一种检测管道内壁粗糙度的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种检测管道内壁粗糙度的装置及方法，通过在待检测管道的一端设置光源，在管道的另一端设置光强吸收模块和信号处理模块，当光线从管道的一端通过管道时，由于管道内壁表面存在粗糙度不一样的情况，将在管道内壁表面发生双向反射，从而导致在管道另一端检测到的光强发生变化，根据光强值的变化即可确定管道内壁表面的粗糙度；本发明专利技术可解决现有技术无法测量管道内壁表面粗糙度的问题，并具有装置结构简单，成本较低的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种检测管道内壁粗糙度的装置及方法
本专利技术涉及半导体集成电路制造
，更具体地，涉及一种检测半导体气体输送洁净管道内壁粗糙度的装置及方法。
技术介绍
高纯特种气体作为掺杂、外延、刻蚀、离子注入等半导体制程中必不可少的特殊气体(工艺气体)，是制作精密电子元器件产品的重要原料。半导体制程中的工艺气体都是通过洁净管道来输送的。当前洁净管道的材质基本都是316L不锈钢(00Cr17Ni14Mo2)，它的表面处理方式可包括酸洗处理(AcidPickling，AP)，光辉退火(BrightAnnealing，BP)或电解抛光(ElectroPolishing，EP)等。通过上述这些处理方法，可以使得洁净管道内壁表面的粗糙度达到较小的微米级。然而，随着一定压力的工艺气体不断在洁净管道中进行输送，这些特殊气体会对管道内壁产生一定的冲击作用，使管道内壁表面的粗糙度变得越来越大，致使产生的颗粒也就越来越多。当半导体技术发展到16nm技术代以下时，洁净管道中产生的颗粒对制程的影响会越来越明显。当前，业界基本采用不在线检测洁净管道内壁表面粗糙度的检测方式。只有当工艺设备的颗粒超标了，才有可能来查找洁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测管道内壁粗糙度的装置，其特征在于，包括：一光源，设于管道的一端，用于向管道内壁表面发射光线；一光强吸收模块，设于管道的另一端，用于检测在管道内壁表面不同位置处发生双向反射的反射光线的光强；一信号处理模块，用于对光强吸收模块检测到的光强进行信号转换并输出，以根据光强值的变化及生成的双向反射分布函数，确定管道内壁表面对应位置处的粗糙度。

【技术特征摘要】
1.一种检测管道内壁粗糙度的装置，其特征在于，包括：一光源，设于管道的一端，用于向管道内壁表面发射光线；一光强吸收模块，设于管道的另一端，用于检测在管道内壁表面不同位置处发生双向反射的反射光线的光强；一信号处理模块，用于对光强吸收模块检测到的光强进行信号转换并输出，以根据光强值的变化及生成的双向反射分布函数，确定管道内壁表面对应位置处的粗糙度。2.根据权利要求1所述的检测管道内壁粗糙度的装置，其特征在于，所述光源为半导体激光器，所述光强吸收模块为光强吸收器，所述信号处理模块为相连接的信号转化器和计算机。3.根据权利要求1所述的检测管道内壁粗糙度的装置，其特征在于，所述光源连接一旋转底座，所述旋转底座用于调节光源向管道内壁表面发射光线时的入射角度。4.根据权利要求3所述的检测管道内壁粗糙度的装置，其特征在于，所述入射角度的调节范围为在X-Z方向从-90°到90°。5.根据权利要求3所述的检测管道内壁粗糙度的装置，其特征在于，所述光源通过光源臂与旋转底座上设有的角度旋转开关相连接。6.一种检测管道内壁粗糙度的方法，其特征在于，包括以下步骤：...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾绍海，刘谆骅，李铭，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31