一种具有缓冲工艺气体的基座制造技术

本发明专利技术提供一种具有缓冲工艺气体的基座，包括底板、外圆筒、内圆筒、顶板和圆筒卡板底板的顶端固定连接有外圆筒和内圆筒，顶板的底端固定连接圆筒卡板，密封装置包括圆形卡块、圆形弹性板和圆形的凹陷弹性片，圆形卡块的圆形槽、圆形弹性板和凹陷弹性片之间组成密封空腔室。本发明专利技术结构设计新颖，操作简单，能够改变工艺气体储存的体积而进行高效缓冲工艺气体，此基座也能适用各种工艺气体的设备固定；利用卡位槽，实现圆筒卡板在卡位槽内的卡接，以便于调节顶板到底板之间的距离，进而增大内圆筒和圆筒卡板之间的密封体积，以达到高效缓冲的作用；利用密封装置，能够保证圆筒卡板在卡接的同时，且能够密封此装置。

A base with cushioning process gas

The invention provides a base with cushioning process gas, including a bottom plate, an outer cylinder, an inner cylinder, a top plate and a top of the bottom plate of a cylinder clip plate fixedly connected with an outer cylinder and an inner cylinder, and a bottom end of the top plate fixedly connected with a cylinder clip plate. The sealing device comprises a circular clip, a circular elastic plate and a circular depressed elastic sheet, a circular shape. A sealed cavity chamber is formed between the circular groove of the card block, the circular elastic plate and the concave elastic sheet. The invention has novel structure design, simple operation, and can change the storage volume of process gas to carry out efficient buffer process gas, and the base can also be used for fixing various process gas equipment; the clamp slot is used to realize the clamp connection of cylinder clamp plate in the clamp slot, so as to adjust the distance between the top plate and the bottom plate, thereby increasing. The sealing volume between the large inner cylinder and the cylinder cardboard can achieve the function of high-efficiency cushioning, and the sealing device can ensure that the cylinder cardboard can be clamped and sealed at the same time.

