The utility model discloses a multi-wire cutting wafer blanking tool, which comprises a pair of side plates and a straight strip which is adjustably connected between the two side plates. The two straight strips are connected with two horizontal height limit rods which move up and down synchronously with the straight strip. The fixed position of each height limit rod can be along the length square of the straight strip. Each side plate comprises a first vertical plate, on which a number of length limit slots with different heights are transversely arranged, and two length limit rods which can move along the length limit slots are detachably arranged in the length limit slots of the two side plates. Simple structure and reliable fundamentally avoid chip dropping, tilting, dumping in the process of cutting, improve the yield.
【技术实现步骤摘要】
一种多线切割晶片下料工装
本技术涉及晶棒加工领域,尤其是一种多线切割晶片下料工装。
技术介绍
在蓝宝石、硅锭等的多线切割中,需将圆柱形或立方形的晶棒粘接在多线切割料板上,然后晶棒在下、料板在上地安装在多线切割设备的机头上,机头带动晶棒一起下降,通过平行的切割线往复运动,将晶棒切成多个薄片,然后将切割后薄片同料板一起从多线切割设备上卸掉后反转,放在水中,高温下使薄片从胶上脱落。切割后的晶片仅通过上部边缘的胶与料板粘接,在下料的过程中会出现如下问题:1、切割后晶片与料板粘接面过小,晶片自重较大,导致晶片直接脱胶掉落、摔碎;2、在反转过程中,产品倾斜,导致产品边缘崩裂;3、高温脱胶后,产品倾斜倒下,互相碰撞导致崩裂。蓝宝石在消费类电子产品上的应用需要产品切割厚度在0.2mm以下,粘接面积更小,切割后产品更容易脱胶掉落。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种防止多线切割后的晶片在下料过程中掉落、倾斜、倾倒的下料工装。将经多线切割后的晶片限定在工装内,提高多线切割晶片的成品率。为解决上述技术问题,本技术采用以下技术方案:一种多线切割晶片下料工装,包括一对侧板以及上下位 ...
【技术保护点】
1.一种多线切割晶片下料工装,其特征在于:包括一对侧板(10)以及上下位置可调节地连接在两个侧板之间的直条(20),两根直条(20)之间连接有两根随直条(20)同步上下运动的、水平的高度限位杆(30),每根所述高度限位杆(30)的固定位置可沿直条(20)的长度方向调整;每个所述侧板(10)包括第一竖板(11),第一竖板(11)上横向开有若干条上下对应的长度限位槽(111),长度限位杆(40)可拆卸地设置在两个侧板(10)对应的长度限位槽(111)中,所述长度限位杆(40)为可根据晶棒的大小设置在不同高度的长度限位槽(111)中、且可沿长度限位槽(111)移动的两根;两个所述 ...
【技术特征摘要】
1.一种多线切割晶片下料工装,其特征在于:包括一对侧板(10)以及上下位置可调节地连接在两个侧板之间的直条(20),两根直条(20)之间连接有两根随直条(20)同步上下运动的、水平的高度限位杆(30),每根所述高度限位杆(30)的固定位置可沿直条(20)的长度方向调整;每个所述侧板(10)包括第一竖板(11),第一竖板(11)上横向开有若干条上下对应的长度限位槽(111),长度限位杆(40)可拆卸地设置在两个侧板(10)对应的长度限位槽(111)中,所述长度限位杆(40)为可根据晶棒的大小设置在不同高度的长度限位槽(111)中、且可沿长度限位槽(111)移动的两根;两个所述第一竖板(11)的顶端向内相向地延伸出横板(12),横板(12)的内端向上延伸出与所述第一竖板(11)平行的第二竖板(13),两个第二竖板(13)之间形成可容纳多线切割设备的料板(9)的间隙(14);两个所述第二竖板(13)对应开有若干个第一固定孔;固定螺栓(15)、第一螺母(16)可借助所述第一固定孔、以及料板(9)上对应第一固定孔设置的通孔将所述多线切割晶片下...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵艳,冯凡,陈选伟,黄金平,韩磊,郭志刚,戚祖强,
申请(专利权)人:包头市杰明纳光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:内蒙古,15
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