一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法及系统技术方案

一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，采用步骤如下，步骤一：通过工艺过程参数和工艺结果数据的相关性，量化出关键工序的工艺过程参数权重；步骤二：对关键工序的过程参数利用人工神经网络建成工艺质量一致性模型；步骤三：通过产品已完成关键工序的工艺结果数据作为输入，利用工艺质量一致性模型预测本道工序的工艺过程参数和工艺结果数据。本发明专利技术可以对多个参数进行综合分析，数据处理能力强大，结果更加精准；可以在生产前提前预测生产的结果并进行反馈，保证生产的质量，降低了生产风险；可以依据预期的生产结果预测合适的工艺参数，具有前瞻性，简化了生产技术。

【技术实现步骤摘要】
一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法及系统
本专利技术涉及产品质量控制
，具体涉及基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法及系统。
技术介绍
砷化镓微波器件和集成电路生产具有工艺过程复杂、多品种小批量生产、一致性要求高、产品供货期短和质量等级要求高等特点。目前砷化镓微波器件和集成电路生产过程中对工艺质量控制的手段均是通过实验结果推断的方法，基本采用如下方法：1.正交实验法,基本思想为通过实验验证相关因子(工艺过程参数)的影响关系。由于因子过多，如果对每个因子的所有变化都进行实验，则实验量非常巨大，正交实验法通过设计有效的正交表大幅度的降低试验次数而且并不会降低试验可行度的方法。2.PFMEA(制程失效模式及影响分析)，其基本步骤如下,(1)确定与工艺生产或产品制造过程相关的潜在失效模式与起因；(2)评价失效对产品质量和顾客的潜在影响；(3)找出减少失效发生或失效条件的过程控制变量，并制定纠正和预防措施；(4)编制潜在失效模式分级表，确保严重的失效模式得到优先控制；(5)跟踪控制措施的实施情况，更新失效模式分级表。现有技术在对新产线调试测试时是非常高效和稳定的，但在砷化镓微波本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，其特征在于，采用步骤如下，步骤一：通过工艺过程参数和工艺结果数据的相关性，量化出关键工序的工艺过程参数权重；步骤二：对关键工序的过程参数利用人工神经网络建成工艺质量一致性模型；步骤三：通过产品已完成关键工序的工艺结果数据作为输入，利用工艺质量一致性模型预测本道工序的工艺过程参数和工艺结果数据。

【技术特征摘要】
1.一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，其特征在于，采用步骤如下，步骤一：通过工艺过程参数和工艺结果数据的相关性，量化出关键工序的工艺过程参数权重；步骤二：对关键工序的过程参数利用人工神经网络建成工艺质量一致性模型；步骤三：通过产品已完成关键工序的工艺结果数据作为输入，利用工艺质量一致性模型预测本道工序的工艺过程参数和工艺结果数据。2.根据权利要求1所述基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，其特征在于：还设置步骤四，在产品加工完成后，将预测的工艺过程参数和工艺结果数据与实际的工艺过程参数和工艺结果数据比对，判断误差，重新调整工艺质量一致性控制模型的参数，达到自学习的能力。3.根据权利要求1所述基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，其特征在于：所述步骤二具体为，2.1在建模前依据主成分分析(PCA)方法对工艺过程参数进行降维；2.2对关键工序的控制参数做归一化处理，公式如下：其中x为需要归一化的样本，xmax为所有样本的最大值，xmin为所有样本的最小值，y为归一化以后的输出值；2.3使用整理后的数...

【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，闫锐，陈为胜，崔玉兴，刘相伍，杨中月，
申请(专利权)人：中江联合北京科技有限公司，中国电子科技集团公司第十三研究所，西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：北京,11