设计布局的失效风险的智能型预诊断系统及方法技术方案

本发明专利技术公开一种设计布局的失效风险的智能型预诊断系统及方法，本发明专利技术的方法是先取得一物体的一设计布局，再于设计布局上划分出至少一布局区域，其中布局区域内具有一布局图案，接着取得多个缺陷，并按照尺寸的大小顺序将多个缺陷逐个与布局图案的一预定部分进行比对，然后根据比对结果判断布局区域的失效风险等级。本发明专利技术能快速且准确地预测在线随机缺陷及系统缺陷等是否会在物体上造成错误并影响到物体的良率。

【技术实现步骤摘要】
设计布局的失效风险的智能型预诊断系统及方法
本公开涉及微电子
，具体而言，涉及一种能准确掌握产品的潜在失效风险的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统及方法。
技术介绍
一般而言，芯片设计公司(designhouse)提供晶圆厂(或制程厂)相关的集成电路设计布局，于是制程厂根据晶圆上的设计布局采用了上百种设备开始制作大量的晶圆，在制造过程中，无法避免地会有缺陷产生，比如一些随机性的颗粒缺陷、制程形成的缺陷或系统性的缺陷，而造成开路或短路失效并影响到产品良率。制程厂将利用各种检测工具作出模拟，目的不外乎是能在初期找到系统性的缺陷，并通过修改设计、改进制程而增进良率。随着设计布局的特征尺寸逐渐缩小，影响产品良率降低的相关缺陷也变得较小，为了获取晶圆上所有致命的缺陷，代工厂必须增加其扫描及检验器具的灵敏度，因而被检验出来的缺陷个数也会随之增加，事实上非致命的缺陷占所有检验出来的缺陷百分比也会增加。此外，为了确认出真正的潜在性缺陷，制程厂将使用电子式扫描显微镜来照相、检视及分类所有被采样及检验出来的缺陷；然而，制程时间是固定的，且用来检视的电子式扫描显微镜的效能可能限制了每个晶圆上被观察本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述设计布局的失效风险的智能型预诊断系统包括：一区域定义模块，用于在一物体的一设计布局上划分出至少一布局区域，其中所述布局区域内具有一布局图案；一缺陷产生模块，用于预先取得多个缺陷数据，其中每一个所述缺陷数据报括一缺陷的一缺陷图像与相关于所述缺陷的一缺陷尺寸及一缺陷形状；一分析模块，用于按照尺寸的大小顺序，将多个所述缺陷的缺陷图像逐个与所述布局图案的一预定部分进行比对，以得到相关于每一个所述缺陷的一致命缺陷指数；以及一判断模块，用于根据多个所述致命缺陷指数判断所述布局区域的一失效风险等级。

【技术特征摘要】
2017.04.05 TW 1061114021.一种设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述设计布局的失效风险的智能型预诊断系统包括：一区域定义模块，用于在一物体的一设计布局上划分出至少一布局区域，其中所述布局区域内具有一布局图案；一缺陷产生模块，用于预先取得多个缺陷数据，其中每一个所述缺陷数据报括一缺陷的一缺陷图像与相关于所述缺陷的一缺陷尺寸及一缺陷形状；一分析模块，用于按照尺寸的大小顺序，将多个所述缺陷的缺陷图像逐个与所述布局图案的一预定部分进行比对，以得到相关于每一个所述缺陷的一致命缺陷指数；以及一判断模块，用于根据多个所述致命缺陷指数判断所述布局区域的一失效风险等级。2.根据权利要求1所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述分析模块将多个所述缺陷图像逐个从所述布局区域中的一起点坐标沿一特定路径移动至一终点坐标，并按序在所述起点坐标、所述终点坐标及所述起点坐标与所述终点坐标之间的多个位置坐标，分别与所述布局图案的多个预定部分进行比对。3.根据权利要求1所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述分析模块先将多个所述缺陷图像在所述布局区域中的一起点坐标、一终点坐标及所述起点坐标与所述终点坐标之间的多个位置坐标的其中一个，逐个与所述布局图案的一预定部分进行比对，再将多个所述缺陷图像在所述起点坐标、所述终点坐标及多个所述位置坐标的另外一个，与所述布局图案的另一预定部分进行比对。4.根据权利要求2或3所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述分析模块利用关键区域分析法得到多个所述致命缺陷指数。5.根据权利要求4所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述致命缺陷指数最小为0且最大为1，所述致命缺陷指数接近1表示造成所述布局图案失效的几率高，所述致命缺陷指数接近0表示不易造成所述布局图案失效。6.根据权利要求5所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，若所述分析模块分析任一个小尺寸的所述缺陷后所得到的所述致命缺陷指数属于高风险致命缺陷指数，则所述判断模块判断所述布局区域的所述失效风险等级为高失效风险；若所述分析模块分析任一个中小尺寸或中尺寸的所述缺陷后所得到的所述致命缺陷指数属于高风险致命缺陷指数，则所述判断模块判断所述布局区域的所述失效风险等级为中失效风险；若所述分析模块分析任一个大尺寸的所述缺陷后所得到的所述致命缺陷指数属于高风险致命缺陷指数，则所述判断模块判断所述布局区域的所述失效风险等级为低失效风险；若所述分析模块分析任一个所述缺陷后所得到的所述致命缺陷指数为0或趋近于0，则所述判断模块判断所述布局区域的所述失效风险等级为无失效风险。7.根据权利要求6所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述智能型预诊断系统还包括一失效风险预诊断分析数据库，所述失效风险预诊断分析数据库储存有一对应所述布局区域的基于关键区域分析的数据群体，且所述关键区域分析的数据群体包括所述起点坐标、所述终点坐标及多个所述位置坐标、多个所述缺陷数据与多个所述致命缺陷指数。8.根据权利要求7所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述智能型预诊断系统还包括一使用者接口，所述使用者接口可供用户从所述失效风险预诊断分析数据库中选择特定的缺陷尺寸、缺陷形状与致命缺陷指数，以浏览符合所选择条件的所述布局图案。9.根据权利要求1所述的设计布局的失效风险的智能型预诊断系统，其特征在于，所述判断模块进一步根据所述布局区域的所述失效风险等级与一缺陷分布密度曲线得出相关于所述设计布局用于生产时的一缺陷良率，其中所述缺陷分布密度曲线显示不同尺寸的所述缺陷的出现几率或百分比。10.一种设计布局的失效风险的智能型预诊断方法，其特征在于，所述智能型预诊断方法包括以下步骤：取得一物体的一设计布局；在所述设计布局上划分出至少一布局区域，其中所述布局区域内具有一布局图案；预先取得多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕一云，
申请(专利权)人：敖翔科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71