一种转盘式定位传输机构制造技术

本实用新型专利技术属于半导体芯片传输领域，具体地说是一种实现对物料的定位、激光打标和OCR检测进行定位传输的转盘式定位传输机构，旋转驱动器及轴承座A分别安装在机架上，行星架转轴与轴承座A转动连接，一端与旋转驱动器的输出端相连，另一端连接有行星架，由旋转驱动器驱动行星架旋转；在行星架上沿周向均布有多个轴承座B，每个轴承座B上均转动安装有行星轮轴，每个行星轮轴的一端均连接有行星轮，另一端均安装有芯片转运盘；太阳轮安装在轴承座A上，并位于各行星轮的中间，且与各行星轮相啮合。本实用新型专利技术实现转盘入料—激光打标—OCR视觉识别—出料的循环作业，对芯片的激光打标及检测的效率大大提高，从而提高了整个设备的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种转盘式定位传输机构
本技术属于半导体芯片传输领域，具体地说是一种实现对物料的定位、激光打标和OCR(光学字符识别)检测进行定位传输的转盘式定位传输机构。
技术介绍
目前，市场上多数半导体芯片数据写入产品的激光刻蚀机构的原理都大致相同，即激光刻蚀机构固定不动，其他机构与其成直线或平面布置，通过机械手将芯片由托盘或载带抓取到激光刻蚀机构内；刻蚀完成后，再通过机械手将芯片抓取到下一个工位。但是，由于布置方式及机械手的行程及运动速度的影响，导致设备的整体产能较低，很难实现高产能的要求，影响了芯片生产的效率。
技术实现思路
为了实现芯片在激光刻蚀工位与OCR视觉识别工位的循环工作，提高设备生产效率，本技术的目的在于提供一种转盘式定位传输机构。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本技术包括太阳轮、行星轮、芯片转运盘、旋转驱动器、轴承座A、行星架、行星架转轴、轴承座B及行星轮轴，其中旋转驱动器及轴承座A分别安装在机架上，所述行星架转轴与该轴承座A转动连接，一端与所述旋转驱动器的输出端相连，另一端连接有行星架，由旋转驱动器驱动行星架旋转；在所述行星架上沿周向均布有多个轴承座B，每个轴承座B上均转动安装有行星轮轴，每个所述行星轮轴的一端均连接有行星轮，另一端均安装有芯片转运盘；所述太阳轮安装在轴承座A上，并位于各所述行星轮的中间，且与各所述行星轮相啮合；各所述行星轮随行星架旋转，进而实现各所述芯片转运盘在转盘入料工位、激光打标工位、OCR视觉识别工位与出料工位之间的循环作业。其中：所述行星架呈“十”字形，在该“十”字形的四个外边缘均安装有所述轴承座B；所述行星架转轴通过轴承A转动安装于轴承座A的内部，一端穿过所述机架、通过联轴器与旋转驱动器的输出端相连，另一端由所述轴承座A穿出、连接行星架；所述轴承A的外圈通过轴承座A内壁的止口及机架轴向限位，轴承A的内圈通过套设在所述行星架转轴上的轴套A轴向限位；所述旋转驱动器通过固定座固定在机架上，所述联轴器容置于该固定座内；所述行星轮轴通过轴承B转动安装于轴承座B的内部，一端由所述轴承座B的底部穿出、连接行星轮，另一端由所述轴承座B的顶部穿出、连接芯片转运盘；所述轴承B的外圈通过轴承座B的内壁轴向限位，轴承B的内圈通过套设在所述行星轮轴上的轴套B轴向限位；所述行星架转轴与各所述行星轮轴的轴向中心线相平行，各所述芯片转运盘均位于行星架的上方、且共面，所述太阳轮及各所述行星轮均位于行星架的下方；所述芯片转运盘上的芯片在激光打标及检测过程中的方位保持不变，即芯片在芯片转运盘上的运动为平动。本技术的优点与积极效果为：本技术可以实现转盘入料—激光刻蚀—OCR视觉识别—出料的循环作业，使得对芯片的激光打标及检测的效率大大提高，从而提高了整个设备的生产效率。附图说明图1为本技术的结构剖视图；图2为图1的俯视图；其中：1为太阳轮，2为行星轮，3为芯片转运盘，4为旋转驱动器，5为联轴器，6为固定座，7为机架，8为轴承座A，9为轴承A，10为轴套A，11为行星架，12为行星架转轴，13为轴承座B，14为行星轮轴，15为轴承B，16为轴套B，A为转盘入料工位，B为激光打标工位，C为OCR视觉识别工位，D为出料工位。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步详述。如图1、图2所示，本技术包括太阳轮1、行星轮2、芯片转运盘3、旋转驱动器4、轴承座A8、行星架11、行星架转轴12、轴承座B13及行星轮轴14，其中旋转驱动器4通过固定座6固定在激光刻蚀机构的机架7的下方，轴承座A8固定在机架7的上方，且轴承座A8、固定座6及旋转驱动器4输出轴的轴向中心线共线；固定座6内容置有联轴器5。行星架转轴12通过轴承A10转动安装于轴承座A8的内部，一端穿过机架17、通过联轴器5与旋转驱动器4的输出轴相连，另一端由轴承座A8穿出、连接行星架11。轴承A10的外圈通过轴承座A8内壁的止口及机架7轴向限位，轴承A10的内圈通过套设在行星架转轴12上的轴套A10轴向限位。在行星架11上沿周向均布有多个轴承座B13，每个轴承座B13上均转动安装有行星轮轴14，每个行星轮轴14的一端均连接有行星轮2，另一端均安装有芯片转运盘3。