【技术实现步骤摘要】
一种卧式双腔工艺炉
本技术属于单晶硅片真空镀膜设备领域,具体涉及一种卧式双腔工艺炉。
技术介绍
单晶硅片真空镀膜技术是一种结合真空技术与热处理技术的新型工艺技术,与普通的热处理方式相比,可实现无污染、效率高、提高工件的发电效率无脱碳、无渗碳等作用,让工件表面光亮洁净,而单纯使用真空工艺炉,预热时间长、加热不均匀、电子元器件长时间工作,易损坏,维护费用高。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术提供一种节约空间、工艺反应腔和预加热腔一体的卧式双腔工艺炉。本技术是通过以下技术方案实现的:一种卧式双腔工艺炉,包括整体框架、工艺反应腔和预加热腔,所述整体框架外侧油门,便于检修框架内的各个零部件,内部左侧安装有所述工艺反应腔,所述工艺反应腔的外侧连接有真空泵,所述整体框架内部右侧安装有所述预加热腔,所述预加热腔和所述工艺反应腔的腔内底部分别平行设置有一对进出导轨,预热腔和工艺反应腔的左右位置会根据现场调换,所述进出导轨内侧安装有限位块,所述预加热腔和所述工艺反应腔内壁设置有加热元件和感温元件,外侧包裹有保温层,所述保温层外侧封有不锈钢板,所述预加热腔和所述工艺反应腔的前出口分别连接自动升降门,后出口分别铰接有平开门,前后出口与所述自动升降门和所述平开门之前分别对接有水冷真空密封法兰,所述水冷真空密封法兰外侧连接有水冷水管。所述整体框架内还安装有PLC温度控制器,所述PLC温度控制器与所述加热元件和感温元件电性连接。所述工艺反应腔和预加热腔底部设置有可调节地脚。所述预加热腔、工艺反应腔的内腔和水冷真空密封法兰采用316L不锈钢。所述不锈钢板采用304不锈钢。与现有技 ...
【技术保护点】
1.一种卧式双腔工艺炉,其特征在于:包括整体框架(1)、工艺反应腔(2)和预加热腔(3),所述整体框架(1)外侧铺贴有封板,内部左侧安装有所述工艺反应腔(2),所述工艺反应腔(2)的外侧连接有真空泵(4),所述整体框架(1)内部右侧安装有所述预加热腔(3),所述预加热腔(3)和所述工艺反应腔(2)的腔内底部分别平行设置有一对进出导轨(5),所述进出导轨(5)内侧安装有限位块(6),所述预加热腔(3)和所述工艺反应腔(2)内壁设置有加热元件和感温元件,外侧包裹有保温层(7),所述保温层(7)外侧封有不锈钢板(8),所述预加热腔(3)和所述工艺反应腔(2)的前出口分别连接自动升降门(11),后出口分别铰接有平开门(12),前后出口与所述自动升降门(11)和所述平开门(12)之前分别对接有水冷真空密封法兰(9),所述水冷真空密封法兰(9)外侧连接有水冷水管(10)。
【技术特征摘要】
1.一种卧式双腔工艺炉,其特征在于:包括整体框架(1)、工艺反应腔(2)和预加热腔(3),所述整体框架(1)外侧铺贴有封板,内部左侧安装有所述工艺反应腔(2),所述工艺反应腔(2)的外侧连接有真空泵(4),所述整体框架(1)内部右侧安装有所述预加热腔(3),所述预加热腔(3)和所述工艺反应腔(2)的腔内底部分别平行设置有一对进出导轨(5),所述进出导轨(5)内侧安装有限位块(6),所述预加热腔(3)和所述工艺反应腔(2)内壁设置有加热元件和感温元件,外侧包裹有保温层(7),所述保温层(7)外侧封有不锈钢板(8),所述预加热腔(3)和所述工艺反应腔(2)的前出口分别连接自动升降门(11),后出口分别铰接有平开门(12),前后出口与所述自动升降...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈昌传,
申请(专利权)人:泰州市辉烽常盛机械设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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