The utility model relates to a shelf for placing a target material, including a shelf body, a chamber for placing the target material on the shelf body, the shelf body including a bottom plate and at least one side plate which is movably connected with the bottom plate and can be turned over. By setting at least one side plate movably connected with and capable of being turned over on the base plate of the frame body, such that during the process of storing the target material, by opening the reversible side plate, the target material can be pushed laterally into a chamber for the target material to be placed on the frame body, and by opening the reversible side plate Side plate can observe and adjust the distance between the target material and each side plate to ensure that the target can be accurately placed in the shelf to avoid the damage caused by the target bumping against the side plate. The shelf used for placing target can facilitate the placement of target and avoid damage to target.
【技术实现步骤摘要】
一种用于放置靶材的货架
本技术涉及货架,更具体地说,涉及一种用于放置靶材的货架。
技术介绍
目前随着靶材的尺寸的增大,靶材的体积、重量也随之增加;而现有存放靶材的货架一般类似箱体或者货柜;其货架四周设有挡板,且该挡板均与底板固定连接,存放靶材时需要从上往下将靶材吊进货柜中;因靶材的尺寸、重量的增加,使得将该靶材存放至此类货架时的难度增大,该靶材容易磕碰到四周的挡板导致受损,变形;从而造成该靶材在使用过程中,安装稳定性差,且影响溅射过程中,镀膜的均匀性。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于,提供一种能够解决靶材存放困难,靶材易受损变形等问题,便于靶材存放的货架。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种用于放置靶材的货架;其包括架子本体;所述架子本体上设有供靶材放置的腔室;所述架子本体包括底板以及设置在所述底板上与所述底板活动连接且可翻转的至少一块侧板。优选地,所述至少一块侧板与所述底板之间设有旋转机构。优选地,所述旋转机构包括设置在所述底板上且与所述至少一块侧板连接供所述侧板旋转的转轴。优选地,所述转轴设置在所述底板的一端或者两端且位于所述底板的两侧。优选地,所述旋转机构包括设置在所述底板上且与所述至少一块侧板连接供所述侧板旋转的铰链机构。优选地,所述铰链机构设置在所述底板的侧壁上。优选地,所述底板为长方形;所述腔室为长方体状。优选地,至少一块侧板包括设置在所述底板上与所述底板形成所述腔室的四个侧板。优选地,所述底板上设有支撑所述靶材的支撑垫。优选地,所述侧板上设有防止所述靶材撞击的防撞垫。实施本技术的用于放置靶材的货架,具有以下有益效果:该用于放置靶 ...
【技术保护点】
1.一种用于放置靶材的货架,其特征在于,包括架子本体(11);所述架子本体(11)上设有供靶材放置的腔室(111);所述架子本体(11)包括底板(112)以及设置在所述底板(112)上与所述底板(112)活动连接且可翻转的至少一块侧板(113)。
【技术特征摘要】
1.一种用于放置靶材的货架,其特征在于,包括架子本体(11);所述架子本体(11)上设有供靶材放置的腔室(111);所述架子本体(11)包括底板(112)以及设置在所述底板(112)上与所述底板(112)活动连接且可翻转的至少一块侧板(113)。2.根据权利要求1所述的用于放置靶材的货架,其特征在于,所述至少一块侧板(113)与所述底板(112)之间设有旋转机构(12)。3.根据权利要求2所述的用于放置靶材的货架,其特征在于,所述旋转机构(12)包括设置在所述底板(112)上且与所述至少一块侧板(113)连接供所述侧板(113)旋转的转轴。4.根据权利要求3所述的用于放置靶材的货架,其特征在于,所述转轴设置在所述底板(112)的一端或者两端且位于所述底板(112)的两侧。5.根据权利要求3所述的用于放置靶材的货...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄勇彪,林文宝,刘海燕,李宝英,
申请(专利权)人:深圳市众诚达应用材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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