一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀。由于采用了上述技术方案，本实用新型专利技术涉及的一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，能够防止有毒挥发物对操作人员的伤害，保护操作人员的身体健康，能够简化除尘设备清理过程，提高设备的稳定性和耐用性，能够极大的提高生产效率，具有广阔的市场前景。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备
本技术涉及非金属晶体设备领域，特别涉及一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备。
技术介绍
硅单晶的制备一般在常压惰性气氛氩气中进行，液态硅熔体在高温下严重侵蚀石英坩埚发生反应生成大量SiO挥发物，SiO从溶液中蒸发后将随着氩气由真空泵抽出炉室。但蒸发的SiO容易冷凝于炉室内各物体表面，为了防止SiO等颗粒进入真空泵腔体损坏真空泵，在主真空泵前设置过滤SiO等颗粒的除尘设备。单晶硅制备周期较长，除尘设备使用的滤网过滤能力有限，需要每次拉晶结束后进行人工清理，清理过程繁琐不彻底且易吸入有毒性的掺杂剂挥发物，消耗时间长，降低了生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀；所述除尘器上盖连接于所述除尘器筒体顶部，所述电磁阀和所述泄压阀分别设置于所述除尘器上盖两侧的所述除尘器筒体顶部，所述泄压阀下端与所述除尘器筒体内部相连通；所述过滤布袋上安装盘固定于所述除尘器筒体上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘连接于所述过滤布袋上安装盘下侧，所述过滤布袋固定于所述过滤布袋下安装盘上；所述出气口连接于所述除尘器筒体上部，所述布袋安装口连接于所述除尘器筒体中部两侧；所述进气口和所述清灰口分别连接于所述除尘器筒体底部两侧，所述过滤装置固定于所述除尘器筒体底部内，所述过滤装置两端分别与所述进气口和所述清灰口相连接。进一步的，上述技术方案中，还包括连接推杆，所述连接推杆的上端与所述过滤布袋上安装盘固定连接，所述连接推杆的下端与所述过滤布袋下安装盘固定连接。进一步的，上述技术方案中，还包括除尘器底座,所述除尘器底座固定于所述过滤装置上侧的所述除尘器筒体上。进一步的，上述技术方案中，所述除尘器底座上设置多个圆孔，所述过滤布袋为多个，各个圆孔与各个所述过滤布袋的下端位置相对应。进一步的，上述技术方案中，所述进气口、所述清灰口、所述布袋安装口、所述出气口、所述除尘器上盖、所述泄压阀分别通过O型密封圈与所述除尘器筒体密封连接。进一步的，上述技术方案中，还包括铰接连接于所述布袋安装口上的布袋封盖，布袋封盖密封盖合于所述布袋安装口上。进一步的，上述技术方案中，还包括铰接连接于所述清灰口上的清灰封盖，清灰封盖密封盖合于所述清灰口上。进一步的，上述技术方案中，还包括固定于所述除尘器上盖内的连接推杆驱动器，所述电磁阀与所述连接推杆驱动器相连接，所述连接推杆驱动器与所述连接推杆驱动连接。进一步的，上述技术方案中，所述过滤布袋下安装盘与所述过滤布袋上安装盘通过弹簧相互连接。本技术的技术效果和优点：(1)本技术所述单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，能够防止有毒挥发物对操作人员的伤害，保护操作人员的身体健康；(2)本技术所述单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，能够简化除尘设备清理过程，提高设备的稳定性和耐用性；(3)本技术所述单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，能够极大的提高生产效率。附图说明图1为本技术所述单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备的结构示意图；图2为本技术所述单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备的内部结构示意图。图中：1除尘器筒体、2进气口、3清灰口、4过滤装置、5过滤布袋、6过滤布袋下安装盘、7过滤布袋上安装盘、8弹簧、9连接推杆、10布袋安装口、11出气口、12除尘器上盖、13除尘器底座、14电磁阀、15泄压阀。具体实施方式本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。实施例1本技术提供了如图1和图2所示的一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，包括除尘器筒体1、进气口2、清灰口3、过滤装置4、过滤布袋5、过滤布袋下安装盘6、过滤布袋上安装盘7、布袋安装口10、出气口11、除尘器上盖12、泄压阀15和电磁阀14；所述除尘器上盖12连接于所述除尘器筒体1顶部，所述电磁阀14和所述泄压阀15分别设置于所述除尘器上盖12两侧的所述除尘器筒体1顶部，所述泄压阀15下端与所述除尘器筒体1内部相连通；所述过滤布袋上安装盘7固定于所述除尘器筒体1上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘6连接于所述过滤布袋上安装盘7下侧，所述过滤布袋5固定于所述过滤布袋下安装盘6上；所述出气口11连接于所述除尘器筒体1上部，所述布袋安装口10连接于所述除尘器筒体1中部两侧；所述进气口2和所述清灰口3分别连接于所述除尘器筒体1底部两侧，所述过滤装置4固定于所述除尘器筒体1底部内，所述过滤装置4两端分别与所述进气口2和所述清灰口3相连接。