一种降低线性电机移动污染的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种降低线性电机移动污染的装置，安装于所述线性电机的侧部和/或底部，所述装置包括平板状的板体和多个通气管，其中，各所述通气管分布在所述板体中，且各所述通气管两端的管口分布于所述板体邻近所述线性电机的一侧表面；各所述通气管的长度方向与所述线性电机的移动方向相同，且所述通气管的长度大于所述线性电机上的移动部件的宽度。利用此装置能够平衡部件快速移动时引起的正压负压，从而避免了气流乱窜，使安装该装置的设备产生的细屑及油污不因风压剧烈变化而乱窜撒在面板上。

Device for reducing mobile pollution of linear motor

The utility model discloses a device for reducing the movement pollution of a linear motor, which is mounted at the side and/or bottom of the linear motor. The device comprises a plate-shaped plate body and a plurality of ventilation tubes, wherein the ventilation tubes are distributed in the plate body and the nozzles at both ends of the ventilation tubes are distributed adjacent to the plate body. The length direction of the ventilation tubes is the same as the moving direction of the linear motor, and the length of the ventilation tubes is larger than the width of the moving parts on the linear motor. The device can balance the positive and negative pressure caused by the rapid movement of the components, thus avoiding the turbulent flow, so that the fine particles and oil dirt produced by the equipment installed with the device can not be scattered on the panel because of the drastic change of wind pressure.

