基板传输方法及基板传输设备技术

本发明专利技术公开了一种基板传输方法，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在下游机台发生故障时，启用位于下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经缓冲机台进入下游机台；确定缓冲机台内的基板的数量n0，当缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭缓冲机台，基板直接自上游机台流入下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从缓冲机台搬运至下游机台的时间。本发明专利技术利用缓冲机台来避免下游机台发生故障时导致的堆片，可以根据缓冲机台内的基板的实际数量确定搬运方式，也保证了生产线流片过程的持续性，避免长时间停机影响生产效率。

【技术实现步骤摘要】
基板传输方法及基板传输设备
本专利技术涉及基板传输
，尤其涉及一种基板传输方法及基板传输设备。
技术介绍
液晶面板行业色彩基板主要的制程流程为清洗→涂布→预烘烤→曝光→显影→后烘烤，制程中间还存在检测、量测(全检/抽检)等设备，总体为流水线生产，因基板在制程设备内停留会造成基板异常，为防止下游设备异常导致基板在上游设备停留，故在主制程设备后会添加buffer(缓冲)设备做为预防，当下游设备异常时，基板从上游设备进入到buffer设备，然后流入到下游设备，从而避免了基板的停留。当生产线的tacttime(节拍时间)到极限时，一旦有玻璃进buffer设备，就很难再出来，所以buffer设备一般会启用先入先出功能，即当有玻璃进buffer时，后续上游机台产生的基板都会先放进buffer设备，再把最先进入buffer设备的玻璃取出放入下游机台。当生产线tacttime到极限时，下游设备一旦异常出现异常，有基板进入buffer设备，因先入先出原则，从第一块基板进入buffer设备到出buffer设备需要一定的时间，会影响整体的流片速度，导致buffer里面基板越来越多，直到buffer设备内基板传输受阻而导致上游的基板传输受阻，使整个产线停线。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种基板传输方法及基板传输设备，可以确保设备短暂的停机或宕机均不会影响产线上基板的传输，且不会影响产品的品质。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种基板传输方法，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在所述下游机台发生故障时，启用位于所述下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经所述缓冲机台进入所述下游机台；确定所述缓冲机台内的基板的数量n0，当所述缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从所述缓冲机台搬运至所述下游机台的时间。作为其中一种实施方式，当所述缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极大值时，不进行计时，当基板经所述缓冲机台进入所述下游机台直至所述缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极小值时，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台。作为其中一种实施方式，所述缓冲机台为多个，多个所述缓冲机台分别位于不同的所述上游机台和所述下游机台之间。作为其中一种实施方式，其中一个所述上游机台为烘烤机台，其中一个所述下游机台为第一检测机台，所述烘烤机台和所述第一检测机台之间设有一个所述缓冲机台。作为其中一种实施方式，其中一个所述上游机台为显影机台，其中一个所述下游机台为第二检测机台，所述显影机台和所述第二检测机台之间设有一个所述缓冲机台。作为其中一种实施方式，清洗机台、涂布机台、预烘烤机台、曝光机台、显影机台、后烘烤机台的至少两个之间设有一个缓冲机台和/或检测机台。作为其中一种实施方式，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台时采用机械手进行搬运。本专利技术的另一目的在于提供一种基板传输设备，包括上游机台、下游机台、缓冲机台以及用于控制基板的传送状态的控制单元，所述控制单元在所述下游机台发生故障时，关闭缓冲机台的先入先出功能，在所述缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时开始计时，控制基板自上游机台依次经所述缓冲机台进入所述下游机台，并在经历时间t后，控制所述基板直接自所述上游机台流入所述下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从所述缓冲机台搬运至所述下游机台的时间。作为其中一种实施方式，所述控制单元还在所述缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极大值时不进行计时，在基板经所述缓冲机台进入所述下游机台直至所述缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极小值时，控制基板直接自所述上游机台流入所述下游机台。作为其中一种实施方式，所述的基板传输设备包括多个机台，至少两个相邻的机台之间设有一个缓冲机台和/或检测机台。本专利技术利用缓冲机台来避免下游机台发生故障时导致的堆片，可以根据缓冲机台内的基板的实际数量确定搬运方式，也保证了生产线流片过程的持续性，避免长时间停机影响生产效率。