本实施例的行星架11呈“十”字形，在该“十”字形的四个外边缘均固定有轴承座B13。每根行星轮轴14均通过轴承B10转动安装于一个轴承座B13的内部，行星轮轴14的一端由轴承座B13的底部穿出、连接行星轮2，另一端由轴承座B13的顶部穿出、连接芯片转运盘3。轴承B15的外圈通过轴承座B13的内壁轴向限位，轴承B15的内圈通过套设在行星轮轴14上的轴套B16轴向限位。太阳轮1安装在轴承座A8的上部，并位于各行星轮2的中间，且与各行星轮2相啮合。行星架转轴12与各行星轮轴14的轴向中心线相平行，各芯片转运盘3均位于行星架11的上方、且共面，太阳轮1及各行星轮2均位于行星架11的下方。各行星轮2随行星架11旋转，进而实现各芯片转运盘3在转盘入料工位A、激光打标工位B、OCR视觉识别工位C与出料工位D之间的循环作业。本技术的工作原理为：第一个芯片通过机械手将芯片抓取到转盘入料工位A的芯片转运盘3上，旋转驱动器4顺时针旋转90°将第一个芯片从转盘入料工位A旋转到激光打标工位B；同时，另外三个芯片转运盘3随行星架11同步旋转，保证转盘入料工位A始终有芯片转运盘3接收机械手后续抓取来的芯片。激光刻蚀完成后，旋转驱动器4顺时针旋转90度，将第一个芯片从激光打标工位B旋转到OCR视觉识别工位C；同时，第二个芯片由转盘入料工位A旋转至激光打标工位B进行激光刻蚀。OCR检测完成后，旋转驱动器4顺时针旋转90度，将第一个芯片从OCR视觉识别工位C旋转到出料工位D出料，第二个芯片从激光打标工位B旋转到OCR视觉识别工位C，第三个芯片从转盘入料工位A旋转至激光打标工位B。然后，旋转驱动器4顺时针旋转90度，第二个芯片从OCR视觉识别工位C旋转到出料工位D出料，第三个芯片从激光打标工位B旋转到OCR视觉识别工位C，第四个芯片从转盘入料工位A旋转至激光打标工位B。依次循环工作，整个循环过程，实现了芯片的循环连续生产，并且芯片在芯片转运盘3上的方位始终保持了进入设备时的原始状态。通过选择太阳轮1与行星轮2的齿数比，实现芯片在激光打标及检测的过程中，芯片在芯片转运盘3上的方位保持不变，即芯片在芯片转运盘3上的运动为平动，从而保证芯片在激光打标、检测以及芯片入料和出料等各工位的方位不变。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转盘式定位传输机构，其特征在于：包括太阳轮(1)、行星轮(2)、芯片转运盘(3)、旋转驱动器(4)、轴承座A(8)、行星架(11)、行星架转轴(12)、轴承座B(13)及行星轮轴(14)，其中旋转驱动器(4)及轴承座A(8)分别安装在机架(7)上，所述行星架转轴(12)与该轴承座A(8)转动连接，一端与所述旋转驱动器(4)的输出端相连，另一端连接有行星架(11)，由旋转驱动器(4)驱动行星架(11)旋转；在所述行星架(11)上沿周向均布有多个轴承座B(13)，每个轴承座B(13)上均转动安装有行星轮轴(14)，每个所述行星轮轴(14)的一端均连接有行星轮(2)，另一端均安装有芯片转运盘(3)；所述太阳轮(1)安装在轴承座A(8)上，并位于各所述行星轮(2)的中间，且与各所述行星轮(2)相啮合；各所述行星轮(2)随行星架(11)旋转，进而实现各所述芯片转运盘(3)在转盘入料工位(A)、激光打标工位(B)、OCR视觉识别工位(C)与出料工位(D)之间的循环作业。

【技术特征摘要】
1.一种转盘式定位传输机构，其特征在于：包括太阳轮(1)、行星轮(2)、芯片转运盘(3)、旋转驱动器(4)、轴承座A(8)、行星架(11)、行星架转轴(12)、轴承座B(13)及行星轮轴(14)，其中旋转驱动器(4)及轴承座A(8)分别安装在机架(7)上，所述行星架转轴(12)与该轴承座A(8)转动连接，一端与所述旋转驱动器(4)的输出端相连，另一端连接有行星架(11)，由旋转驱动器(4)驱动行星架(11)旋转；在所述行星架(11)上沿周向均布有多个轴承座B(13)，每个轴承座B(13)上均转动安装有行星轮轴(14)，每个所述行星轮轴(14)的一端均连接有行星轮(2)，另一端均安装有芯片转运盘(3)；所述太阳轮(1)安装在轴承座A(8)上，并位于各所述行星轮(2)的中间，且与各所述行星轮(2)相啮合；各所述行星轮(2)随行星架(11)旋转，进而实现各所述芯片转运盘(3)在转盘入料工位(A)、激光打标工位(B)、OCR视觉识别工位(C)与出料工位(D)之间的循环作业。2.根据权利要求1所述的转盘式定位传输机构，其特征在于：所述行星架(11)呈“十”字形，在该“十”字形的四个外边缘均安装有所述轴承座B(13)。3.根据权利要求1所述的转盘式定位传输机构，其特征在于：所述行星架转轴(12)通过轴承A(9)转动安装于轴承座A(8)的内部，一端穿过所述机架(7)、通过联轴器...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凤禹，石晓峰，
申请(专利权)人：沈阳派尔泰科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21