一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀。由于采用了上述技术方案，本实用新型专利技术涉及的一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，能够防止有毒挥发物对操作人员的伤害，保护操作人员的身体健康，能够简化除尘设备清理过程，提高设备的稳定性和耐用性，能够极大的提高生产效率，具有广阔的市场前景。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备
本技术涉及非金属晶体设备领域，特别涉及一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备。
技术介绍
硅单晶的制备一般在常压惰性气氛氩气中进行，液态硅熔体在高温下严重侵蚀石英坩埚发生反应生成大量SiO挥发物，SiO从溶液中蒸发后将随着氩气由真空泵抽出炉室。但蒸发的SiO容易冷凝于炉室内各物体表面，为了防止SiO等颗粒进入真空泵腔体损坏真空泵，在主真空泵前设置过滤SiO等颗粒的除尘设备。单晶硅制备周期较长，除尘设备使用的滤网过滤能力有限，需要每次拉晶结束后进行人工清理，清理过程繁琐不彻底且易吸入有毒性的掺杂剂挥发物，消耗时间长，降低了生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀；所述除尘器上盖连接于所述除尘器筒体顶部，所述电磁阀和所述泄压阀分别设置于所述除尘器上盖两侧的所述除尘器筒体顶部，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：包括除尘器筒体(1)、进气口(2)、清灰口(3)、过滤装置(4)、过滤布袋(5)、过滤布袋下安装盘(6)、过滤布袋上安装盘(7)、布袋安装口(10)、出气口(11)、除尘器上盖(12)、泄压阀(15)和电磁阀(14)；所述除尘器上盖(12)连接于所述除尘器筒体(1)顶部，所述电磁阀(14)和所述泄压阀(15)分别设置于所述除尘器上盖(12)两侧的所述除尘器筒体(1)顶部，所述泄压阀(15)下端与所述除尘器筒体(1)内部相连通；所述过滤布袋上安装盘(7)固定于所述除尘器筒体(1)上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘(6)连接于所述过滤布袋上安装...

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：包括除尘器筒体(1)、进气口(2)、清灰口(3)、过滤装置(4)、过滤布袋(5)、过滤布袋下安装盘(6)、过滤布袋上安装盘(7)、布袋安装口(10)、出气口(11)、除尘器上盖(12)、泄压阀(15)和电磁阀(14)；所述除尘器上盖(12)连接于所述除尘器筒体(1)顶部，所述电磁阀(14)和所述泄压阀(15)分别设置于所述除尘器上盖(12)两侧的所述除尘器筒体(1)顶部，所述泄压阀(15)下端与所述除尘器筒体(1)内部相连通；所述过滤布袋上安装盘(7)固定于所述除尘器筒体(1)上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘(6)连接于所述过滤布袋上安装盘(7)下侧，所述过滤布袋(5)固定于所述过滤布袋下安装盘(6)上；所述出气口(11)连接于所述除尘器筒体(1)上部，所述布袋安装口(10)连接于所述除尘器筒体(1)中部两侧；所述进气口(2)和所述清灰口(3)分别连接于所述除尘器筒体(1)底部两侧，所述过滤装置(4)固定于所述除尘器筒体(1)底部内，所述过滤装置(4)两端分别与所述进气口(2)和所述清灰口(3)相连接。2.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：还包括连接推杆(9)，所述连接推杆(9)的上端与所述过滤布袋上安装盘(7)固定连接，所述连接推杆(9)的下端与所述过滤布袋下安装盘(6)固定连接。3.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁...

【专利技术属性】
技术研发人员：李方，李军，孔德东，刘建永，
申请(专利权)人：大连连城数控机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21