二驱动机构，所述第二驱动机构具有套筒件(21)；所述执行轴(11)包括轴本体(110)和输出部(111)，所述套筒件(21)套设在所述输出部(111)上，并与所述输出部(111)可传动地轴孔配合；所述轴本体(110)被设置成能够带动所述输出部(111)在所述套筒件(21)内沿直线滑动；所述套筒件(21)被设置成能够自转，以带动所述输出部(111)自转。2.如权利要求1所述的升摆组件，其特征在于，所述第二驱动组件(2)还包括壳体(22)，所述第二驱动机构固定设置在所述壳体(22)内；所述执行轴(11)贯穿所述壳体(22)，其中，所输出部(111)的一部分位于所述壳体(22)内并与所述套筒件(21)可传动地轴孔配合，所述输出部(111)的余下部分位于所述壳体(22)外。3.如权利要求1所述的升摆组件，其特征在于，所述第一驱动机构为直行程气缸机构，所述第二驱动机构为角行程气缸机构。4.一种升摆阀，包括阀芯组件(70)，其特征在于，所述升摆阀(900)还包括如权利要求1至3中任意一项权利要求所述的升摆组件(80)，所述升摆组件(80)与所述阀芯组件(70)可传动地连接，以带动所述阀芯组件(70)运动，从而关闭或者打开所述升摆阀(900)。5.如权利要求4所述的升摆阀，其特征在于，所述阀芯组件(70)包括阀板(3)、摆臂(4)和主轴(5)；所述主轴(5)的一端与所述升摆组件(80)可传动地连接，所述摆臂(4)的一端与所述主轴(5)固定连接，另一端与所述阀板(3)连接；所述升摆阀(900)还包括阀壳(9)，所述摆臂(4)和所述阀板(3)设置在所述阀壳(9)内部，所述阀壳(9)限定出所述摆臂(4)和所述阀板(3)的摆动空间和移动空间；所述阀壳(9)的壁体上具有阀孔(9a)，所述阀板(3)被设置成能够密封覆盖所述阀孔(9a)，从而关闭所述升摆阀(900)；所述阀板(3)还被设置成能够从所述阀孔(9a)上移开，从而打开所述升摆阀(900)。6.如权利要求5所述的升摆阀，其特征在于，所述阀板(3)、摆臂(4)和主轴(5)的内部设置有第一换热介质通道(70a)，所述第一换热介质通道(70a)的出口和入口均开设在所述主轴(5)上。7.如权利要求6所述的升摆阀，其特征在于，所述第一换热介质通道(70a)包括设置在阀板(3)内的阀板冷却通道(3a)、设置在所述摆臂(4)内的第二流入通道(4a)和第二流出通道(4b)和设置在所述主轴(5)内的第一流入通道(5a)和第一流出通道(5b)，其中，所述第一流入通道(5a)的出口与所述第二流入通道(4a)的入口连通，所述第二流入通道(4a)的出口与所述阀板冷却通道(3a)的入口连通，所述阀板冷却通道(3a)的出口与所述第二流出通道(4b)的入口连通，所述第二流出通道(4b)的出口与所述第一流出通道(5b)的入口连通；所述第一流入通道(5a)的入口为所述第一换热介质通道(70a)的入口，用于引入外界换热介质，以与所述阀芯组件(70)进行换热，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李庆华，
申请(专利权)人：李庆华，
类型：新型
国别省市：上海,31