【技术实现步骤摘要】
一种电沉积装置
本专利技术涉及一种电沉积装置，属于电沉积领域。
技术介绍
目前，电沉积技术通常采用挂镀模式，即将阴、阳两极间隔较大距离竖直地浸入到电解液中进行电沉积。然而，采用这种模式所得到的沉积层的厚度往往不均匀，且厚度较难控制。因此，为了提高沉积层的可控性和均匀性，有必要提出一种新的电沉积装置，通过微量逐层叠加的电沉积方式来提高沉积层厚度的可控性和均匀性，从而提高产品的质量。
技术实现思路
本专利技术专利的目的是提供一种新的电沉积装置，以期通过微量逐层叠加的电沉积方式来提高沉积层厚度的可控性和均匀性，从而提高产品的质量。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是：一种电沉积装置，包括电解液循环过滤单元、电解液槽、电沉积电源、阴极基底、电解液，它还包括横截面为长方形的直线状阳极和搅拌桨；所述的直线状阳极安设于搅拌桨的底部且直线状阳极的表面与搅拌桨的底面平齐；所述的搅拌桨的底面与阴极基底的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨可作往复直线运动；所述的电解液的液面高于搅拌桨的底面1~2mm。所述的搅拌桨的底面与阴极基底的表面的间距为0.2~0.5mm。所述的直线状阳极和阴极基底分别与所述的电沉积电源的正极与负极相连接。所述的直线状阳极的横截面的长为0.1~0.2mm，宽为0.1~0.2mm。所述的直线状阳极的材质为钛、铂等惰性金属材料。所述的搅拌桨的材质为耐酸碱腐蚀的电绝缘固体材料。本专利技术与现有技术相比具有以下优点：1.均匀性好直线状阳极输出的电流可视为超窄带状分布的“微电流”，这样，直线状阳极的往复移动相当于微电流束“逐微区地且周期反复地”向电沉积区贴近供应“微电流...
【技术保护点】
1.一种电沉积装置，包括电解液循环过滤单元（1）、电解液槽（2）、电沉积电源（4）、阴极基底（5）、电解液（7），其特征是：它还包括横截面为长方形的直线状阳极（6）和搅拌桨（3）；所述的直线状阳极（6）安设于搅拌桨（3）的底部且直线状阳极（6）的表面与搅拌桨（3）的底面平齐；所述的搅拌桨（3）的底面与阴极基底（5）的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨（3）可作往复直线运动；所述的电解液（7）的液面高于搅拌桨（3）的底面1~2mm。
【技术特征摘要】
1.一种电沉积装置，包括电解液循环过滤单元（1）、电解液槽（2）、电沉积电源（4）、阴极基底（5）、电解液（7），其特征是：它还包括横截面为长方形的直线状阳极（6）和搅拌桨（3）；所述的直线状阳极（6）安设于搅拌桨（3）的底部且直线状阳极（6）的表面与搅拌桨（3）的底面平齐；所述的搅拌桨（3）的底面与阴极基底（5）的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨（3）可作往复直线运动；所述的电解液（7）的液面高于搅拌桨（3）的底面1~2mm。2.根据权利要求1所述的一种电沉积装置，其特征在于：所述的搅拌桨（3）的底面与阴极基底...
【专利技术属性】
技术研发人员：明平美，刘筱笛，张新民，闫亮，秦歌，郑兴帅，李云涛，侯亚楠，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：发明
国别省市：河南,41
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