附图说明图1为本专利技术实施例的基板传输方法示意图；图2为本专利技术实施例的基板传输设备的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参阅图1，本专利技术实施例的基板传输方法主要包括：S01、基板自上游机台进入下游机台；S02、判断下游机台是否故障；S03、在下游机台发生故障时，启用位于下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，保证基板的传输速度不会影响后续制程，使产线能以正常tacttime流片，此时，基板自上游机台依次经缓冲机台进入下游机台；S04、确定缓冲机台内的基板的数量n0；S05、根据缓冲机台内基板的数量n0与预设极大值的大小关系确定基板的传输方式，具体包括：S051、当缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭缓冲机台，基板直接自上游机台流入下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从缓冲机台搬运至下游机台的时间，确保设定的时间t内能够把缓冲机台里的基板全部排出，此种方法适用于故障处理比较快速的情况。其中，该预设极大值的值取决于生产线的tacttime，以使得基板的传输进度保持与生产线的节拍范围内。S052、当缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极大值时，代表故障并不能很快处理，则不进行计时，继续利用缓冲机台从上游机台至下游机台传输基板，当基板经缓冲机台进入下游机台直至缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极小值时，则说明故障解除，则可以关闭缓冲机台，基板直接自上游机台流入下游机台。优选地，缓冲机台为多个，多个缓冲机台分别位于不同的上游机台和下游机台之间。例如，其中一个上游机台为烘烤机台，其中一个下游机台为第一检测机台，烘烤机台和第一检测机台之间设有一个缓冲机台，该缓冲机台可以作为基板自烘烤机台至第一检测机台传输基板的缓冲部，以防止下游的第一检测机台出现堆片或基板断供，其中，烘烤机台可以是预烘烤机台，也可以是后烘烤机台，第一检测机台可用于对烘烤效果进行抽检或全检。或者，其中一个上游机台为显影机台，其中一个下游机台为第二检测机台，显影机台和第二检测机台之间设有一个缓冲机台。又或者，清洗机台、涂布机台、预烘烤机台、曝光机台、显影机台、后烘烤机台的至少两个之间设有一个缓冲机台和检测机台，可以保证每两个相邻的制程环节之间均具有预防基板堆片或断供的措施，以及对基板品质进行检验的措施，既能保证基板始终处于传输状态，又能保证产品的品质。通常地，基板直接自上游机台流入下游机台时采用机械手进行搬运，基板自缓冲机台到下游机台的搬运也采用同一机械手进行抓取，可以实现精准定位和抓取。本专利技术的基板传输设备主要包括上游机台1、下游机台2、缓冲机台3以及用于控制基板的传送状态的控制单元(图未示)，控制单元在下游机台发生故障时，关闭相应的缓冲机台3的先入先出功能，在缓冲机台内3的基板的数量n0小于预设极大值时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板传输方法，其特征在于，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在所述下游机台发生故障时，启用位于所述下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经所述缓冲机台进入所述下游机台；确定所述缓冲机台内的基板的数量n0，当所述缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从所述缓冲机台搬运至所述下游机台的时间。

【技术特征摘要】
1.一种基板传输方法，其特征在于，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在所述下游机台发生故障时，启用位于所述下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经所述缓冲机台进入所述下游机台；确定所述缓冲机台内的基板的数量n0，当所述缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从所述缓冲机台搬运至所述下游机台的时间。2.根据权利要求1所述的基板传输方法，其特征在于，当所述缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极大值时，不进行计时，当基板经所述缓冲机台进入所述下游机台直至所述缓冲机台内的基板的数量n0达到预设极小值时，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台。3.根据权利要求1或2所述的基板传输方法，其特征在于，所述缓冲机台为多个，多个所述缓冲机台分别位于不同的所述上游机台和所述下游机台之间。4.根据权利要求3所述的基板传输方法，其特征在于，其中一个所述上游机台为烘烤机台，其中一个所述下游机台为第一检测机台，所述烘烤机台和所述第一检测机台之间设有一个所述缓冲机台。5.根据权利要求4所述的基板传输方法，其特征在于，其中一个所述上游机台为显影机台，其中一个所述下游...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭浪，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42