一种衬底载板以及柔性显示面板的制作方法技术

本申请实施例提供一种衬底载板以及柔性显示面板的制作方法，涉及显示技术领域，用于解决激光剥离的过程中，由于激光脉冲的不均匀性，导致柔性显示器中各处受光不均匀。上述衬底载板包括刚性的载板本体。载板本体的承载面用于承载柔性显示面板的柔性衬底。载板本体的承载面上设置有多个微结构，多个微结构用于对入射光进行扩散并传输至柔性衬底。上述衬底载板用于承载电子器件的柔性衬底。

【技术实现步骤摘要】
一种衬底载板以及柔性显示面板的制作方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种衬底载板以及柔性显示面板的制作方法。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，柔性显示器的应用领域越来越广泛。现有的柔性显示器在制作过程中，需要先在一玻璃衬底上形成柔性基底；然后，在该柔性基底上制作显示器的主体部件；最后，采用激光剥离技术，将玻璃衬底与柔性基底剥离，从而完成柔性显示器的制备。然而，在上述激光剥离的过程中，由于激光脉冲的不均匀性，会导致柔性显示器中各处的TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)受光不均匀，因此使得各处TFT特征出现不均一，最终造成显示异常。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种衬底载板以及柔性显示面板的制作方法，用于解决激光剥离的过程中，由于激光脉冲的不均匀性，导致柔性显示器背板各处受光不均匀。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：本申请实施例的一方面，提供一种衬底载板，所述衬底载板包括刚性的载板本体；所述载板本体的承载面用于承载柔性显示面板的柔性衬底；所述载板本体的承载面上设置有多个微结构，所述多个微结构用于对入射光进行扩散并传输至所述柔性衬底。可选的，所述衬底载板还包括覆盖所述载板本体承载面和所述微结构的平坦层；所述平坦层背离所述载板本体的一侧与所述柔性衬底相接触。可选的，所述柔性衬底包括一层或多层薄膜层，且所述柔性衬底中和所述平坦层相接触的薄膜层的材料与所述平坦层的材料不同。可选的，在所述柔性衬底包括所述多层薄膜层的情况下，沿背离所述载板本体的方向，所述多层薄膜层依次包括第一有机薄膜层、第一无机薄膜层、第二有机薄膜层以及第二无机薄膜层。可选的，构成所述第一有机薄膜层和所述第二有机薄膜层的材料包括聚酰亚胺；构成所述第一无机薄膜层和所述第二无机薄膜层的材料包括氧化硅或氮化硅中的至少一种。可选的，所述平坦层的折射率小于所述载板本体的折射率，且所述平坦层的折射率与所述载板本体的折射率之差的绝对值位于0.1～0.5的范围内。可选的，所述多个微结构构成一维光栅。可选的，所述多个微结构阵列排布；所述微结构为圆柱体或立方体。可选的，所述载板本体为玻璃载板。本申请实施例的另一方面，提供一种柔性显示面板的制作方法，所述方法包括：在一刚性的载板本体的承载面上，通过构图工艺形成多个微结构；通过成膜工艺，在所述微结构和所述承载面上覆盖平坦层，以形成衬底载板；在所述平坦层背离所述载板本体的一侧形成柔性衬底；采用激光由所述载板本体背离所述平坦层的一侧入射；将所述衬底载板与所述柔性衬底剥离。可选的，所述在一刚性的载板本体的承载面上，通过构图工艺形成多个微结构包括：通过纳米压印工艺或光刻工艺，在所述载板本体的承载面上，形成一维光栅。可选的，所述在一刚性的载板本体的承载面上，通过构图工艺形成多个微结构包括：通过纳米压印工艺或光刻工艺，在所述载板本体的承载面上，形成阵列排布的圆柱体或立方体。可选的，所述在所述平坦层背离所述载板本体的一侧形成柔性衬底包括：通过成膜工艺，在所述平坦层背离所述载板本体的一侧依次形成第一有机薄膜层、第一无机薄膜层、第二有机薄膜层以及第二无机薄膜层。可选的，构成所述第一有机薄膜层和所述第二有机薄膜层的材料包括聚酰亚胺；构成所述第一无机薄膜层和所述第二无机薄膜层的材料包括氧化硅或氮化硅中的至少一种。可选的，所述在所述平坦层背离所述载板本体的一侧形成柔性衬底之后，在所述采用激光由所述载板本体背离所述平坦层的一侧入射之前，所述方法还包括：在所述柔性衬底背离所述平坦层的一侧，形成阵列基板以及位于阵列基板上的发光器件。综上所述，本申请实施例提供的衬底载板中，由于刚性的载板本体的承载面上设置有多个微结构，而该多个微结构能够对入射的激光进行扩散，并将扩散后的光线传输至柔性衬底以及位于该柔性衬底下方的柔性显示器的主体部件。在此情况下，即使激光源输出相邻的激光脉冲之间存在发光间隙，使得激光源发光不均匀，但是入射至载板本体的激光在多个微结构的扩散作用，能够使得形成于该柔性衬底下方柔性显示器中的各个TFT的受光量大致相同，从而使得各个TFT的特性均一，有利于提升显示均一性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的一种承载由柔性衬底的衬底载板的结构示意图；图2为本申请实施例提供的一种激光剥离示意图；图3为本申请实施例提供的另一种激光剥离示意图；图4为图1中具有多个微结构的载板本体的一种结构示意图；图5为图1中具有多个微结构的载板本体的另一种结构示意图；图6为本申请实施例提供的另一种承载由柔性衬底的衬底载板的结构示意图；图7为本申请实施例提供的一种柔性显示面板的制作方法流程图；图8a、图8b、图8c、图8d为图7中步骤S101中制作微结构的各个步骤示意图；图9为图7中步骤S102的示意图；图10为图7中步骤S104的示意图；图11为图7中步骤S105的示意图。附图标记：01-柔性衬底；10-衬底载板；101-载板本体；102-平坦层；20-微结构；201-第一有机薄膜层；202-第二有机薄膜层；211-第一无机薄膜层；212-第二无机薄膜层；30-压印胶；31-模具。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。本申请实施例如图1所示，提供一种衬底载板10，该衬底载板10包括刚性的载板本体101。其中，该载板本体101的承载面用于承载柔性显示面板的柔性衬底01。需要说明的是，载板本体101的承载面在对柔性衬底01进行承载的过程中，可以与该柔性衬底01直接接触，或者该载板本体101的承载面与柔性衬底01之间还可以设置其他薄膜层，本申请对此不作限制，只要使得载板本体101的承载面为该载板本体101上靠近柔性衬底01一侧的表面即可。可选的，上述载板本体101可以为玻璃载板，或者硬质的透明树脂材料构成的载板，本申请对该载板本体101的材料不做限定，只要能够保证该载板本体101具有一定的刚性，且在柔性显示器制作过程中，能够对位于柔性衬底01以及制作于该柔性衬底01上的显示器的主体部件进行承载即可。此外，上述显示器的主体部件可以包括阵列基板，该阵列基板上设置有多个亚像素，每个亚像素内制作有像素电路。此外，上述主体部件还包括设置于阵列基板上，且位于各个亚像素内的发光器件，以及覆盖阵列基板和发光器件的封装盖板。其中，该发光器件可以为有机发光二极管(OrganicLightEmittingDio本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底载板，其特征在于，所述衬底载板包括刚性的载板本体；所述载板本体的承载面用于承载柔性显示面板的柔性衬底；所述载板本体的承载面上设置有多个微结构，所述多个微结构用于对入射光进行扩散并传输至所述柔性衬底。

