喷嘴孔检查系统及方法技术方案

本公开提供一种喷嘴孔检查系统及方法。上述系统包括多个支撑座，配置用于在一第一方向上支撑一喷嘴管。上述系统还包括一背光源，配置用于投射光束至喷嘴管上的多个喷嘴孔。上述系统还包括一影像获取装置，配置用于获取各喷嘴孔的影像。另外，上述系统包括一处理装置，配置用于依据影像获取装置所获取到的影像而得到各喷嘴孔的至少一孔洞参数。

Nozzle hole inspection system and method

The present disclosure provides a nozzle hole inspection system and method. The system includes a plurality of support seats configured to support a nozzle tube in a first direction. The system also includes a backlight source, which is equipped with a plurality of nozzle holes for projecting the beam to the nozzle tube. The system also includes an image acquisition device configured to acquire images of each nozzle hole. In addition, the system comprises a processing device configured to obtain at least one hole parameter of each nozzle hole based on the image acquired by the image acquisition device.

【技术实现步骤摘要】
喷嘴孔检查系统及方法
本专利技术实施例关于一种喷嘴孔检查系统及方法。
技术介绍
半导体装置被用于多种电子应用，例如个人电脑、移动电话、数字相机以及其他电子设备。半导体装置的制造通常是通过在半导体基板上按序沉积绝缘或介电层材料、导电层材料以及半导体层材料，接着使用微影制程图案化所形成的各种材料层，以形成电路组件和零件于此半导体基板之上。随着集成电路的材料及其设计上的技术进步，已发展出多个世代的集成电路。相较于前一个世代，每一世代具有更小且更复杂的电路。然而，这些发展提升了加工及制造集成电路的复杂度。为了使这些发展得以实现，在集成电路的制造以及生产上相似的发展也是必须的。在半导体装置的制造中，多个制程步骤被使用以制造集成电路在半导体晶圆之上。在持续演进至更小体积以及更高电路密度的发展中，多个困难变因之一为连续性地在既定的误差范围中形成具有更小关键尺寸的电路。举例而言，原子层沉积技术(AtomicLayerDeposition，ALD)为一种化学气相沉积技术(ChemicalVaporDeposition，CVD)，其与传统的CVD技术相比，可利用前驱物气体与基板表面所产生的自我局限(se本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷嘴孔检查系统，包括：多个支撑座，配置用于在一第一方向上支撑一喷嘴管；一背光源，配置用于投射光束至该喷嘴管上的多个喷嘴孔；一影像获取装置，配置用于获取各所述多个喷嘴孔的影像；以及一处理装置，配置用于依据该影像获取装置所获取到的所述多个影像而得到各所述多个喷嘴孔的至少一孔洞参数。

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴孔检查系统，包括：多个支撑座，配置用于在一第一方向上支撑一喷嘴管；一背光源，配置用于投射光束至该喷嘴管上的多个喷嘴孔；一影像获取装置，配置用于获取各所述多个喷嘴孔的影像；以及一处理装置，配置用于依据该影像获取装置所获取到的所述多个影像而得到各所述多个喷嘴孔的至少一孔洞参数。2.如权利要求1所述的喷嘴孔检查系统，还包括一定位座，配置用于通过夹持方式固定该喷嘴管的一端部，该定位座在一第二方向上具有相互分开并可相对移动的两个部分，且该两个部分的相邻侧分别形成有一限位结构，其中该第二方向垂直于该第一方向。3.如权利要求1所述的喷嘴孔检查系统，其中各所述多个支撑座上形成有一沟槽，用于容置该喷嘴管。4.如权利要求1至3项中任意一所述的喷嘴孔检查系统，其中该影像获取装置包括：一影像感测元件，配置用于感测所述多个喷嘴孔的影像；一镜头，配置用于将通过所述多个喷嘴孔的光束聚焦在该影像感测元件上；一第一驱动单元，配置用于沿着该第一方向驱动该影像感测元件及该镜头；以及一第二驱动单元，配置用于沿着一第三方向驱动该影像感测元件及该镜头，其中该第三方向垂直于该第一方向。5.一种喷嘴孔检查系统，包括：多个支撑座，配置用于在一第一方向上支撑一喷嘴管；一定位座，配置用于固定该喷嘴管的一端部；一背光源，配置用于投射光束至该喷嘴管上的多个喷嘴孔；一影像获取装置，配置用于获取各所述多个喷嘴孔的影像；以及一处理装置，配置用于依据该影像获取装置所获取到的所述多个影像而得到各所述多个喷嘴孔的至少一孔洞参数。6.一种喷嘴孔检查方法，包括：固定一喷嘴管，其上具有多个喷嘴孔；投射光束至该喷嘴管上的所述多个喷嘴孔；获取各所述多个喷嘴孔的影像；以及依据各所述多个喷嘴孔的影像而得到各所述多个喷嘴孔的至少一孔洞参数。7.如权利要求6所述的喷嘴孔检查方法，其中上述依据各所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄正翰，黄盈伦，庄胜翔，胡政纲，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71