静电电容测量用的测量器制造技术

本发明专利技术涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。

【技术实现步骤摘要】
静电电容测量用的测量器
本专利技术涉及一种静电电容测量用的测量器。
技术介绍
在半导体器件之类的电子器件的制造中，使用对圆盘状的被加工物进行处理的处理系统。处理系统具有用于搬送被加工物的搬送装置和用于处理被加工物的处理装置。一般来说，处理装置具有腔室主体和设置在该腔室主体内的载置台。载置台构成为对载置于其上的被加工物进行支承。搬送装置构成为向载置台上搬送被加工物。在处理装置中的被加工物的处理中，被加工物在载置台上的位置很重要。因而，在被加工物在载置台上的位置相对于规定位置偏移的情况下，需要调整搬送装置。作为调整搬送装置的技术，已知专利文献1所记载的技术。在专利文献1所记载的技术中，在载置台上形成有凹部。另外，在专利文献1所记载的技术中，利用具有与被加工物同样的圆盘形状且具有用于测量静电电容的电极的测量器。在专利文献1所记载的技术中，利用搬送装置将测量器搬送到载置台上，获取依赖于凹部与电极的相对位置关系的静电电容的测量值，基于该测量值来调整搬送装置，以修正被加工物的搬送位置。专利文献1：日本专利第4956328号说明书
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在如上述的技术那样的测量静电电容的测量器中，即使静电电容测量用的电极与面对该电极的对象物之间的距离相同，测量出的静电电容的测量值也会根据温度、湿度等周围环境的变化而发生变动。因此，寻求一种构成为能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正的测量器。用于解决问题的方案在一个方式中，提供一种静电电容测量用的测量器。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器各自提供一个以上的第二电极从而提供一个以上的第二电极，所述一个以上的第二传感器分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。在一个方式所涉及的测量器中，第一电极沿着基底基板的边缘设置。因而，根据第一电极中的电压振幅获取的第一测量值表示将第一电极与存在于该第一电极的前方的对象物之间的距离反映在内的静电电容。该第一测量值能够根据温度、湿度等周围环境的变化而发生变动。测量器具备一个以上的第二传感器，以能够修正第一测量值的与环境对应的变动。一个以上的第二传感器的一个以上的第二电极面对一个以上的基准面。一个以上的第二电极和一个以上的基准面被固定在测量器内。因而，一个以上的第二电极各自与对应的基准面之间的距离是固定的。因此，只要周围环境不发生变化，一个以上的第二测量值就不发生变动。换言之，一个以上的第二测量值的变动反映周围环境的变化。能够基于所述的一个以上的第二测量值的变动来修正第一测量值。既可以在电路基板中执行该修正，或者也可以在能够与测量器通信的计算机装置中执行该修正。在一个施方式中，测量器具备提供两个第二电极的两个第二传感器来作为一个以上的第二传感器，具备分别面对两个第二电极的两个基准面来作为一个以上的基准面。第一距离与第二距离互不相同，该第一距离是两个第二电极中的一个第二电极与两个基准面中的面对该一方第二电极的一方基准面之间的距离，该第二距离是两个第二电极中的另一方第二电极与两个基准面中的面对另一方第二电极的另一方基准面之间的距离。在一个实施方式中，电路基板具有存储元件和运算器。存储元件构成为存储第一基准值和第二基准值。第一基准值是在规定的环境下根据一方第二电极中的电压振幅获取到的第二测量值。第二基准值是在该规定的环境下根据另一方第二电极中的电压振幅获取到的第二测量值。运算器构成为根据第一差和第二差中的至少一方求出校正值，该第一差是第一基准值与根据一方第二电极中的电压振幅获取的第二测量值之间的差，该第二差是第二基准值与根据另一方第二电极中的电压振幅获取的第二测量值之间的差。在该实施方式中，在电路基板中求出使用于第一测量值的修正的校正值。在一个实施方式中，运算器构成为计算第一差与第二差的平均值来作为校正值。通过计算第一差与第二差的平均值，能够导出能够对第一测量值更高精度地进行修正的校正值。在一个实施方式中，根据第一电极中的电压振幅能够求出最大的测量值、根据一方第二电极中的电压振幅能够求出的最大的测量值以及根据另一方第二电极的电压振幅能够求出的最大的测量值相同。第一距离被设定为能够获取该最大的测量值的20％以上的第二测量值的距离。第二距离比第一距离大。运算器构成为：在第一测量值为该最大的测量值的20％以上的值的情况下，选择第一差来作为校正值，在第一测量值为小于最大的测量值的20％的值的情况下，选择第二差来作为校正值。第一测量值的大小同电极与对象物之间的距离成反比例。因而，第一测量值在最大的测量值的20％以上的范围内根据第一电极与对象物之间的距离而大幅度地变动，在小于最大的测量值的20％的情况下，相对于第一电极与对象物之间的距离小幅度地变动。在该实施方式中，根据第一测量值所属的范围来选择第一差和第二差中的一方。因而，能够根据第一测量值来获得可靠性高的校正值。因此，在该实施方式中，能够得到能够对第一测量值更高精度地进行修正的校正值。在一个实施方式中，第一距离为0.6mm以下。在一个实施方式中，测量器具备一个第二传感器来作为一个以上的第二传感器，具备一个基准面来作为一个以上的基准面。电路基板具有存储元件和运算器。存储元件存储有基准值，该基准值是在规定的环境下根据一个第二传感器的第二电极中的电压振幅获取到的第二测量值。运算器根据基准值和根据一个第二传感器的第二电极中的电压振幅获取的第二测量值求出校正值。在该实施方式中，在电路基板中求出使用于第一测量值的修正的校正值。在一个实施方式中，运算器构成为利用校正值来修正第一测量值。在该实施方式中，能够在测量器内修正第一测量值的与环境对应的变动。专利技术的效果如以上说明的那样，提供一种构成为能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正的测量器。附图说明图1是例示处理系统的图。图2是例示校准器的立体图。图3是表示等离子体处理装置的一例的图。图4是表示一个实施方式所涉及的测量器的俯视图。图5是表示第一传感器的一例的立体图。图6是沿图5的VI-VI线的截面图。图7是沿图6的VII-VII线的截面图。图8是表示第二传感器的一例的俯视图。图9是沿图8的IX-IX线的截面图。图10是例示测量器的电路基板的结构的图。图11的(a)是表示根据第一传感器和两个第二传感器各自的电极中的电压振幅获取的测量值与测量器的周围环境的温度之间的关系的曲线图，图11的(b)是表示根据第一传感器和两个第二传感器各自的电极中的电压振幅获取的测量值与测量器的周围环境的湿度之间的关系的曲线图。图12是表示第一测量值的距离依赖性的曲线图。图13是表示第二传感器的其它例的图。附图标记说明100：测量器；102：基底基板；104A～104H：第一传感器；105A：第二传感器；105B：第二传感器；106：电路基板；174：处本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电电容测量用的测量器，具备：基底基板；第一传感器，其具有沿着所述基底基板的边缘设置的第一电极；一个以上的第二传感器，所述一个以上的第二传感器各自提供一个第二电极从而提供一个以上的第二电极，所述一个以上的第二电极被固定在所述基底基板上；以及电路基板，其搭载在基底基板上，与所述第一传感器及所述第二传感器连接，该电路基板构成为：对所述第一电极和所述一个以上的第二电极提供高频信号，根据该第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据该一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值，其中，所述测量器具有被固定在该测量器内并且面对所述一个以上的第二电极的一个以上的基准面。

