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感应泡生法晶体生长装置制造方法及图纸
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下载感应泡生法晶体生长装置的技术资料
文档序号:19310629
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本实用新型公开了一种感应泡生法晶体生长装置,包括提拉炉,其中,所述提拉炉内设有保温罩和保温桶,所述保温罩和保温桶之间形成有密闭的空腔,所述空腔的纵向高度小于横向宽度,所述保温桶内设有铱金坩埚,所述铱金坩埚外设有感应线圈进行加热,并在空腔中形...
该专利属于夕心科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过夕心科技(上海)有限公司授权不得商用。
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