The utility model discloses a two-dimensional precision motion platform, which comprises a platform base, a macro motion platform and a micro motion platform; a macro motion platform comprises a macro motion platform transmission structure; and a macro motion platform transmission structure comprises a macro motion X-axis transmission structure and a macro motion Y-axis transmission structure; and a macro motion X-axis transmission structure and a macro motion Y-axis transmission structure. The projection of the shaft drive structure on the top of the platform pedestal forms a quadrant of the coordinate system, and the projection of the micro-motion platform on the top of the platform pedestal is located in the quadrant area. By setting the Macro-motion platform and micro-motion platform with spatial dislocation, the Macro-motion platform and the micro-motion platform are separated from each other and controlled independently, so that the motion platform can move in a larger space area while meeting the requirements of high precision, and the mutual interference guidance of the existing motion platform due to the macro-micro motion structure is solved. The technical problem of decreasing kinematic accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种二维精密运动平台
本技术涉及精密运动平台
，尤其涉及一种二维精密运动平台。
技术介绍
随着科技的发展和微电子产品的普及，人们对微电子产品的要求也越来越高，使得生产商对微电子产品的加工难度日益剧增，微电子产品的精密加工，取决于运动平台的高精度运动和高加速度运动的二者搭配。高精度运动和高加速度运动可以可采用宏微运动结合的方式实现，宏运动实现大行程与高加速度，同时宏运动能达到微米级的精度，微运动在宏运动微米级运动基础上对宏运动的运动误差进行更高精度的补偿，实现纳米级精度，最终整个平台可以实现纳米级高精度运动。现有宏微运动结合的运动平台，涉及电、磁、机构、功能材料等多物理场耦合建模，运动性能受到多场多因素约束与影响，是多学科融合的科学难题；宏微复合运动工况下基于功能材料的微纳米精度生成的机理，尤其是材料特性、结构尺寸与组成成分对非线性迟滞、蠕变与漂移效应的物理本质与影响规律，相关理论的欠缺一直限制着运动平台的运动精确性。
技术实现思路
本技术提供了一种二维精密运动平台，解决了现有运动平台因宏微运动结构的相互干扰导致运动精度下降的技术问题。本技术提供了一种二维精密运动平台...
【技术保护点】
1.一种二维精密运动平台，其特征在于，包括：平台基座、宏运动平台和微运动平台；所述宏运动平台包括宏运动平台传动结构，所述宏运动平台传动结构包括：宏运动X轴传动结构和宏运动Y轴传动结构；所述宏运动X轴传动结构和所述宏运动Y轴传动结构在所述平台基座顶面的投影构成坐标系的一个象限，所述微运动平台在所述平台基座顶面的投影位于所述象限的区域内。
【技术特征摘要】
1.一种二维精密运动平台，其特征在于，包括：平台基座、宏运动平台和微运动平台；所述宏运动平台包括宏运动平台传动结构，所述宏运动平台传动结构包括：宏运动X轴传动结构和宏运动Y轴传动结构；所述宏运动X轴传动结构和所述宏运动Y轴传动结构在所述平台基座顶面的投影构成坐标系的一个象限，所述微运动平台在所述平台基座顶面的投影位于所述象限的区域内。2.根据权利要求1所述的二维精密运动平台，其特征在于，所述宏运动Y轴传动结构包括Y轴电机，所述宏运动X轴传动结构包括X轴电机；所述Y轴电机定子安装于所述平台基座顶面上，所述X轴电机定子和所述Y轴电机动子连接；所述微运动平台安装于所述平台基座顶面上。3.根据权利要求2所述的二维精密运动平台，其特征在于，所述平台基座顶面和所述Y轴电机定子之间设有第一凸起。4.根据权利要求2所述的二维精密运动平台，其特征在于，所述Y轴电机定子位于所述平台基座顶面开设的第一凹槽内。5.根据权利要求2所述的二维精密运动平台，其特征在于，所述平台基座顶面和所述微运动平台之间设有第二凸起。6.根据权利要求2所述的二维精密运动平台，其特征在于，所述微运动平台位于所述平台基座顶面开设的第二凹槽内。7....
【专利技术属性】
技术研发人员：高健，钟永彬，张揽宇，张金迪，陈新，陈云，汤晖，贺云波，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：新型
国别省市：广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。