【技术特征摘要】
1.一种衬底载板，其特征在于，所述衬底载板包括刚性的载板本体；所述载板本体的承载面用于承载柔性显示面板的柔性衬底；所述载板本体的承载面上设置有多个微结构，所述多个微结构用于对入射光进行扩散并传输至所述柔性衬底。2.根据权利要求1所述的衬底载板，其特征在于，所述衬底载板还包括覆盖所述载板本体承载面和所述微结构的平坦层；所述平坦层背离所述载板本体的一侧与所述柔性衬底相接触。3.根据权利要求2所述的衬底载板，其特征在于，所述柔性衬底包括一层或多层薄膜层，且所述柔性衬底中和所述平坦层相接触的薄膜层的材料与所述平坦层的材料不同。4.根据权利要求3所述的衬底载板，其特征在于，在所述柔性衬底包括所述多层薄膜层的情况下，沿背离所述载板本体的方向，所述多层薄膜层依次包括第一有机薄膜层、第一无机薄膜层、第二有机薄膜层以及第二无机薄膜层。5.根据权利要求4所述的衬底载板，其特征在于，构成所述第一有机薄膜层和所述第二有机薄膜层的材料包括聚酰亚胺；构成所述第一无机薄膜层和所述第二无机薄膜层的材料包括氧化硅或氮化硅中的至少一种。6.根据权利要求2所述的衬底载板，其特征在于，所述平坦层的折射率小于所述载板本体的折射率，且所述平坦层的折射率与所述载板本体的折射率之差的绝对值位于0.1～0.5的范围内。7.根据权利要求1-6任一项所述的衬底载板，其特征在于，所述多个微结构构成一维光栅。8.根据权利要求1-6任一项所述的衬底载板，其特征在于，所述多个微结构阵列排布；所述微结构为圆柱体或立方体。9.根据权利要求1所述的衬底载板，其特征在于，所述载板本体为玻璃载板。10.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘震，黄华，黄维，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11