温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，采用步骤如下，步骤一：通过工艺过程参数和工艺结果数据的相关性，量化出关键工序的工艺过程参数权重；步骤二：对关键工序的过程参数利用人工神经网络建成工艺质量一致性模型；步骤三：通过产品已完成关键工序的...该专利属于中江联合（北京）科技有限公司;中国电子科技集团公司第十三研究所;西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中江联合（北京）科技有限公司;中国电子科技集团公司第十三研究所;西安电子科技大学授权不得商用。