一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种半导体级丙二醇甲醚(简称PM)的制备方法，以工业级丙二醇甲醚为原料，先通过高效精馏提纯，分子筛脱水，再通过混床树脂交换去除丙二醇甲醚中的金属离子和非金属离子离子，最后通过超滤得到半导体级丙二醇甲醚。本发明专利技术制备的产品重量含量≥99.99％、色度APHA≤10、水分≤50ppm、酸度≤10ppm、各单项金属离子＜0.1ppb、各单项非金属离子＜50ppb、尘埃颗粒＜5pcs/ml，满足半导体器件制作工艺的要求。本发明专利技术工艺简洁，绿色环保，易实现连续化，操作安全，产品质量稳定，适合工业化。

Preparation method of semiconductor grade propylene glycol methyl ether

The invention discloses a preparation method of semiconductor-grade propylene glycol methyl ether (PM), which takes industrial-grade propylene glycol methyl ether as raw material, first purifies by high-efficiency distillation, dehydrates molecular sieve, then removes metal ions and non-metal ions in propylene glycol methyl ether by resin exchange in mixed bed, and finally obtains semiconductor-grade propylene through ultrafiltration. Glycol methyl ether. The product prepared by the invention has weight content (>99.99%), chroma APHA (<10), moisture (<50 ppm), acidity (<10 ppm), individual metal ions (<0.1 ppb), individual non-metallic ions (<50 ppb), dust particles (<5 pcs/ml), which meets the requirements of semiconductor device manufacturing process. The invention has the advantages of simple process, green environmental protection, easy realization of continuity, safe operation, stable product quality and is suitable for industrialization.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法
本专利技术涉及一种电子化学品的
，具体涉及一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法。
技术介绍
半导体制造在很大程度上是一种与化学有关的工艺过程，高达20％工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理，所涉及化学品纯度和洁净度对半导体器件的成品率、电学性能和长期可靠性等有着非常重要的影响。随着微电子技术向超大规模、极大规模发展，芯片集成度越来越高，晶圆表面光刻线条越来越精细，目前，高端光刻加工技术已经达到22nm，这对电子化学品提出了极高的要求，各项指标必须达到国际半导体设备和材料组织制定的SEMI-C12标准要求。半导体级丙二醇甲醚为半导体器件制造工艺用重要的电子化学品之一，是一种安全、环保、性能优良的多功能有机溶剂，主要用于液晶显示器、光刻胶等制造工艺。国内也有丙二醇甲醚电子化学品的相关专利报道，如CN102617299A和CN202519180U中提到丙二醇甲醚通过脱离子塔这道工序，将丙二醇甲醚中的金属离子如：钠、钾、钙、镁、铅、锌、铁等重量含量小于10ppb。以上专利所述的用脱离子塔去除金属离子实际上就是一种常规的精馏方法，属初级提纯工艺；同时，均未提及电子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法，以工业级丙二醇甲醚为原料，先通过高效精馏提纯，分子筛脱水，再通过混床树脂交换去除丙二醇甲醚中的金属离子和非金属离子，最后经过超滤得到半导体级丙二醇甲醚。

【技术特征摘要】
1.一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法，以工业级丙二醇甲醚为原料，先通过高效精馏提纯，分子筛脱水，再通过混床树脂交换去除丙二醇甲醚中的金属离子和非金属离子，最后经过超滤得到半导体级丙二醇甲醚。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：具体制备方法包括以下步骤：(1)精馏提纯：将工业级重量含量在99.0％以上的丙二醇甲醚先通过高效脱轻精馏，再通过高效脱重精馏，脱重精馏后的丙二醇甲醚重量含量在99.99％以上；(2)脱水：将精馏提纯后的丙二醇甲醚通过分子筛脱水，脱水后的丙二醇甲醚中水分控制在50ppm以下；(3)混床树脂交换：将脱水后的丙二醇甲醚通过混床树脂交换床去除金属离子和非金属离子，交换后的丙二醇甲醚中单项金属离子控制在0.1ppb以下，非金属离子控制在50ppb以下，酸度控制在10ppm以下；(4)超滤：将去除非金属离子和非金属离子后的丙二醇甲醚通过超滤器降低丙二醇甲醚中的尘埃颗粒，超滤后的丙二醇甲醚中粒径＞0.5μm的尘埃颗粒控制在5pcs/ml以下。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)精馏提纯工序中，高效脱轻精馏所用脱轻塔和高效脱重精馏所用脱重塔选用的填料型...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴义彪，陈忠平，徐平，
申请(专利权)人：江苏华伦化工有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32