一种靶材检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种靶材检测装置，该靶材检测装置包括基台、安装在所述基台上的检测靶材平整度的检测装置、安装在所述基台上供所述检测装置沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在所述基台上带动所述检测装置在所述导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与所述传动装置连接驱动所述传动装置升降的驱动机构以及安装在所述基台上且与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。该靶材检测装置能够对靶材表面的各个区域进行检测，实现自动化检测，进而提高靶材通过溅射所镀的膜的均匀性，降低人力成本。

A target detection device

The utility model relates to a target material detection device, which comprises a base plate, a detection device installed on the base plate for detecting the flatness of the target material, a guiding component mounted on the base plate for the detection device to reciprocate along the Y-axis direction and the X-axis direction, and a detection device mounted on the base plate to drive the detection device. A drive device for reciprocating motion in the Y-axis direction on the guide assembly, a drive mechanism connecting the drive device to drive the lifting of the drive device, and a power element mounted on the base platform and connected with the detection device to drive the detection device to reciprocate motion in the X-axis direction on the guide assembly. The target detection device can detect every area of the target surface and realize automatic detection, thereby improving the uniformity of the target coated by sputtering and reducing the labor cost.

【技术实现步骤摘要】
一种靶材检测装置
本技术涉及靶材检测领域，更具体地说，涉及一种靶材检测装置。
技术介绍
在靶材生成制作过程中，采用溅射法在靶材表面镀膜，靶材表面若不平整，将会导致靶材通过溅射所镀的膜不均匀。而现有生产中，一般采用肉眼观察的方式观察靶材表面平整度，其不仅需要消耗一定的人力物力，而且容易产生误差无法准确将表面不平整的靶材剔除，从而导致靶材表面所镀的膜厚度不均匀。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种能够解决难以检测靶材平整度的弊端的靶材检测装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材检测装置及其检测方法，包括基台、安装在所述基台上的检测靶材平整度的检测装置、安装在所述基台上供所述检测装置沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在所述基台上带动所述检测装置在所述导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与所述传动装置连接驱动所述传动装置升降的驱动机构以及安装在所述基台上且与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。优选地，所述导向组件包括设置在所述基台上供所述检测装置沿X轴方向做往复运动的第一组导向组件以及设置在所述基台上供所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材检测装置，其特征在于，包括基台(11)、安装在所述基台(11)上的检测靶材平整度的检测装置(12)、安装在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件(13)、安装在所述基台(11)上带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿Y轴方向做往复运动的传动装置(14)、与所述传动装置(14)连接驱动所述传动装置升降的驱动机构(15)以及安装在所述基台(11)上且与所述检测装置(12)连接带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿X轴方向做反复运动的动力元件(16)。

【技术特征摘要】
1.一种靶材检测装置，其特征在于，包括基台(11)、安装在所述基台(11)上的检测靶材平整度的检测装置(12)、安装在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件(13)、安装在所述基台(11)上带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿Y轴方向做往复运动的传动装置(14)、与所述传动装置(14)连接驱动所述传动装置升降的驱动机构(15)以及安装在所述基台(11)上且与所述检测装置(12)连接带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿X轴方向做反复运动的动力元件(16)。2.根据权利要求1所述的靶材检测装置，其特征在于，所述导向组件(13)包括设置在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿X轴方向做往复运动的第一组导向组件(131)以及设置在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿Y轴方向做往复运动的第二组导向组件(132)。3.根据权利要求2所述的靶材检测装置，其特征在于，所述基台(11)上设有安装所述检测装置(12)的安装板(17)；所述安装板(17)设置在所述第一组导向组件(131)上方且由所述动力元件(16)带动在所述第一组导向组件(131)上做往复运动；所述第二组导向组件(132)设置在所述安装板上。4.根据权利要求3所述的靶材检测装置，其特征在于，所述第一组导向组件(131)包括设置在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄勇彪，林文宝，刘海燕，李宝英，
申请(专利权)人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44