氮化钛作为非法拉第电化学电池中的电极的用途制造技术

纳米孔电池包括导电层。该纳米孔电池还包括设置在所述导电层上方的硝酸钛(TiN)工作电极。该纳米孔电池还包括设置在所述TiN工作电极上方的绝缘壁，其中绝缘壁和TiN工作电极形成其中可以容纳电解质的凹槽。在一些实施方案中，TiN工作电极包括海绵状且多孔的TiN工作电极，其通过具有调节成在所述导电层上方沉积稀疏间隔的TiN柱状结构或TiN晶体柱的条件的沉积技术来沉积。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氮化钛作为非法拉第电化学电池中的电极的用途专利技术背景近年来，在半导体工业中的微小型化的进步已经使生物技术专家能够开始将传统上大体积的传感工具包装成越来越小的规格，至所谓的生物芯片上。期望开发对于生物芯片而言使它们更稳固、高效和低成本的技术。附图简述在下文的详细描述和附图中公开本专利技术的各种实施方案。图1例示基于纳米孔的测序芯片中电池100的实施方案。图2例示采用Nano-SBS技术进行核苷酸测序的电池200的实施方案。图3例示即将采用预先载入的标记物进行核苷酸测序的电池的实施方案。图4例示用于采用预先载入的标记物进行核酸测序的方法400的实施方案。图5例示在基于纳米孔的测序芯片的电池中的电路500的实施方案。图6例示在基于纳米孔的测序芯片的电池中的电路600的实施方案，其中跨所述纳米孔施加的电压可以配置成随时间变化，所述纳米孔在这段时间内处于特定的可检测状态。图7A例示另外的在基于纳米孔的测序芯片的电池中的电路700的实施方案，其中跨所述纳米孔施加的电压可以配置成随时间变化，所述纳米孔在这段时间内处于特定的可检测状态。图7B例示另外的在基于纳米孔的测序芯片的电池中的电路701的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米孔电池，其包括：导电层；设置在所述导电层上方的硝酸钛(TiN)工作电极；和设置在所述TiN工作电极上方的绝缘壁，其中所述绝缘壁和所述TiN工作电极形成其中可以容纳电解质的凹槽。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.05 US 14/8189771.一种纳米孔电池，其包括：导电层；设置在所述导电层上方的硝酸钛(TiN)工作电极；和设置在所述TiN工作电极上方的绝缘壁，其中所述绝缘壁和所述TiN工作电极形成其中可以容纳电解质的凹槽。2.权利要求1所述的纳米孔电池，其中所述TiN工作电极包括海绵状且多孔的TiN工作电极，其通过具有调节成在所述导电层上方沉积稀疏间隔的TiN柱状结构或TiN晶体柱的条件的沉积技术来沉积。3.权利要求2所述的纳米孔电池，其中所述海绵状且多孔的TiN工作电极的比表面积为具有基本上相同尺寸的平坦TiN工作电极的比表面积的十至一千倍。4.权利要求2至3所述的纳米孔电池，其中所述海绵状且多孔的TiN工作电极的电化学电容为具有基本上相同尺寸的平坦TiN工作电极的电化学电容的十至一千倍。5.权利要求2至4所述的纳米孔电池，其中所述海绵状且多孔的TiN工作电极的电化学电容为10皮法拉至1纳法拉。6.权利要求2至5所述的纳米孔电池，其中所述沉积技术包括来自钛靶的直流(DC)反应溅射，调节成在所述导电层上方沉积稀疏间隔的TiN柱状结构或TiN晶体柱的条件包括使用低温、低基底偏压和高压以用于溅射。7.权利要求2至6所述的纳米孔电池，其中所述绝缘壁的一部分覆盖所述TiN工作电极的一部分，并且其中所述凹槽在所述TiN工作电极的未覆盖部分上方具有开口，并且其中所述TiN工作电极的底表面积大于所述TiN工作电极的未覆盖部分上方的开口的底表面积。8.权利要求7所述的纳米孔电池，其中基于与TiN工作电极相关联的电容对与跨越所述TiN工作电极的未覆盖部分上方的开口的膜相关联的电容的比率选择所述TiN工作电极的底表面积和所述开口的底表面积。9.权利要求2至6所述的纳米孔电池，其中所述绝缘壁的一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：J福斯特，J科马迪纳，
申请(专利权)人：豪夫迈·罗氏有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士,CH