一种用于阴极磁棒的变形调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及玻璃生产技术领域，具体涉及一种用于阴极磁棒的变形调整装置，包括基座、设于所述基座上的导轨、架设在所述基座和所述导轨上方的支撑架、安装在所述支撑架上且位于所述导轨正上方的液压千斤顶，待矫正的阴极磁棒沿所述导轨的长度延伸方向滑动的设置在所述导轨上，所述液压千斤顶的压块正对所述阴极磁棒，所述压块上设有压力传感器，位于所述压块正下方的所述导轨上设有距离传感器，所述压力传感器和所述距离传感器与数据采集装置电连接，通过采用本实用新型专利技术的调整装置，可以方便的对变形的阴极磁棒进行矫正，从而提高阴极磁棒的使用次数，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于阴极磁棒的变形调整装置
本技术涉及玻璃生产
，具体涉及一种用于阴极磁棒的变形调整装置。
技术介绍
玻璃生产中的镀膜线旋转阴极磁棒，磁铁密封在阴极磁棒内部，通过采用水冷方式带走溅射过程中产生的热量，以达到冷却的目的。阴极磁棒用于真空磁控溅射过程中，提供溅射所需的磁场。因更换靶材过程中，需要拆卸靶材及磁缸，同时磁铁经过一段时间使用，由于环境及温升的影响，导致磁铁退磁等，需拆卸阴极磁棒更换磁铁，并清洁保养阴极磁棒。阴极磁棒变形的主要部位为中间位置，径向跳动大。现有技术中对于变形的阴极磁棒无法矫正，当其变形量过大时需要更换新的阴极磁棒。
技术实现思路
本技术提供一种用于阴极磁棒的变形调整装置，其可以方便的对变形的阴极磁棒进行矫正，从而提高阴极磁棒的使用次数，降低生产成本。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于阴极磁棒的变形调整装置，包括基座、设于所述基座上的导轨、架设在所述基座和所述导轨上方的支撑架、安装在所述支撑架上且位于所述导轨正上方的液压千斤顶，待矫正的阴极磁棒沿所述导轨的长度延伸方向滑动的设置在所述导轨上，所述液压千斤顶的压块正对所述阴极磁棒，所述压块上设有压力传感器，位于所述压块正下方的所述导轨上设有距离传感器，所述压力传感器和所述距离传感器与数据采集装置电连接。进一步的，所述基座为工字钢，所述工字钢包括相互平行的第一翼缘板和第二翼缘板，以及设于所述第一翼缘板和所述第二翼缘板之间且与其分别垂直的腹板，所述第一翼缘板安设于地面，所述导轨设于所述第二翼缘板上，所述导轨的长度方向平行所述第二翼缘板的长度方向。进一步的，所述支撑架包括沿竖直方向设置的第一立柱和第二立柱，以及架设于所述第一立柱和所述第二立柱顶部的横架，所述横架沿水平方向延伸，所述第一立柱、所述第二立柱以及所述横架构成口字型框架。进一步的，所述第一立柱、所述第二立柱以及所述横架通过焊接相连。进一步的，所述第一立柱、所述第二立柱以及所述横架均为工字钢。进一步的，所述压块为尼龙压块。进一步的，所述调整装置还包括沿所述导轨的长度延伸方向滑动的架设于所述导轨上的至少两个滑动件，所述滑动件上设有用以承托所述阴极磁棒的支撑座。进一步的，所述支撑座的上表面与所述阴极磁棒接触的部位为圆弧状，圆弧的直径与待矫正的所述阴极磁棒的直径相匹配。进一步的，所述支撑座采用橡胶材质。进一步的，所述数据采集装置与用以显示其所采得数据的显示装置电连接。采用以上技术方案后，本技术与现有技术相比具有如下优点：本技术的调整装置结构简单，在对阴极磁棒进行矫正时，只需要控制液压千斤顶的压块向下压住阴极磁棒即可；通过设置压力传感器和距离传感器，可以实时监控矫正过程中液压千斤顶对阴极磁棒施加的压力以及矫正部位的矫正量，防止矫正不足或矫正过度；将阴极磁棒滑动的设置在导轨上，便于实现阴极磁棒各个部位的矫正。附图说明附图1为本技术的调整装置的轴测图；附图2为附图1的断面结构示意图；附图3为附图1的侧视图。其中，1、基座；101、第一翼缘板；102、第二翼缘板；103、腹板；2、导轨；3、支撑架；301、第一立柱；302、第二立柱；303、横架；4、液压千斤顶；401、压块；5、阴极磁棒；6、压力传感器；7、距离传感器；8、滑动件；9、支撑座。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步说明。