一种多晶硅还原炉制造技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅还原炉，采用新颖的直流‑交流混合加热方式，当硅棒直径小于14cm时，采用直流电加热；当硅棒直径大于14cm时，改为交流电加热。本发明专利技术解决了传统加热方式下因硅棒中心温度过高而发生的熔硅、因热应力的作用而产生的倒棒问题，从而提升还原炉运行的可靠性，增强多晶硅生产的稳定性，提高多晶硅的生产效率。并且应用交流电加热的趋肤效应，可增大硅棒的最大沉积半径，从而增大多晶硅的单炉产量，降低单位能耗，达到降低能耗、减少生产成本的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉
本专利技术涉及一种多晶硅还原炉，属于多晶硅生产领域。
技术介绍
能源的缺乏和环境的恶化给经济发展提出了巨大挑战，随着全球范围内传统能源的枯竭以及石油价格的不断攀升，可再生新能源的发展已迫在眉睫。太阳能因清洁环保、安全可靠、储量丰富等独特优势是解决未来可持续发展、能源、环境和全球变暖问题的重要途径。目前，光伏发电是当今世界利用太阳能最主要的一种方式，多晶硅用于太阳能光伏行业的占90%，用于半导体材料的占8%，用于其他领域的占2%。多晶硅的生产方法主要有：西门子法、流化床法、锌还原法、冶金法、碳热还原法等。流化床法具有分解速度快、分解率高、分解温度低、能耗低、转化率高、副产物少等优点，该法占多晶硅总产量的24%，但是该工艺面临着两个急需解决的挑战：硅粉的形成和加热元件上硅的沉积。其他工艺生产的太阳能级多晶硅达不到总市场1%的份额，值得注意的是冶金法由于其生产成本低、环境友好、生产操作较安全、能耗低等优点，曾经得到了广泛的关注和研究，但是其产品质量至今仍然无法得到光伏市场的认可。改良西门子法由工艺成熟、产品纯度高等绝对优势，是当前生产多晶硅的主要工艺，占多晶硅总产量的75本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅还原炉，包括炉体（1）、底盘（2）、石墨卡槽（7）、电极（8）、硅棒（9）、直流电源（6）和交流电源（5）；炉体（1）与底盘（2）固定连接构成一个中空的钟罩式腔室；炉体（1）外层和底盘（2）分别设有冷却水夹套（12），冷却水入口（1a）和冷却水出口（1b）分别设于炉体（1）和底盘（2）两侧；多对硅棒（9）通过设置在底盘（2）上的石墨卡槽（7）固定在炉体（1）内；每对硅棒（9）分别连接成“U”型，两端分别与电极（8）的正负极连接，构成一个循环；多对硅棒（9）分为两部分，以底盘（2）中心为中心呈同心环均匀分布；电极（8）一端与硅棒（9）连接，另一端通过导线与直流电源（6）和交流电源（...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉，包括炉体（1）、底盘（2）、石墨卡槽（7）、电极（8）、硅棒（9）、直流电源（6）和交流电源（5）；炉体（1）与底盘（2）固定连接构成一个中空的钟罩式腔室；炉体（1）外层和底盘（2）分别设有冷却水夹套（12），冷却水入口（1a）和冷却水出口（1b）分别设于炉体（1）和底盘（2）两侧；多对硅棒（9）通过设置在底盘（2）上的石墨卡槽（7）固定在炉体（1）内；每对硅棒（9）分别连接成“U”型，两端分别与电极（8）的正负极连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯彦青，方文宝，李亚广，杜鹏，余创，王春龙，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：云南,53