【技术实现步骤摘要】
一种抑制多晶硅PERC电池热辅助光诱导衰减的方法
本专利技术属于太阳能电池
,特别是涉及一种抑制多晶硅PERC电池热辅助光诱导衰减的方法。
技术介绍
PERC电池(PassivatedEmitterandRearCell)最早起源于上世纪八十年代,1989年由澳洲新南威尔士大学的MartinGreen研究组在AppliedPhysicsLetter首次正式报道了PERC电池结构,当时达到22.8%的实验室电池效率。到了1999年其实验室研究的PERL电池创造了转换效率25%的世界纪录。PERC电池的实验室制备,采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术。PERC电池与常规电池最大的区别在背表面介质膜钝化,采用局域金属接触,大大降低被表面复合速度,同时提升了背表面的光反射。随着沉积氧化铝的产业化设备及其工艺技术的日益成熟,以及激光开槽技术的引入,PERC技术已经开始逐步走向产业化。PERC技术的成功工业化应用,大大增强了p型晶体硅电池的竞争力,推迟了n型晶体硅电池的市场化进程。相对于常规电池,PERC技术主要增加了背钝化和激光开孔两个工艺环节,与常规电池生产线具有 ...
【技术保护点】
1.一种抑制多晶硅PERC电池热辅助光诱导衰减的方法,所采用的电池片结构包括前电极、氮化硅抗反射层和钝化层、磷扩散层、p型多晶硅、氧化铝钝化层、氮化硅保护层、背电极,其特征在于:将电池片放入无光照、空气氛围的普通退火炉中,退火炉温度设置为180‑200℃,退火时间为3小时。
【技术特征摘要】
1.一种抑制多晶硅PERC电池热辅助光诱导衰减的方法,所采用的电池片结构包括前电极、氮化硅抗反射层和钝化层、磷扩散层、p型多晶硅、氧化铝...
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