【技术实现步骤摘要】
一种具有缓冲工艺气体的基座
本专利技术涉及工艺气体基座
，尤其涉及一种具有缓冲工艺气体的基座。
技术介绍
基座是一个设备或者装置的支撑底座，基座具有稳定设备或者装置的功能，以满足设备或者装置的固定需要，但是工艺气体设备在使用时，也需要基座的支撑，但是传统的工艺气体基座结构单一，且功能也比较单一，因此不能适用于各种设备或者装置，就会增加各种基座类型的种类，各种基座在加工所需的设备或者加工模具等均为多样的，严重造成资源浪费，传统的工艺气体基座不具有高效缓冲的作用，因此不能满足工艺气体设备的需求，鉴于此我提供一种具有缓冲工艺气体的基座。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中不具有缓冲的作用或者不能保证此基座的适用范围等缺点，而提出的一种具有缓冲工艺气体的基座。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种具有缓冲工艺气体的基座，包括底板、外圆筒、内圆筒、顶板和圆筒卡板，所述顶板的顶端中间开设有喷气孔，所述底板的顶端固定连接有外圆筒和内圆筒，且内圆筒穿插在外圆筒的内腔中，所述外圆筒的侧壁上开设有若干个螺纹通孔，所述顶板的底端固定连接圆筒卡板，所述圆筒卡板的外侧壁上开设有多个螺纹槽，所述外圆筒的内侧壁和内圆筒的外侧壁之间组成卡位槽，所述卡位槽的底端固定卡接有密封装置，所述密封装置包括圆形卡块、圆形弹性板和圆形的凹陷弹性片，所述圆形卡块的顶端中间开设有圆形槽，所述圆形卡块的顶端通过圆形弹性板固定连接凹陷弹性片，所述圆形卡块的圆形槽、圆形弹性板和凹陷弹性片之间组成密封空腔室，所述圆筒卡板的底端挤压接触卡位槽内的凹陷弹性片上，且螺纹通孔和相对应的螺纹槽内通过螺栓杆固定。优选的，所述螺纹通孔的数目为四列，且每列上的螺纹通孔数目不少于三个，其中四列的螺纹通孔均匀对称分布在外圆筒上。优选的，所述外圆筒和内圆筒的高度相同，所述底板、外圆筒和内圆筒为一体成型结构。优选的，所述外圆筒的中心垂线和内圆筒的中心垂直在同一垂线上。优选的，所述螺纹槽的数目为四个，且四个螺纹槽均匀对称分布在圆筒卡板上，所述螺纹通孔的孔直径和螺纹槽的槽直径均相同。优选的，所述顶板和圆筒卡板为一体成型结构。本专利技术提出的一种具有缓冲工艺气体的基座，有益效果在于：本专利技术结构设计新颖，操作简单，能够改变工艺气体储存的体积而进行高效缓冲工艺气体；利用卡位槽，实现圆筒卡板在卡位槽内的卡接，以便于调节顶板到底板之间的距离，进而增大内圆筒和圆筒卡板之间的密封体积，以达到高效缓冲的作用；利用螺纹槽和螺纹通孔，能够很好的固定圆筒卡板和外圆筒；利用密封装置，能够保证圆筒卡板在卡接的同时，且能够密封此装置，利用圆形弹性板和凹陷弹性片，能够使得圆筒卡板的底端在挤压接触凹陷弹性片时，密封空腔室内的体积不变，因此圆形弹性板弹起挤压接触圆筒卡板的侧壁，以达到高效密封的作用。此装置在使用时，把圆筒卡板卡接在卡位槽内，此时圆筒卡板的底端挤压接触凹陷弹性片，利用螺栓杆把圆筒卡板固定在外圆筒上，当筒卡板的底端挤压接触凹陷弹性片，凹陷弹性片变形，而圆形弹性板弹起挤压接触圆筒卡板的外侧壁，实现密封装置对圆筒卡板的密封，当有工艺气体进入到基座的内腔后从喷气孔喷出，利用多个螺纹通孔，增加圆筒卡板和内圆筒之间的体积，来缓冲工艺气体，进而扩大基座的适用范围，因此能够节约资源。附图说明图1为本专利技术的剖视结构示意图；图2为本专利技术的整体俯视结构示意图；图3为本专利技术的底板、外圆筒、内圆筒和密封装置的连接结构示意图；图4为本专利技术密封装置未变形的剖切面结构示意图；图5为本专利技术密封装置挤压变形的剖切面结构示意图。图中：1-底板，10-外圆筒，100-螺纹通孔，11-内圆筒，12-卡位槽，2-顶板，20-圆筒卡板，200-螺纹槽，21-喷气孔，3-密封装置，30-圆形卡块，31-圆形弹性板，32-圆形的凹陷弹性片，33-密封空腔室，34-圆形槽，4-螺栓杆。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-5，一种具有缓冲工艺气体的基座，包括底板1、外圆筒10、内圆筒11、顶板2和圆筒卡板20，顶板2的顶端中间开设有喷气孔21，底板1的顶端固定连接有外圆筒10和内圆筒11，且内圆筒11穿插在外圆筒10的内腔中，外圆筒10的侧壁上开设有若干个螺纹通孔100，螺纹通孔100的数目为四列，且每列上的螺纹通孔100数目不少于三个，其中四列的螺纹通孔100均匀对称分布在外圆筒10上，顶板2的底端固定连接圆筒卡板20，顶板2和圆筒卡板20为一体成型结构，圆筒卡板20的外侧壁上开设有多个螺纹槽200，螺纹槽200的数目为四个，且四个螺纹槽200均匀对称分布在圆筒卡板20上，螺纹通孔100的孔直径和螺纹槽200的槽直径均相同，利用螺纹槽200和螺纹通孔100，能够很好的固定圆筒卡板20和外圆筒10。外圆筒10的内侧壁和内圆筒11的外侧壁之间组成卡位槽12，外圆筒10和内圆筒11的高度相同，底板1、外圆筒10和内圆筒11为一体成型结构，方便固定，保证此装置的使用寿命，外圆筒10的中心垂线和内圆筒11的中心垂直在同一垂线上，且两者侧壁之间的均相同，卡位槽12的底端固定卡接有密封装置3，利用卡位槽12，实现圆筒卡板20在卡位槽12内的卡接，以便于调节顶板2到底板1之间的距离，进而增大内圆筒11和圆筒卡板20之间的密封体积，以达到高效缓冲的作用。密封装置3包括圆形卡块30、圆形弹性板31和圆形的凹陷弹性片32，圆形卡块30的顶端中间开设有圆形槽34，圆形卡块30的顶端通过圆形弹性板31固定连接凹陷弹性片32，圆形卡块30的圆形槽34、圆形弹性板31和凹陷弹性片32之间组成密封空腔室33，圆筒卡板20的底端挤压接触卡位槽12内的凹陷弹性片32上，且螺纹通孔100和相对应的螺纹槽200内通过螺栓杆4固定，利用密封装置3，能够保证圆筒卡板20在卡接的同时，且能够密封此装置，利用圆形弹性板31和凹陷弹性片32，能够使得圆筒卡板20的底端在挤压接触凹陷弹性片32时，密封空腔室33内的体积不变，因此圆形弹性板31弹起挤压接触圆筒卡板20的侧壁，以达到高效密封的作用。本专利技术结构设计新颖，操作简单，能够改变工艺气体储存的体积而进行高效缓冲工艺气体。工作原理：此装置在使用时，把圆筒卡板20卡接在卡位槽12内，此时圆筒卡板20的底端挤压接触凹陷弹性片32，利用螺栓杆4把圆筒卡板20固定在外圆筒10上，当筒卡板20的底端挤压接触凹陷弹性片32，凹陷弹性片32变形，而圆形弹性板31弹起挤压接触圆筒卡板20的外侧壁，实现密封装置3对圆筒卡板20的密封，当有工艺气体进入到基座的内腔后从喷气孔21喷出，利用多个螺纹通孔100，增加圆筒卡板20和内圆筒11之间的体积，来缓冲工艺气体，进而扩大基座的适用范围，因此能够节约资源。以上所述，仅为本专利技术较佳的具体实施方式，但本专利技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本专利技术揭露的技术范围内，根据本专利技术的技术方案及其专利技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有缓冲工艺气体的基座，包括底板（1）、外圆筒（10）、内圆筒（11）、顶板（2）和圆筒卡板（20），所述顶板（2）的顶端中间开设有喷气孔（21），其特征在于：所述底板（1）的顶端固定连接有外圆筒（10）和内圆筒（11），且内圆筒（11）穿插在外圆筒（10）的内腔中，所述外圆筒（10）的侧壁上开设有若干个螺纹通孔（100），所述顶板（2）的底端固定连接圆筒卡板（20），所述圆筒卡板（20）的外侧壁上开设有多个螺纹槽（200），所述外圆筒（10）的内侧壁和内圆筒（11）的外侧壁之间组成卡位槽（12），所述卡位槽（12）的底端固定卡接有密封装置（3），所述密封装置（3）包括圆形卡块（30）、圆形弹性板（31）和圆形的凹陷弹性片（32），所述圆形卡块（30）的顶端中间开设有圆形槽（34），所述圆形卡块（30）的顶端通过圆形弹性板（31）固定连接凹陷弹性片（32），所述圆形卡块（30）的圆形槽（34）、圆形弹性板（31）和凹陷弹性片（32）之间组成密封空腔室（33），所述圆筒卡板（20）的底端挤压接触卡位槽（12）内的凹陷弹性片（32）上，且螺纹通孔（100）和相对应的螺纹槽（200）内通过螺栓杆（4）固定。...