如图1至图3所示，一种用于阴极磁棒5的变形调整装置，包括基座1、设于基座1上的导轨2、架设在基座1和导轨2上方的支撑架3、安装在支撑架3上且位于导轨2正上方的液压千斤顶4，待矫正的阴极磁棒5沿导轨2的长度延伸方向滑动的设置在导轨2上，液压千斤顶4的压块401正对阴极磁棒5，压块401上设有压力传感器6，位于压块401正下方的导轨2上设有距离传感器7，压力传感器6和距离传感器7与数据采集装置（图中未标示）电连接。优选的，为实时显示数据采集装置所采得的数据，数据采集装置与显示装置（图中未标示）电连接。本实施例中，基座1为工字钢，工字钢包括相互平行的第一翼缘板101和第二翼缘板102，以及设于第一翼缘板101和第二翼缘板102之间且与其分别垂直的腹板103，第一翼缘板101安设于地面，导轨2设于第二翼缘板102上，导轨2的长度方向平行第二翼缘板102的长度方向。支撑架3包括沿竖直方向设置的第一立柱301和第二立柱302，以及架设于第一立柱301和第二立柱302顶部的横架303，横架303沿水平方向延伸，第一立柱301、第二立柱302以及横架303构成口字型框架。第一立柱301、第二立柱302以及横架303均为工字钢。第一立柱301、第二立柱302以及横架303通过焊接相连。基座1、第一立柱301、第二立柱302以及横架303选择采用工字钢，不仅易于获得，而且成本低廉。为防止压块401对阴极磁棒5表面造成刚性损伤，压块401采用尼龙压块。调整装置还包括沿导轨2的长度延伸方向滑动的架设于导轨2上的多个滑动件8。本实施例中，滑动件8的数量为两个，两个滑动件8分别设置在阴极磁棒5的两端，滑动件8上设有用以承托阴极磁棒5的支撑座9。通过移动滑动件8在导轨2上的位置，可以将需要矫正的部位移动至液压千斤顶4下方，从而方便的实现阴极磁棒5各个部位的矫正。支撑座9的上表面与阴极磁棒5接触的部位为圆弧状，优选的，圆弧的直径与待矫正的所述阴极磁棒5的直径相匹配。当需要矫正不同直径的阴极磁棒5时，可以相应的更换具有不同圆弧的滑动件8。优选的，支撑座9采用橡胶材质。对阴极磁棒5进行矫正时，只需要控制液压千斤顶4的压块401向下压住阴极磁棒5即可。通过设置压力传感器6和距离传感器7，可以实时监控矫正过程中液压千斤顶4对阴极磁棒5施加的压力以及矫正部位的矫正量，防止矫正不足或矫正过度。通过采用本技术的调整装置，可以方便的对变形的阴极磁棒5进行矫正，从而提高阴极磁棒5的使用次数，降低生产成本。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于阴极磁棒的变形调整装置，其特征在于：包括基座、设于所述基座上的导轨、架设在所述基座和所述导轨上方的支撑架、安装在所述支撑架上且位于所述导轨正上方的液压千斤顶，待矫正的阴极磁棒沿所述导轨的长度延伸方向滑动的设置在所述导轨上，所述液压千斤顶的压块正对所述阴极磁棒，所述压块上设有压力传感器，位于所述压块正下方的所述导轨上设有距离传感器，所述压力传感器和所述距离传感器与数据采集装置电连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于阴极磁棒的变形调整装置，其特征在于：包括基座、设于所述基座上的导轨、架设在所述基座和所述导轨上方的支撑架、安装在所述支撑架上且位于所述导轨正上方的液压千斤顶，待矫正的阴极磁棒沿所述导轨的长度延伸方向滑动的设置在所述导轨上，所述液压千斤顶的压块正对所述阴极磁棒，所述压块上设有压力传感器，位于所述压块正下方的所述导轨上设有距离传感器，所述压力传感器和所述距离传感器与数据采集装置电连接。2.根据权利要求1所述的一种用于阴极磁棒的变形调整装置，其特征在于：所述基座为工字钢，所述工字钢包括相互平行的第一翼缘板和第二翼缘板，以及设于所述第一翼缘板和所述第二翼缘板之间且与其分别垂直的腹板，所述第一翼缘板安设于地面，所述导轨设于所述第二翼缘板上，所述导轨的长度方向平行所述第二翼缘板的长度方向。3.根据权利要求1所述的一种用于阴极磁棒的变形调整装置，其特征在于：所述支撑架包括沿竖直方向设置的第一立柱和第二立柱，以及架设于所述第一立柱和所述第二立柱顶部的横架，所述横架沿水平方向延伸，所述第一立柱、所述第二立柱以及所述横...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴壮，张青涛，解孝辉，
申请(专利权)人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32