一种气氛炉进气预热分流盒制造技术

本实用新型专利技术涉及一种气氛炉进气预热分流盒，包括外壳、进气口、隔板和数个出气口，所述的外壳由通过可拆卸方式连接的上外壳和下外壳组成，所述的进气口位于下外壳的侧边上，出气口设置在上外壳与进气口相对的侧边上，隔板包括左隔板和右隔板，左隔板和右隔板分别连接在外壳内壁的两侧并将外壳内腔分隔成S形进气通道，所述的出气口的直径小于进气口的直径。本实用新型专利技术通过设置隔板，将外壳内腔分为S型空间，使得气体在壳体内成S型前进，延长了预热气体进入气氛炉的流动时间，可将气氛烧结炉的炉内上下层的温度差异控制在±5℃之间，温差越小，越有利于提高产能。

Air inlet preheating diverting box for atmosphere furnace

The utility model relates to an air preheating distributor box for an atmosphere furnace, which comprises a shell, an air inlet, a baffle and several air outlets. The shell is composed of an upper shell and a lower shell connected by a detachable way. The air inlet is located on the side of the lower shell, and the air outlet is arranged on the side opposite to the air inlet of the upper shell. The baffle comprises a left and a right baffle, and the left and the right baffles are respectively connected to both sides of the inner wall of the outer shell and the inner cavity of the outer shell is separated into an S-shaped inlet passage. The diameter of the outlet is smaller than the diameter of the inlet. The utility model divides the inner cavity of the shell into S-shaped space by setting a baffle, makes the gas move forward in the shell into S-shaped, prolongs the flowing time of the preheated gas entering the atmosphere furnace, and controls the temperature difference between the upper and lower layers of the atmosphere sintering furnace between (+) 5 (?) C). The smaller the temperature difference, the better the productivity is.

【技术实现步骤摘要】
一种气氛炉进气预热分流盒
本技术涉及一种用于改善气氛烧结炉内温度均匀性的进气口结构，特别涉及一种气氛炉进气预热分流盒。
技术介绍
目前我国的平板显示制造企业发展迅速，国家大力支持先进产品实现国产化。在OLED以及LCD的大部分高端产品中都会使用到ITO靶材镀膜，其对靶材密度、电阻率等特性要求极高，目前高端产品的靶材主要依赖从韩国和日本进口。我国靶材发展较晚，不仅设备落后，在制造过程中的关键工艺，仍处于摸索阶段。国产的靶材在使用过程中寿命短、结瘤严重，靶材品质与日本有较大差距，近年通过不断研究，靶材品质已有明显改进。烧结是ITO靶材生产过程中的关键步骤之一，而目前的烧结炉中上层与下层的靶材品质会出现较大的差异，由于烧结过程中需要气氛保护，而大量的低温气体吹入使得烧结炉内下层气体在温度还未达到程序设定温度时便在炉内循环流动，造成炉内上下层温度不均。目前我国的常压烧结炉，很少有能够预热进气的构件，其中大多数都是通过进气口将气体直接吹向承烧台底层。在专利CN206339095U带有预热功能的脱脂烧结一体式高温升降炉中，在承烧台的底部加设了进气预热结构，其在一定程度上能够加快气体预热速度，但是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气氛炉进气预热分流盒，其特征在于：包括外壳（1）、进气口（2）、隔板（3）和数个出气口（4），所述的外壳（1）由通过可拆卸方式连接的上外壳（11）和下外壳（12）组成，所述的进气口（2）位于下外壳（12）的侧边上，出气口（4）设置在上外壳（11）与进气口相对的侧边上，隔板（3）包括左隔板（31）和右隔板（32），左隔板（31）和右隔板（32）分别连接在外壳内壁的两侧并将外壳内腔分隔成S形进气通道，所述的出气口（4）的直径小于进气口（2）的直径。

【技术特征摘要】
1.一种气氛炉进气预热分流盒，其特征在于：包括外壳（1）、进气口（2）、隔板（3）和数个出气口（4），所述的外壳（1）由通过可拆卸方式连接的上外壳（11）和下外壳（12）组成，所述的进气口（2）位于下外壳（12）的侧边上，出气口（4）设置在上外壳（11）与进气口相对的侧边上，隔板（3）包括左隔板（31）和右隔板（32），左隔板（31）和右隔板（32）分别连接在外壳内壁的两侧并将外...

【专利技术属性】
技术研发人员：农浩，马超宁，黄作，莫斌，武建良，陆映东，
申请(专利权)人：洛阳晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：河南,41