一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法技术

本发明专利技术属于电加热领域，具体涉及一种曲面玻璃真空柔性加热方法。本发明专利技术采用在柔性加热膜或柔性加热套能贴合各种异型玻璃进行曲面加热，使得在大型曲面玻璃上进行高温镀膜不再受限于形状和尺寸。柔性加热的优势在于可实现均匀、可控的加热，解决了其他加热方法中存在的加热不均匀、温度控制不准确问题，保证了高温镀膜的质量。本发明专利技术有益效果还在于其中涉及的装置和方法可推广至其他镀膜设备，如电子束蒸镀，热喷涂等镀膜设备，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。

A flexible heating method for curved glass vacuum

The invention belongs to the field of electric heating, in particular to a curved glass vacuum flexible heating method. The invention adopts a flexible heating film or a flexible heating sleeve which can be bonded to various profiled glasses for surface heating, so that high temperature coating on large curved glasses is no longer limited by shape and size. The advantage of flexible heating is that it can realize uniform and controllable heating, solve the problems of uneven heating and inaccurate temperature control in other heating methods, and ensure the quality of high temperature coating. The invention also has the beneficial effect that the device and method involved in the invention can be extended to other coating equipment, such as electron beam evaporation, thermal spraying and other coating equipment, and at the same time, the film grown on the substrate can be in situ vacuum heat treated.

【技术实现步骤摘要】
一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法
本专利技术属于电加热领域，具体涉及一种曲面玻璃真空柔性加热方法。
技术介绍
在工业生产中，常常需要给曲面玻璃进行镀膜。大型磁控溅射镀膜仪、热蒸镀、电子束蒸镀等镀膜设备是常用的镀膜设备。已有的研究表明，提高基材的温度能够有效去除表面的水汽，同时提高薄膜的生长质量。通常镀膜设备的基材加热装置都集成在基片台，仅对面积较小的平面件具有加热效果，但对汽车、航天航空领域用到的各种异型曲面玻璃基材的不适用。在镀制大型曲面玻璃时，往往需要对整体镀膜设备进行加热，耗费大量资源和有可能造成安全隐患，同时存在加热不均匀，温度控制不均匀等情况。为此，针对大型曲面玻璃基材，研究一种具有简单的、普适性的真空柔性加热方法很有必要。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服曲面玻璃难以实现高温镀膜的问题，提出一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法。本专利技术的技术解决方案是，加热方法为如下之一：1)采用柔性加热膜无缝贴合于玻璃背面，放入真空室内，并将柔性加热膜上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，柔性加热膜的加热温度区间为50～180℃，真空腔体抽真空；在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜；需要时，可在基材周边布置温度传感器，增强对加热温度的准确监控。2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面并与玻璃良好贴合，将可拆卸式柔性加热套上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，可拆卸式柔性加热套的加热温度区间约为180～350℃，真空腔体抽真空；在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜。所述柔性加热膜包括但不限于聚酰亚胺柔性加热膜。需要时，可在基材周边布置温度传感器，增强对加热温度的准确监控。所述可拆卸式柔性加热套包括但不限于玻璃纤维包覆的电阻丝等耐高温柔性加热装置。所述真空加热方法不仅适用于磁控溅射高温镀膜，也适用于各种需要对曲面玻璃真空加热的装置，如热蒸镀、电子束蒸镀，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。本专利技术具有的优点在柔性加热膜或柔性加热套能贴合各种异型玻璃进行曲面加热，使得在大型曲面玻璃上进行高温镀膜不再受限于形状和尺寸。柔性加热的优势在于可实现均匀、可控的加热，解决了其他加热方法中存在的加热不均匀、温度控制不准确问题，保证了高温镀膜的质量。本专利技术有益效果还在于其中涉及的装置和方法可推广至其他镀膜设备，如电子束蒸镀，热喷涂等镀膜设备，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。附图说明图1曲面玻璃真空柔性加热示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的实施方式作进一步的详细说明本专利技术提供的一种曲面玻璃真空柔性加热的方法，具体有以下两种实施方式：1)采用柔性加热膜贴于玻璃背面，与玻璃实现无缝贴合，该方法适合的加热温度区间约为50～180℃；2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面，与玻璃实现良好贴合。由于可拆卸式柔性加热所用的电阻丝外包裹的是耐高温的玻璃纤维，因此该方法适合的加热温度区间约为180～350℃。本专利技术实施真空加热的前提条件是通过真空法兰连接外部温控器，控制上述柔性加热膜或者可拆卸式柔性加热套，实现对温度的控制。本专利技术对温度实施精准控制的前提是在加热基材上布置若干传感器，以获得基材的准确温度。本专利技术的实施步骤如下：步骤1、清洗曲面玻璃后放入真空腔体1；步骤2、将上述柔性加热膜或者柔性加热套2贴敷于基材3后面，实现与基材3的密切贴合，同时基材3各处布置若干温度传感器4；柔性加热膜或者柔性加热套2通过真空法兰5与外部的温度控制器6连通；步骤3、真空腔体通过真空泵组7进行抽真空；步骤4、镀膜前，通过温度控制器6对温度进行调节。设定某一镀膜温度后，需等待半小时待稳定后，利用磁控溅射电源8控制靶材9进行镀膜。具体的，步骤2所述的柔性加热膜可加热温度区间约为50～180℃；可拆卸式柔性加热套可加热温度区间约为180～350℃。再进一步的，步骤2所述的柔性加热膜或者可拆卸式柔性加热套需要与玻璃密切贴合，因为其柔性的特点，因而可以与任何曲面玻璃贴合良好。实施例在真空腔体1中安装好曲面玻璃件后，将柔性加热膜或者柔性加热套2均匀地贴在基材3的背面。同时基材3各处布置若干温度传感器4；柔性加热膜或者柔性加热套2通过真空法兰5与外部的温度控制器6连通；通过真空泵组7对真空腔体1进行抽真空，达到镀膜所需的真空度。如图1所示外接温控器的对紧贴的柔性加热膜或者柔性加热套2进行加热，通过温度控制器6实现对其温度的控制。待温度稳定在设定值100℃时，测试布置在基材3各处的温度传感器4，发现其温度为96.5℃，102.5℃，99.4℃，97.7℃，99.4℃,101.3℃,102.3℃，基本在设定温度±3.5℃左右，证明温度控制的稳定性。温度稳定后，进行镀膜操作。按照此方法可以对曲面玻璃进行高温磁控溅射镀膜，高温镀制的薄膜对常温镀制的薄膜晶体质量更好。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，加热方法为如下之一：1)采用柔性加热膜无缝贴合于玻璃背面，放入真空室内，并将柔性加热膜上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，柔性加热膜的加热温度区间为50～180℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃镀膜时，在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜；2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面并与玻璃良好贴合，将可拆卸式柔性加热套上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，可拆卸式柔性加热套的加热温度区间约为180～350℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃镀膜时，在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜。

【技术特征摘要】
1.一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，加热方法为如下之一：1)采用柔性加热膜无缝贴合于玻璃背面，放入真空室内，并将柔性加热膜上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，柔性加热膜的加热温度区间为50～180℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃镀膜时，在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜；2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面并与玻璃良好贴合，将可拆卸式柔性加热套上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，可拆卸式柔性加热套的加热温度区间约为180～350℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝常山，彭晶晶，霍钟祺，钟艳莉，张旋，
申请(专利权)人：中国航发北京航空材料研究院，
类型：发明
国别省市：北京,11