样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法制造方法及图纸

本申请公开一种样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法。所述样品分析组件包括：载台，设有用于放置样品的承载区；检测机构，设于承载区的上方，用于获取样品的膜内异物的位置；扎针机构，设置于载台上，所述扎针机构包括针，所述针用于扎出样品的膜内异物。基于此，本申请能够有利于对膜内异物进行成分分析。

Sample analysis module, sample analysis device and sample analysis method

The application discloses a sample analysis component, a sample analysis device and a sample analysis method. The sample analysis assembly comprises a carrier platform with a loading area for placing the sample, a detection mechanism located above the loading area for obtaining the position of the foreign body in the membrane of the sample, and a needling mechanism arranged on the carrier platform. The needling mechanism comprises a needle for extracting the foreign body in the membrane of the sample. Based on this, this application can facilitate component analysis of foreign bodies in membrane.

【技术实现步骤摘要】
样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法
本申请涉及成分分析与机械领域，具体涉及一种样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法。
技术介绍
显示器的显示面板包括多层膜结构，例如，LTPS(LowTemperaturePoly-Silicon,低温多晶硅)基板上设有用于电信号传输的走线、TFT(ThinFilmTransistor,薄膜晶体管)、有机层等。显示面板在制造过程中会产生大量的微观异常，最多的就是膜上异物(即位于膜上的异物)和膜内异物(即位于膜内的异物)。现有技术通常使用FTIR(FourierTransforminfraredspectroscopy,傅立叶变化红外线光谱分析仪)来分析异物的成分，并以此解决微观异常现象。但FTIR只能分析膜上异物的成分，而对显示领域中最常出现的膜内异物却很难进行成分分析。
技术实现思路
有鉴于此，本申请提供一种样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法，能够有利于对膜内异物进行成分分析。本申请一实施例的样品处理组件，包括：载台，所述载台上设有用于放置样品的承载区；检测机构，设置于所述承载区的上方；扎针机构，设置于所述载台上，所述扎针机构包括朝向所述承载区延伸的针。本申请一实施例的样品分析装置，包括FTIR及上述样品处理组件。本申请一实施例的样品分析方法，包括：提供一样品分析组件，所述样品分析组件包括载台、检测机构及扎针机构，所述载台上设有承载区，所述检测机构设于所述承载区的上方，所述扎针机构设于所述载台上且包括朝向所述承载区延伸的针；将样品放置于所述载台的承载区；所述检测机构获取所述样品的膜内异物的位置；将所述针移动至所述膜内异物的位置，并扎出所述膜内异物；FTIR对所述膜内异物进行成分分析。有益效果：本申请的样品处理组件包括载台、检测机构和扎针机构，将待分析样品放置于载台的承载区，检测机构获取样品的膜内异物的位置，扎针机构的针扎出该膜内异物，使得该膜内异物暴露出来，从而能够有利于对膜内异物进行成分分析。附图说明图1是本申请一实施例的样品处理组件的结构示意图；图2是本申请一实施例的样品分析方法的流程示意图。具体实施方式本申请的主要目的是：提供至少具有载台、检测机构和扎针机构的样品处理组件，该载台用于放置待分析的样品，检测机构获取样品的膜内异物的位置，扎针机构的针将该膜内异物扎出，使得该膜内异物暴露出来，以此能够有利于对膜内异物进行成分分析。本申请的样品处理组件可以作为样品分析装置的一部分，例如，对于采用FTIR进行成分分析的场景，该样品分析装置还包括FTIR，通过FTIR对暴露出来的膜内异物进行成分分析。本申请可以适用于不同类型的样品，例如对于基于LTPS技术的OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有机电致发光二极管)显示面板，本申请可以扎出LTPS基板上的走线、TFT、有机层等中的膜内异物，以及OLED器件中红色、绿色及蓝色色阻等中的膜内异物。下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。