【技术实现步骤摘要】
一种降低线性电机移动污染的装置
本技术涉及显示面板生产
，尤其涉及一种降低线性电机移动污染的装置。
技术介绍
在面板(TFT/AMOLED)制程往高分辨率发展过程中，因像素被设计的愈来愈小，面板被制程设备产生的污染影响也愈来愈严重。在设备中，部件移动是不可避免的，要让这些大型部件准确精密的移动就需要线性电机，但部件在快速移动造成的风压、伴随的油污以及细粉屑是影响制程良率的一个主要因素。目前，部件在快速移动时，通常采取的措施是：在线性电机下方安装防油/尘盖或是在侧向安装盖板。但部件在快速移动时两侧的风压不平衡，风压过大会向上或向下乱窜以平衡压力，从而造成扬尘，使油污飞溅。有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种降低线性电机在移动时造成的污染装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种降低线性电机在移动时造成的污染装置，能够在部件快速移动时，平衡部件两侧的气压，避免油污飞溅、扬尘。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种降低线性电机移动污染的装置，安装于所述线性电机的侧部和/或底部，所述装置包括平板状的板体和多个通气管，其中，各所述通气管分布在所述板体中，且各所述通气管两端的管口分布于所述板体邻近所述线性电机的一侧表面；各所述通气管的长度方向与所述线性电机的移动方向相同，且所述通气管的长度大于所述线性电机上的移动部件的宽度。进一步的，还包含过滤网，所述过滤网可拆卸地设置于所述板体上，且覆盖各所述管口。进一步的，各所述通气管分成多排平行分布在所述板体中，且相邻两排的所述通气管同一端对应的两个所述管口的圆心的连线距离为L，该两个所述通气管轴心线之间的距离为H，且L>H。进一步的，相邻两排的所述通气管同一端对应的两个所述管口的圆心的连线与所述通气管的轴心线之间的夹角为a，30°≤a≤60°。进一步的，每排中各所述通气管沿所述线性电机的移动方向等距设置。进一步的，各相邻两排之间的所述通气管之间的距离均相等。进一步的，所述板体边缘沿其周向设有卡持所述过滤网的卡槽，且所述板体边缘上设有多个将所述过滤网抵压在所述卡槽中的卡扣。进一步的，所述过滤网的目数为100～200目。进一步的，所述板体为金属板。进一步的，所述通气管的长度比所述线性电机上的移动部件的宽度大3厘米-5厘米。本技术的有益效果为：利用此装置能够平衡部件快速移动时引起的正压负压，从而避免了气流乱窜，使安装该装置的设备产生的细屑及油污不因风压剧烈变化而乱窜撒在面板上。附图说明图1是本技术具体实施方式提供的降低线性电机在移动时造成的污染装置的结构示意图；图2是该装置移去过滤网后的结构示意图；图3是图2中A部的放大图图4是该装置具体实施的案例。图中：10-板体，11-管口，12-卡槽，20-通气管，30-过滤网，40-卡扣，50-龙门架，60-滑轨，70-移动部件，80-移动平台。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1至3所示，本技术的降低线性电机移动污染的装置，安装于线性电机的侧部和/或底部，该装置包括平板状的板体10和多个通气管11，其中，各通气管20分布在板体10中，且各通气管20两端的管口11分布于板体10邻近线性电机的一侧表面；各通气管20的长度方向与线性电机的移动方向相同，且通气管20的长度大于线性电机上的移动部件的宽度的3～5cm，所述的移动部件的宽度为沿其移动方向的宽度。如此，当线性电机驱动安装于其上的部件快速移动时，正压会将空气从通气管20一端的管口11灌入、从该通气管20另一端的管口11出来，以补充部件快速移动时产生的负压所产生的空气不足，从而确保部件快速移动时，其两侧产生的正负压平衡，避免了气流乱窜。本技术中板体10为金属板，为了确保金属板的刚度，以适应部件快速移动时产生的冲击力，本技术将各列通气管20等距离斜线排列，每排中各通气管20沿线性电机的移动方向等距设置、各相邻两排之间的通气管20之间的距离均相等。即，当相邻两排的通气管20同一端对应的两个管口11的圆心的连线距离为L、该两个通气管20轴心线之间的距离为H时，L>H，且相邻两排的通气管20同一端对应的两个管口11的圆心的连线与水平线之间的夹角a，30°≤a≤60°，该夹角a的角度根据管口11的孔径及金属板的宽度设定。当然，为了达到最佳的平衡风压的效果，可依部件移动速度调整管口11及通气管20的管径、长度、密度，以增加风流量、提高风压平衡速度。本技术的装置与线性电机配合在面板制程的设备上使用时，难免会受到粉尘跟油污的污染，为了避免粉尘跟油污污染该板体10，本技术在板体10设有管口11的表面上可拆卸连接有覆盖各管口11的过滤网30，过滤网30的目数为100～200目。过滤网30可让油污及粉尘等细屑附着在过滤网30上并可定期更换，减少细屑及油污再次造成的污染。具体的，为方便拆卸、更换过滤网30，本技术的板体10边缘沿其周向设有卡持过滤网30的卡槽12，且板体10边缘上设有多个将过滤网30抵压在卡槽12中的卡扣40。如图4给出了本技术的装置具体的使用示例，面板制程的设备通常会设有龙门架50，龙门架50下方设置面板的移动平台80，移动平台80上方设置线性电机，线性电机的移动部件70沿导轨60移动。此种情况下，可将本技术的装置安装于龙门架50上并位于线性电机的侧边，板体10的长度方向为移动部件70的移动方向。如此，当移动部件70快速移动时，板体10可平衡移动部件70两侧正负压，避免了气流乱窜，使安装该装置的设备产生的细屑及油污不因风压剧烈变化而乱窜撒在面板上。以上结合具体实施例描述了本技术的技术原理。这些描述只是为了解释本技术的原理，而不能以任何方式解释为对本技术保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本技术的其它具体实施方式，这些方式都将落入本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种降低线性电机移动污染的装置，安装于所述线性电机的侧部和/或底部，其特征在于，所述装置包括平板状的板体和多个通气管，其中，各所述通气管分布在所述板体中，且各所述通气管两端的管口分布于所述板体邻近所述线性电机的一侧表面；各所述通气管的长度方向与所述线性电机的移动方向相同，且所述通气管的长度大于所述线性电机上的移动部件的宽度。

【技术特征摘要】
1.一种降低线性电机移动污染的装置，安装于所述线性电机的侧部和/或底部，其特征在于，所述装置包括平板状的板体和多个通气管，其中，各所述通气管分布在所述板体中，且各所述通气管两端的管口分布于所述板体邻近所述线性电机的一侧表面；各所述通气管的长度方向与所述线性电机的移动方向相同，且所述通气管的长度大于所述线性电机上的移动部件的宽度。2.根据权利要求1所述的降低线性电机移动污染的装置，其特征在于，还包含过滤网，所述过滤网可拆卸地设置于所述板体上，且覆盖各所述管口。3.根据权利要求1或2所述的降低线性电机移动污染的装置，其特征在于，各所述通气管分成多排平行分布在所述板体中，且相邻两排的所述通气管同一端对应的两个所述管口的圆心的连线距离为L，该两个所述通气管轴心线之间的距离为H，且L>H。4.根据权利要求3所述的降低线性电机移动污染的装置，其特征在于，相邻两排的所述通气管同一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭连俊，杨慎东，颜圣佑，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32