【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚的制备工艺
本专利技术涉及石英坩埚
,尤其涉及一种石英坩埚的制备工艺。
技术介绍
目前,国内石英坩埚生产企业使用的设备、工艺源于上世纪70年代初从日本引进的,该该工艺不但自动化程度不高,整个生产过程中更多的依靠人工来实现,而且原料只能依赖国外进口的石英砂、生产成本高、能耗高、产品气泡数量多、生产周期长、使用寿命短、拉制单晶硅成功率低。光伏行业的快速发展以及单晶硅生产技术的进步对石英坩埚在大直径、高纯度、气泡少、杂质分布高均匀、耐高温性能好等专业领域提出了更高的要求。因此,迫切需要对现有石英坩埚生产进行改进满足市场需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,提供一种石英坩埚的制备工艺,生产成本低、周期短,节约能耗,而且产品气泡数量少、使用寿命长,拉制单晶硅成功率高。本专利技术的技术方案:一种石英坩埚的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)、按质量百分比取石英砂95-96%,碳酸钙0.5-1%,聚乙烯醇0.5-2%,高岭土2-5%,硅酸钠1-2%混合均匀形成配合料后,再将配合料加入球磨机中,再向球磨机中加入蒸馏水,放入与配合料等重量的球石球磨40-50h,将料浆从球磨机中倒出,并过120-150目标准筛,得石英坩埚用石英砂泥浆;(2)、将上述石英砂泥浆原料加入真空度为0.01-0.1pa的金属合金模具内旋转成型;(3)、真空电弧高温熔制模具内的原料,控制熔制温度为2500-2800ºC,电极棒起弧电压140-160V;(4)、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模;(5)、对石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋;(6)、清洗后的石英坩 ...
【技术保护点】
1.一种石英坩埚的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)、按质量百分比取石英砂95‑96%,碳酸钙0.5‑1%,聚乙烯醇0.5‑2%,高岭土2‑5%,硅酸钠1‑2%混合均匀形成配合料后,再将配合料加入球磨机中,再向球磨机中加入蒸馏水,放入与配合料等重量的球石球磨40‑50h,将料浆从球磨机中倒出,并过120‑150目标准筛,得石英坩埚用石英砂泥浆;(2)、将上述石英砂泥浆原料加入真空度为0.01‑0.1pa 的金属合金模具内旋转成型;(3)、真空电弧高温熔制模具内的原料,控制熔制温度为2500‑2800ºC,电极棒起弧电压140‑160V;(4)、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模;(5)、对石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋;(6)、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理;(7)、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温,检验包装入库。
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)、按质量百分比取石英砂95-96%,碳酸钙0.5-1%,聚乙烯醇0.5-2%,高岭土2-5%,硅酸钠1-2%混合均匀形成配合料后,再将配合料加入球磨机中,再向球磨机中加入蒸馏水,放入与配合料等重量的球石球磨40-50h,将料浆从球磨机中倒出,并过120-150目标准筛,得石英坩埚用石英砂泥浆;(2)、将上述石英砂泥浆原料加入真空度为0.01-0.1pa的金属合金模具内旋转成型;(3)、真空电弧高温熔制模具内的原料,控制熔制温度为2500-...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡汉涛,
申请(专利权)人:湖州五石科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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