【技术特征摘要】
1.一种具有缓冲工艺气体的基座，包括底板（1）、外圆筒（10）、内圆筒（11）、顶板（2）和圆筒卡板（20），所述顶板（2）的顶端中间开设有喷气孔（21），其特征在于：所述底板（1）的顶端固定连接有外圆筒（10）和内圆筒（11），且内圆筒（11）穿插在外圆筒（10）的内腔中，所述外圆筒（10）的侧壁上开设有若干个螺纹通孔（100），所述顶板（2）的底端固定连接圆筒卡板（20），所述圆筒卡板（20）的外侧壁上开设有多个螺纹槽（200），所述外圆筒（10）的内侧壁和内圆筒（11）的外侧壁之间组成卡位槽（12），所述卡位槽（12）的底端固定卡接有密封装置（3），所述密封装置（3）包括圆形卡块（30）、圆形弹性板（31）和圆形的凹陷弹性片（32），所述圆形卡块（30）的顶端中间开设有圆形槽（34），所述圆形卡块（30）的顶端通过圆形弹性板（31）固定连接凹陷弹性片（32），所述圆形卡块（30）的圆形槽（34）、圆形弹性板（31）和凹陷弹性片（32）之间组成密封空腔室（33），所述圆筒卡板（20）的底端挤压接触卡位槽（12）内...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴尚元，黄载浩，朱东海，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34