进一步的，上述技术方案中，还包括连接推杆9，所述连接推杆9的上端与所述过滤布袋上安装盘7固定连接，所述连接推杆9的下端与所述过滤布袋下安装盘6固定连接。进一步的，上述技术方案中，还包括除尘器底座13,所述除尘器底座13固定于所述过滤装置4上侧的所述除尘器筒体1上。进一步的，上述技术方案中，所述除尘器底座13上设置多个圆孔，所述过滤布袋5为多个，各个圆孔与各个所述过滤布袋5的下端位置相对应。进一步的，上述技术方案中，所述进气口2、所述清灰口3、所述布袋安装口10、所述出气口11、所述除尘器上盖12、所述泄压阀15分别通过O型密封圈与所述除尘器筒体1密封连接。进一步的，上述技术方案中，还包括铰接连接于所述布袋安装口10上的布袋封盖，布袋封盖密封盖合于所述布袋安装口10上。进一步的，上述技术方案中，还包括铰接连接于所述清灰口3上的清灰封盖，清灰封盖密封盖合于所述清灰口3上。进一步的，上述技术方案中，还包括固定于所述除尘器上盖12内的连接推杆驱动器，所述电磁阀14与所述连接推杆驱动器相连接，所述连接推杆驱动器与所述连接推杆9驱动连接。进一步的，上述技术方案中，所述连接推杆驱动器为气缸、液压缸或者电缸。优选的，所述过滤装置4为集成式防粉尘燃烧过滤装置。进一步的，上述技术方案中，所述过滤布袋下安装盘6与所述过滤布袋上安装盘7通过弹簧8相互连接。其中，所述单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备各部分之间放置O型橡胶密封圈密封，气体从底部进风口2首先进入集成式防粉尘燃烧的过滤装置4，有效控制粉尘自燃；经过过滤装置4后通过除尘器底座13上的圆孔进入36个650mm长的过滤布袋5，过滤布袋5悬挂在过滤布袋下安装盘6上，过滤布袋下安装盘6由电磁阀14控制的连接推杆9和弹簧8固定于过滤布袋上安装盘7上，过滤布袋上安装盘7与除尘器筒体1相连，电磁阀14通电后按照一定周期使得连接推杆9上下移动带动过滤布袋下安装盘6上下振动，导致过滤布袋5变形，灰尘与过滤布袋5分离后沉积到除尘器筒体1底部，经过一段时间后由底部清灰口3清理出去。实施例2一种单晶硅生长过程用自动清洁除本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：包括除尘器筒体(1)、进气口(2)、清灰口(3)、过滤装置(4)、过滤布袋(5)、过滤布袋下安装盘(6)、过滤布袋上安装盘(7)、布袋安装口(10)、出气口(11)、除尘器上盖(12)、泄压阀(15)和电磁阀(14)；所述除尘器上盖(12)连接于所述除尘器筒体(1)顶部，所述电磁阀(14)和所述泄压阀(15)分别设置于所述除尘器上盖(12)两侧的所述除尘器筒体(1)顶部，所述泄压阀(15)下端与所述除尘器筒体(1)内部相连通；所述过滤布袋上安装盘(7)固定于所述除尘器筒体(1)上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘(6)连接于所述过滤布袋上安装盘(7)下侧，所述过滤布袋(5)固定于所述过滤布袋下安装盘(6)上；所述出气口(11)连接于所述除尘器筒体(1)上部，所述布袋安装口(10)连接于所述除尘器筒体(1)中部两侧；所述进气口(2)和所述清灰口(3)分别连接于所述除尘器筒体(1)底部两侧，所述过滤装置(4)固定于所述除尘器筒体(1)底部内，所述过滤装置(4)两端分别与所述进气口(2)和所述清灰口(3)相连接。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：包括除尘器筒体(1)、进气口(2)、清灰口(3)、过滤装置(4)、过滤布袋(5)、过滤布袋下安装盘(6)、过滤布袋上安装盘(7)、布袋安装口(10)、出气口(11)、除尘器上盖(12)、泄压阀(15)和电磁阀(14)；所述除尘器上盖(12)连接于所述除尘器筒体(1)顶部，所述电磁阀(14)和所述泄压阀(15)分别设置于所述除尘器上盖(12)两侧的所述除尘器筒体(1)顶部，所述泄压阀(15)下端与所述除尘器筒体(1)内部相连通；所述过滤布袋上安装盘(7)固定于所述除尘器筒体(1)上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘(6)连接于所述过滤布袋上安装盘(7)下侧，所述过滤布袋(5)固定于所述过滤布袋下安装盘(6)上；所述出气口(11)连接于所述除尘器筒体(1)上部，所述布袋安装口(10)连接于所述除尘器筒体(1)中部两侧；所述进气口(2)和所述清灰口(3)分别连接于所述除尘器筒体(1)底部两侧，所述过滤装置(4)固定于所述除尘器筒体(1)底部内，所述过滤装置(4)两端分别与所述进气口(2)和所述清灰口(3)相连接。2.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：还包括连接推杆(9)，所述连接推杆(9)的上端与所述过滤布袋上安装盘(7)固定连接，所述连接推杆(9)的下端与所述过滤布袋下安装盘(6)固定连接。3.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁...

【专利技术属性】
技术研发人员：李方，李军，孔德东，刘建永，
申请(专利权)人：大连连城数控机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21