高可靠自带热子的非蒸散型吸气剂制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高可靠自带热子的非蒸散型吸气剂，包括加热元件、吸气金属和致密金属套管；其中，加热元件部分埋藏在吸气金属中，在加热元件穿出吸气金属的连接处用金属套管予以加固。优点：1）由于金属套管的保护，由加热丝传导过来的冲击、振动不会直接作用在强度相对薄弱的吸气合金粉体上，从而避免了吸气合金在强冲击、振动条件下的脱落。2）结构简单，成本低廉，体积较小，适应电真空器件小型化、平面化发展的需要。

【技术实现步骤摘要】
高可靠自带热子的非蒸散型吸气剂
本技术涉及一种高可靠自带热子的非蒸散型吸气剂，属于电真空元器件制造领域。
技术介绍
用于获得、维持真空以及纯化气体等，能有效的吸着某些(种)气体分子的制剂或装置通称为吸气剂。吸气剂的分类及工作原理:⑴蒸散型吸气剂：将钡、锶、钙等金属的铝合金与如铁粉、镍粉、钛粉的还原剂组成的混合物在真空中加热，使其中的钡、锶、钙等活性金属蒸发出来并在器件的内壁冷凝下来形成吸气薄膜，应用最广泛的是钡铝合金与镍粉的混合物。⑵非蒸散型吸气剂：将锆、钛、钇单质或其与钒、铁、锰、钴、铝、钼、稀土组成的二元或多元合金的粉末在真空中加热，使其表面的氧化层向内部扩散，暴露出新鲜表面，应用最广泛的是锆铝合金、锆钒铁合金。非蒸散型吸气剂工作之前必须有一个激活过程，即器件中的吸气剂在封离之前，必须对吸气剂进行有效加热，使其表面的氧化层、碳化层向内部扩散从而暴露出活性表面，同时降低其固溶在内部的氢气含量。并且要使非蒸散型吸气剂有良好的吸气性能，必须确保表面吸附的气体能够迅速解离并向内部扩散，因此必须要有足够高的工作温度。目前对吸气剂激活方法有三种，一种是通过外界烘烤的热辐射加热、一种是用高频感本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高可靠自带热子的非蒸散型吸气剂，其特征在于包括加热元件、吸气金属和金属套管；其中，吸气金属位于加热元件表面，金属套管套于加热元件表面，位于加热元件穿出吸气金属两端的连接处。

【技术特征摘要】
1.高可靠自带热子的非蒸散型吸气剂，其特征在于包括加热元件、吸气金属和金属套管；其中，吸气金属位于加热元件表面，金属套管套于加热元件表面，位于加热元件穿出吸气金属两端的连接处。2.根据权利要求1所述的高可靠自带热...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭卫斌，薛函迎，柴云川，王浏杰，
申请(专利权)人：南京华东电子真空材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32