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本实用新型公开了一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备,包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀。由于采用了上述技术方案,本实用新型涉及的一种单晶硅...该专利属于大连连城数控机器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连连城数控机器股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备,包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀。由于采用了上述技术方案,本实用新型涉及的一种单晶硅...