并且，本申请全文所采用的方向性术语，例如“上”、“下”等，均是为了更好的描述各个实施例的技术方案，并非用于限制本申请的保护范围。图1是本申请一实施例的样品处理组件的结构示意图。如图1所示，所述样品处理组件10包括载台11、检测机构12及扎针机构13，其中，载台11的表面上设有用于放置待分析样品20的承载区111，检测机构12设置于该承载区111的上方，扎针机构13设置于载台11上，该扎针机构13设有朝向承载区111延伸的针131，所述针131用于扎出样品20的膜内异物。载台11的上表面为平面，承载区111可以设置于其中间区域。载台11可以在该承载区111设置有定位机构，该定位机构用以将待分析的样品20固定在载台11上，具体地，所述定位机构可以包括磁铁112和铁片113，磁铁112可以内嵌于载台11上，且磁铁112的上表面与载台11的上表面平齐，所述铁片113的上表面可以设置有双面胶，所述样品20通过双面胶粘贴于该铁片113的上表面，将铁片113放置于磁铁112上，即可将待分析的样品20固定在承载区111。请继续参阅图1，所述载台11上还可以设有导轨114，所述导轨114设于承载区111的外围，具体地，导轨114包括第一部件1141、第二部件1142以及第三部件1143，该第一部件1141与第三部件1143位于承载区111的两侧且两者平行设置，第二部件1142的两端分别与第一部件1141和第三部件1143垂直连接。于此，沿垂直于载台11的视线方向，所述导轨114可视为呈一侧开口的矩形设置。当然，沿垂直于载台11的视线方向，本申请也可以设置导轨114在所述载台11的表面上呈四周闭合的矩形设置，或者呈三角形、圆形设置。所述检测机构12用于获取样品20的膜内异物的位置，其观测清晰度是确保检测结果准确度的核心要素，于此，本申请对检测机构12的观测清晰度要求极高，可以选取照明CCD(Charge-coupledDevice,电荷耦合元件，又称CCD相机)来执行观测。该照明CCD12可以通过支撑架121和连接杆122设置于承载区111的上方。具体地，支撑架121包括水平部和竖直部，其竖直部垂直固定于载台11的一侧，例如图中未设置导轨114的一侧，其水平部与竖直部垂直连接且朝向承载区111一侧延伸，连接杆122垂直固定与所述水平部的外端且向下延伸，照明CCD12固定于连接杆122的下端，其镜头位于承载区111的正上方。在其他实施例中，相对于载台11，检测机构12可以并非是固定的，而是可以移动的，例如，所述连接杆122可以为伸缩杆，通过伸缩杆调节照明CCD12与承载区111之间的距离。扎针机构13设置于导轨114上且可沿导轨114移动，以此改变在载台11上的位置。扎针机构13的主体部可设有滑槽，导轨114卡置于滑槽内，以此实现扎针机构13和导轨114的可移动连接。针131设置于扎针机构13朝向承载区111的一侧并朝向承载区111延伸，该针131可以包括相连接且夹角为钝角的水平延伸部和倾斜部，水平延伸部平行于承载区111，倾斜部朝向承载区111倾斜。如图1所示，所述扎针机构13还可以设置有调节旋钮132，该调节旋钮132可以分为延伸长度调节旋钮和俯仰角度调节旋钮，延伸长度调节旋钮用于调节针131朝向承载区111的长度，俯仰角度调节旋钮用于调节针131的俯仰角度。利用样品处理组件10执行成分分析的原理及过程如下：将待分析的样品20通过双面胶粘贴于铁片113的上表面，将铁片113放置于磁铁112上，以此将样品20固定在载台11的承载区111。然后，检测机构12检测样品20的膜内异物，以显示面板为例，膜内异物所在的位置会出现黑点或者气泡等异常现象，通过照明CCD12拍摄异常现象即可确定膜内异物的位置。接着，沿所述导轨114移动所述扎针机构13直至所述针131位于所述膜内异物的上方，再通过调节旋钮132调节针131，例如使得调节针131的俯仰角度变小，使得针131扎入样品20内部，直至针131扎出所述膜内异物。最后，FTIR可以对暴露出来的膜内异物进行成分分析本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样品处理组件，其特征在于，所述样品处理组件包括：载台，所述载台上设有用于放置样品的承载区；检测机构，设置于所述承载区的上方；扎针机构，设置于所述载台上，所述扎针机构包括朝向所述承载区延伸的针。

【技术特征摘要】
1.一种样品处理组件，其特征在于，所述样品处理组件包括：载台，所述载台上设有用于放置样品的承载区；检测机构，设置于所述承载区的上方；扎针机构，设置于所述载台上，所述扎针机构包括朝向所述承载区延伸的针。2.根据权利要求1所述的样品处理组件，其特征在于，所述载台上设有导轨，所述导轨设于所述承载区的外围，所述扎针机构设置于所述导轨上且可沿所述导轨移动。3.根据权利要求2所述的样品处理组件，其特征在于，所述导轨在所述载台的表面上呈三角形、圆形或矩形设置。4.根据权利要求1所述的样品处理组件，其特征在于，所述扎针机构还包括用于调节所述针的俯仰角度的调节旋钮。5.根据权利要求1所述的样品处理组件，其特征在于，所述载台在所述承载区设有磁铁和铁片，所述铁片的上表面设置有双面胶。6.根据权利要求5所述的样品处理组件，其特征在于，所述磁铁的上表面与所述载台的表面平齐。7.一种样品分析装置，其特征在于，所述样品分析装置包括傅立叶变化红外线光谱分析仪FTIR...

【专利技术属性】
技术研发人员：易国霞，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42