感应泡生法晶体生长装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种感应泡生法晶体生长装置，包括提拉炉，其中，所述提拉炉内设有保温罩和保温桶，所述保温罩和保温桶之间形成有密闭的空腔，所述空腔的纵向高度小于横向宽度，所述保温桶内设有铱金坩埚，所述铱金坩埚外设有感应线圈进行加热，并在空腔中形成温度梯度变化。本实用新型专利技术提供的感应泡生法晶体生长装置，能够实现更大尺寸高温氧化物晶体制备，降低晶体制造成本，从而解决高温氧化物晶体生长的尺寸问题和产业化过程的投入成本问题。

【技术实现步骤摘要】
感应泡生法晶体生长装置
本技术涉及一种高温氧化物晶体生长装置，尤其涉及一种感应泡生法晶体生长装置。
技术介绍
传统泡生炉、热交换炉可以生长出大尺寸晶体，例如蓝宝石晶体直径可以达到300mm以上，但其加热和保温材料多选用钨钼等材料，钨钼材料高温时容易被氧化，大大限制了其使用范围。当前大部分高温氧化物晶体主要还是通过提拉法制备，提拉法受热场影响(温度梯度大)难以生长较大尺寸的高温氧化物晶体(例如YAG，GGG，LAO，LSAT，LYSO，LSO等等)。另外，已经产业化的激光晶体YAG，闪烁晶体LYSO晶体直尺基本都在4英寸，都是通过感应加热提拉法实现，坩埚尺寸一般都大于晶体尺寸一倍左右，通常这些生长4英寸高温氧化物的铱金坩埚尺寸到达220mm，铱金投入费用巨大。中国专利文献CN104313693A公开的掺杂钇铝石榴石激光晶体的生长装置、晶体生长炉及制备方法，其中使用的是钨或者钼坩埚，在生长高温氧化物晶体，特别是制备氧气分压较高的晶体时，会造成坩埚氧化而在熔体表面形成漂浮氧化物，不利于接种及晶体质量控制。中国专利文献CN103147121A中公开的提拉泡生法生长晶体的装置，只适合其专利中提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感应泡生法晶体生长装置，包括提拉炉，其特征在于，所述提拉炉内设有保温罩(1)和保温桶(2)，所述保温罩(1)和保温桶(2)之间形成有空腔(3)，所述空腔(3)的纵向高度小于横向宽度，所述保温桶(2)内设有铱金坩埚(5)，所述铱金坩埚(5)外设有感应线圈(4)进行加热，并在空腔(3)中形成温度梯度。

【技术特征摘要】
1.一种感应泡生法晶体生长装置，包括提拉炉，其特征在于，所述提拉炉内设有保温罩(1)和保温桶(2)，所述保温罩(1)和保温桶(2)之间形成有空腔(3)，所述空腔(3)的纵向高度小于横向宽度，所述保温桶(2)内设有铱金坩埚(5)，所述铱金坩埚(5)外设有感应线圈(4)进行加热，并在空腔(3)中形成温度梯度。2.如权利要求1所述的感应泡生法晶体生长装置，其特征在于，所述保温罩(1)和保温桶(2)的材质为氧化锆，所述保温罩(1)的厚度范围为30—50mm。3.如权利要求1所述的感应泡生法晶体生长装置，其特征在于，所述保温罩(1)朝向炉体上观察窗(6)处设有观察孔(7)，所述观察孔(7)...

【专利技术属性】
技术研发人员：何晓明，刘正伟，尹祥麟，张泽众，张欣瑶，
申请(专利权)人：夕心科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31