The utility model discloses a shell main body of a diversion controller, which comprises a mounting seat, a shell main body, a shell cover, a mounting groove, a diversion groove, a diversion hole and a special-shaped groove. The top of the mounting seat is provided with a shell main body through a seat groove, and an installation groove is provided with a mounting groove in the shell main body. The inner wall is provided with a high temperature resistant silica gel shock absorber. A temperature and humidity sensor is embedded on one side of the high temperature resistant silica gel shock absorber, and a pressure sensor is embedded on the other side of the high temperature resistant silica gel shock absorber. The bottom surface of one side of the shell main body is provided with a guide groove, and both sides of the guide groove are provided with a guide hole, and both sides of the mounting groove top are penetrated. A special-shaped groove is arranged, and a perforation is arranged between the special-shaped grooves. The top of the installation groove is provided with thread holes, and both sides of the thread holes are provided with installation holes. The shell of the diversion controller has scientific design, convenient operation, good stability and high reliability, and is suitable for wide application.
【技术实现步骤摘要】
一种导流控制器外壳主体
本技术涉及一种外壳,特别涉及一种导流控制器外壳主体。
技术介绍
导流控制器是用在微电子芯片制造设备上的气体控制在装置,导流控制器外壳的作用主要是通过固定在外壳里面的电子元器件控制气体分流及精准的压力大小输出,普通导流控制器没有良好的防护外壳,且不具有良好的安装特性,没有有效的检测功能,为此,我们提出一种导流控制器外壳主体。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种导流控制器外壳主体,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种导流控制器外壳主体,包括安装座、外壳主体、壳盖、安装槽、导流槽、导流孔和异型槽,所述安装座顶部通过座槽设置外壳主体,且外壳主体内具有安装槽,所述安装槽一侧设置对应的壳盖,且安装槽内壁设置耐高温硅胶减震垫,所述耐高温硅胶减震垫内一侧嵌有温湿度传感器,且耐高温硅胶减震垫内另一侧嵌有压力传感器,所述外壳主体一侧底部表面具有导流槽,且导流槽两侧均设有导流孔,所述安装槽顶部两侧均贯穿设置异型槽,且异型槽之间设有贯穿孔,所述安装槽顶部设置螺纹孔,且螺纹孔两侧均设置安装孔,所述壳盖与外壳主体盖合处设置耐高温密封条,且壳盖一侧顶部具有限位块。进一步地,所述导流槽和导流孔均贯穿于安装槽内。进一步地,所述安装座一侧通过防护罩安装显示屏,且显示屏与温湿度传感器和压力传感器电性相连。进一步地,所述安装座底部具有安装滑块,且安装滑块两侧具有滑槽。进一步地,所述安装滑块底部具有安装块,且安装块的滑行端位于滑槽内,所述安装块上设有与滑槽对应的定位螺栓,且安装块一侧具有安装螺杆。与现有技术相比,本技术具有如下有益效果: ...
【技术保护点】
1.一种导流控制器外壳主体,包括安装座(1)、外壳主体(2)、壳盖(3)、安装槽(12)、导流槽(4)、导流孔(5)和异型槽(6),其特征在于,所述安装座(1)顶部通过座槽设置外壳主体(2),且外壳主体(2)内具有安装槽(12),所述安装槽(12)一侧设置对应的壳盖(3),且安装槽(12)内壁设置耐高温硅胶减震垫(13),所述耐高温硅胶减震垫(13)内一侧嵌有温湿度传感器(14),且耐高温硅胶减震垫(13)内另一侧嵌有压力传感器(15),所述外壳主体(2)一侧底部表面具有导流槽(4),且导流槽(4)两侧均设有导流孔(5),所述安装槽(12)顶部两侧均贯穿设置异型槽(6),且异型槽(6)之间设有贯穿孔(7),所述安装槽(12)顶部设置螺纹孔(18),且螺纹孔(18)两侧均设置安装孔(19),所述壳盖(3)与外壳主体(2)盖合处设置耐高温密封条(16),且壳盖(3)一侧顶部具有限位块(17)。
【技术特征摘要】
1.一种导流控制器外壳主体,包括安装座(1)、外壳主体(2)、壳盖(3)、安装槽(12)、导流槽(4)、导流孔(5)和异型槽(6),其特征在于,所述安装座(1)顶部通过座槽设置外壳主体(2),且外壳主体(2)内具有安装槽(12),所述安装槽(12)一侧设置对应的壳盖(3),且安装槽(12)内壁设置耐高温硅胶减震垫(13),所述耐高温硅胶减震垫(13)内一侧嵌有温湿度传感器(14),且耐高温硅胶减震垫(13)内另一侧嵌有压力传感器(15),所述外壳主体(2)一侧底部表面具有导流槽(4),且导流槽(4)两侧均设有导流孔(5),所述安装槽(12)顶部两侧均贯穿设置异型槽(6),且异型槽(6)之间设有贯穿孔(7),所述安装槽(12)顶部设置螺纹孔(18),且螺纹孔(18)两侧均设置安装孔(19),所述壳盖(3)与外壳主体(2)盖...
【专利技术属性】
技术研发人员:王东,
申请(专利权)人:东莞市泓信精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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