The invention belongs to the technical field of ultra-smooth glass lens polishing, in particular to a multi-stage ion polishing method for ultra-smooth glass lens. The invention adopts high energy inert gas ions (Ar).
【技术实现步骤摘要】
超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法
本专利技术属于超光滑玻璃镜片抛光
，具体涉及一种超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法。
技术介绍
超光滑玻璃镜片(rms≤0.3nm)在强激光系统、激光陀螺、极紫外光刻、地球引力波检测系统等方面有着重要而广泛的应用。目前，制造这种超光滑玻璃镜片的方法有传统古典式抛光法、浮法抛光法、离子束抛光法等，其中以传统古典式抛光法所获得的超光滑玻璃表面具有很高的性价比，因而，在工业化生产中获得了广泛的应用。古典式抛光的不足之处是：抛光过程形成的亚表面损伤层隐藏在玻璃镜片表面下，亚表面损伤层中存在着残留气体分子、氮化物、氧化物等污染物以及亚微米级缺陷，这些污染物和缺陷大部分存在亚表面损伤层中的比耳拜层(Bielbylayer)中，古典式抛光后形成的比耳拜层厚度一般在0.1～1微米。这些污染物和亚微米级缺陷难以清净，也难以实现无损检测，去除这些污染物和亚微米级缺陷成为超光滑玻璃镜片研究和制造过程中的技术难题之一。在光学系统中，绝大部分镜片均需镀膜以实现系统的光学性能，超光滑玻璃镜片也不例外，如超光滑玻璃镜片亚表面损伤层中的污染物、亚微米缺陷在超光滑...
【技术保护点】
1.一种超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）超光滑玻璃镜片精密清洗：去除基底表面上残留的污染物，使基底洁净；（2）高能离子束刻蚀去除比耳拜层：将精密清洗后的超光滑玻璃镜片放置于装有发散型离子源的真空室内，抽真空，通入流量为F1的惰性气体，对离子源加激励电源，设置离子束能量为BV1、束流为BI1，控制刻蚀速率为V1，刻蚀深度为D1，抛光时间为T1；（3）多级离子束抛光与化学计量比恢复：将离子束抛光过程分为N级，N=3~100，其中步骤（2）所述高能离子束刻蚀去除比耳拜层为第一级离子束抛光，设定X为第二级至第N‑1级离子束抛光，第X级的离子束抛光参数...
【技术特征摘要】
1.一种超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）超光滑玻璃镜片精密清洗：去除基底表面上残留的污染物，使基底洁净；（2）高能离子束刻蚀去除比耳拜层：将精密清洗后的超光滑玻璃镜片放置于装有发散型离子源的真空室内，抽真空，通入流量为F1的惰性气体，对离子源加激励电源，设置离子束能量为BV1、束流为BI1，控制刻蚀速率为V1，刻蚀深度为D1，抛光时间为T1；（3）多级离子束抛光与化学计量比恢复：将离子束抛光过程分为N级，N=3~100，其中步骤（2）所述高能离子束刻蚀去除比耳拜层为第一级离子束抛光，设定X为第二级至第N-1级离子束抛光，第X级的离子束抛光参数设定为：惰性气体流量FX=F1×（1-X/N）、氧气流量FOx=F1×（X/N），离子束能量BVx=200eV+（BV1-200）×（1-X/N），束流维持不变BIx=BI1，抛光时间Tx=D1/NV1；第N级的离子束抛光参数设定...
【专利技术属性】
技术研发人员：李钱陶，李定，王潺，金天义，熊长新，
申请(专利权)人：华中光电技术研究所中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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