一种导流控制器外壳主体制造技术

技术编号:18866258 阅读:26 留言:0更新日期:2018-09-05 16:50
本实用新型专利技术公开了一种导流控制器外壳主体,包括安装座、外壳主体、壳盖、安装槽、导流槽、导流孔和异型槽,所述安装座顶部通过座槽设置外壳主体,且外壳主体内具有安装槽,所述安装槽一侧设置对应的壳盖,且安装槽内壁设置耐高温硅胶减震垫,所述耐高温硅胶减震垫内一侧嵌有温湿度传感器,且耐高温硅胶减震垫内另一侧嵌有压力传感器,所述外壳主体一侧底部表面具有导流槽,且导流槽两侧均设有导流孔,所述安装槽顶部两侧均贯穿设置异型槽,且异型槽之间设有贯穿孔,所述安装槽顶部设置螺纹孔,且螺纹孔两侧均设置安装孔,该种导流控制器外壳主体设计科学,操作方便,稳定性好,可靠性高,适合广泛推广。

A main body of diversion controller

The utility model discloses a shell main body of a diversion controller, which comprises a mounting seat, a shell main body, a shell cover, a mounting groove, a diversion groove, a diversion hole and a special-shaped groove. The top of the mounting seat is provided with a shell main body through a seat groove, and an installation groove is provided with a mounting groove in the shell main body. The inner wall is provided with a high temperature resistant silica gel shock absorber. A temperature and humidity sensor is embedded on one side of the high temperature resistant silica gel shock absorber, and a pressure sensor is embedded on the other side of the high temperature resistant silica gel shock absorber. The bottom surface of one side of the shell main body is provided with a guide groove, and both sides of the guide groove are provided with a guide hole, and both sides of the mounting groove top are penetrated. A special-shaped groove is arranged, and a perforation is arranged between the special-shaped grooves. The top of the installation groove is provided with thread holes, and both sides of the thread holes are provided with installation holes. The shell of the diversion controller has scientific design, convenient operation, good stability and high reliability, and is suitable for wide application.

【技术实现步骤摘要】
一种导流控制器外壳主体
本技术涉及一种外壳,特别涉及一种导流控制器外壳主体。
技术介绍
导流控制器是用在微电子芯片制造设备上的气体控制在装置,导流控制器外壳的作用主要是通过固定在外壳里面的电子元器件控制气体分流及精准的压力大小输出,普通导流控制器没有良好的防护外壳,且不具有良好的安装特性,没有有效的检测功能,为此,我们提出一种导流控制器外壳主体。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种导流控制器外壳主体,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种导流控制器外壳主体,包括安装座、外壳主体、壳盖、安装槽、导流槽、导流孔和异型槽,所述安装座顶部通过座槽设置外壳主体,且外壳主体内具有安装槽,所述安装槽一侧设置对应的壳盖,且安装槽内壁设置耐高温硅胶减震垫,所述耐高温硅胶减震垫内一侧嵌有温湿度传感器,且耐高温硅胶减震垫内另一侧嵌有压力传感器,所述外壳主体一侧底部表面具有导流槽,且导流槽两侧均设有导流孔,所述安装槽顶部两侧均贯穿设置异型槽,且异型槽之间设有贯穿孔,所述安装槽顶部设置螺纹孔,且螺纹孔两侧均设置安装孔,所述壳盖与外壳主体盖合处设置耐高温密封条,且壳盖一侧顶部具有限位块。进一步地,所述导流槽和导流孔均贯穿于安装槽内。进一步地,所述安装座一侧通过防护罩安装显示屏,且显示屏与温湿度传感器和压力传感器电性相连。进一步地,所述安装座底部具有安装滑块,且安装滑块两侧具有滑槽。进一步地,所述安装滑块底部具有安装块,且安装块的滑行端位于滑槽内,所述安装块上设有与滑槽对应的定位螺栓,且安装块一侧具有安装螺杆。与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:安装座对装置起到良好的支撑作用,外壳主体内的安装槽用于放置电子元器件,壳盖用于对外壳主体进行盖合密封,耐高温硅胶减震垫使电子元器件在安装槽内工作时拥有良好的减震和防护效果,温湿度传感器可有效检测安装槽内的温湿度值,压力传感器可有效检测安装槽内的压力值是否大,即有效保护电子元器件的安放稳定,导流槽与导流孔便于电子元器件对导流控制器进行控制气体分流及精准的压力大小输出,异型槽和贯穿孔便于装置整体有效工作,且通过安装孔和螺纹孔能够与外界进行良好的安装使用,耐高温密封条便于壳盖与外壳主体盖合更紧密,限位块便于固定电子元器件在外壳主体内稳定性。附图说明图1为本技术一种导流控制器外壳主体的主视结构示意图。图2为本技术一种导流控制器外壳主体的壳盖结构示意图。图3为本技术一种导流控制器外壳主体的安装槽结构示意图。图4为本技术一种导流控制器外壳主体的耐高温密封条结构示意图。图5为本技术一种导流控制器外壳主体的俯视结构示意图。图中:1、安装座;2、外壳主体;3、壳盖;4、透气槽;5、透气孔;6、异型槽;7、贯穿孔;8、安装滑块;9、显示屏;10、安装块;11、滑槽;12、安装槽;13、耐高温硅胶减震垫;14、温湿度传感器;15、压力传感器;16、耐高温密封条;17、限位块;18、螺纹孔;19、安装孔。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本技术。如图1-5所示,一种导流控制器外壳主体,包括安装座1、外壳主体2、壳盖3、安装槽12、导流槽4、导流孔5和异型槽6,所述安装座1顶部通过座槽设置外壳主体2,且外壳主体2内具有安装槽12,所述安装槽12一侧设置对应的壳盖3,且安装槽12内壁设置耐高温硅胶减震垫13,所述耐高温硅胶减震垫13内一侧嵌有温湿度传感器14,且耐高温硅胶减震垫13内另一侧嵌有压力传感器15,所述外壳主体2一侧底部表面具有导流槽4,且导流槽4两侧均设有导流孔5,所述安装槽12顶部两侧均贯穿设置异型槽6,且异型槽6之间设有贯穿孔7,所述安装槽12顶部设置螺纹孔18,且螺纹孔18两侧均设置安装孔19,所述壳盖3与外壳主体2盖合处设置耐高温密封条16,且壳盖3一侧顶部具有限位块17。其中,所述导流槽4和导流孔5均贯穿于安装槽12内。其中,所述安装座1一侧通过防护罩安装显示屏9,且显示屏9与温湿度传感器14和压力传感器15电性相连,有效显示检测数据值。其中,所述安装座1底部具有安装滑块8,且安装滑块8两侧具有滑槽11。其中,所述安装滑块8底部具有安装块10,且安装块10的滑行端位于滑槽11内,所述安装块10上设有与滑槽11对应的定位螺栓,且安装块10一侧具有安装螺杆,通过滑槽11使安装块10有效调节至合适安装位置,且通过定位螺栓和安装螺杆对其固定,使导流控制器外壳主体安置更稳定。需要说明的是,本技术为一种导流控制器外壳主体,工作时,将电子元器件放置于外壳主体2的有安装槽12内,通过壳盖3对其有效盖合,且耐高温硅胶减震垫13使电子元器件在安装槽12内工作时拥有良好的减震和防护效果,温湿度传感器14可有效检测安装槽12内的温湿度值,压力传感器15可有效检测安装槽12内的压力值是否大,且通过显示屏9将二者检测数据有效显示,从而便于使用者观察了解,便于有效及时的保护电子元器件的安放稳定,导流槽4与导流孔5便于电子元器件对导流控制器进行控制气体分流及精准的压力大小输出,置耐高温密封条16使壳盖3与外壳主体2间盖合密封性更好,温湿度传感器14为深圳市森思德克科技有限公司产品。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种导流控制器外壳主体,包括安装座(1)、外壳主体(2)、壳盖(3)、安装槽(12)、导流槽(4)、导流孔(5)和异型槽(6),其特征在于,所述安装座(1)顶部通过座槽设置外壳主体(2),且外壳主体(2)内具有安装槽(12),所述安装槽(12)一侧设置对应的壳盖(3),且安装槽(12)内壁设置耐高温硅胶减震垫(13),所述耐高温硅胶减震垫(13)内一侧嵌有温湿度传感器(14),且耐高温硅胶减震垫(13)内另一侧嵌有压力传感器(15),所述外壳主体(2)一侧底部表面具有导流槽(4),且导流槽(4)两侧均设有导流孔(5),所述安装槽(12)顶部两侧均贯穿设置异型槽(6),且异型槽(6)之间设有贯穿孔(7),所述安装槽(12)顶部设置螺纹孔(18),且螺纹孔(18)两侧均设置安装孔(19),所述壳盖(3)与外壳主体(2)盖合处设置耐高温密封条(16),且壳盖(3)一侧顶部具有限位块(17)。

【技术特征摘要】
1.一种导流控制器外壳主体,包括安装座(1)、外壳主体(2)、壳盖(3)、安装槽(12)、导流槽(4)、导流孔(5)和异型槽(6),其特征在于,所述安装座(1)顶部通过座槽设置外壳主体(2),且外壳主体(2)内具有安装槽(12),所述安装槽(12)一侧设置对应的壳盖(3),且安装槽(12)内壁设置耐高温硅胶减震垫(13),所述耐高温硅胶减震垫(13)内一侧嵌有温湿度传感器(14),且耐高温硅胶减震垫(13)内另一侧嵌有压力传感器(15),所述外壳主体(2)一侧底部表面具有导流槽(4),且导流槽(4)两侧均设有导流孔(5),所述安装槽(12)顶部两侧均贯穿设置异型槽(6),且异型槽(6)之间设有贯穿孔(7),所述安装槽(12)顶部设置螺纹孔(18),且螺纹孔(18)两侧均设置安装孔(19),所述壳盖(3)与外壳主体(2)盖...

【专利技术属性】
技术研发人员:王东
申请(专利权)人:东莞市泓信精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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