【技术特征摘要】
2017.03.29 JP 2017-0648141.一种静电电容测量用的测量器，具备：基底基板；第一传感器，其具有沿着所述基底基板的边缘设置的第一电极；一个以上的第二传感器，所述一个以上的第二传感器各自提供一个第二电极从而提供一个以上的第二电极，所述一个以上的第二电极被固定在所述基底基板上；以及电路基板，其搭载在基底基板上，与所述第一传感器及所述第二传感器连接，该电路基板构成为：对所述第一电极和所述一个以上的第二电极提供高频信号，根据该第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据该一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值，其中，所述测量器具有被固定在该测量器内并且面对所述一个以上的第二电极的一个以上的基准面。2.根据权利要求1所述的测量器，其特征在于，具备各自提供一个第二电极从而提供两个第二电极的两个第二传感器来作为所述一个以上的第二传感器，具备分别面对所述两个第二电极的两个基准面来作为所述一个以上的基准面，第一距离与第二距离互不相同，该第一距离是所述两个第二电极中的一方第二电极与所述两个基准面中的面对该一方第二电极的一方基准面之间的距离，该第二距离是所述两个第二电极中的另一方第二电极与所述两个基准面中的面对该另一方第二电极的另一方基准面之间的距离。3.根据权利要求2所述的测量器，其特征在于，所述电路基板具有：存储元件，其构成为存储第一基准值和第二基准值，该第一基准值是在规定的环境下根据所述一方第二电极中的电压振幅获取到的所述第二测量值，该第二基准值是在该规定的环境下根据所述另一方第二电极中的电压振幅获取到的所述第二测量值；以及运算器，其构成为根据第一差和第二差中的至少一方求出校正值，该第一差是根据所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉田吉平，南朋秀，西尾哲，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP