一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器制造技术

本发明专利技术提供了一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，包括：由下至上依次层叠设置的平面衬底、超薄下金属反射镜、金属纳米阵列嵌入式法布里‑珀罗复合光学腔、以及超薄上金属反射镜；所述金属纳米阵列嵌入式法布里‑珀罗复合光学腔的折射率大于所述平面衬底的折射率；所述金属纳米阵列嵌入式法布里‑珀罗复合光学腔包括法布里‑珀罗光学腔，以及嵌入腔中的金属纳米阵列；所述中的金属纳米阵列中的单颗粒呈周期性阵列排布。本发明专利技术提出一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，解决了当前表面等离极化激元波长选择器件不易集成、单一波长选择性的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器
本专利技术涉及光学
，尤其涉及一种纳米尺度的基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器。
技术介绍
当金属表面结构呈曲面直径小于亚波长的纳米球体、柱体等结构时，表面等离极化激元(Surfaceplasmonpolariton,SPP)不能以电磁波的形式在金属与介质界面传输，而只能被局域在这些金属结构附近，形成局域化的SPP，称之为LSP(Localizedsurfaceplasmon，LSP)。由于金属纳米结构的表面曲率半径比一定粗糙度的金属平面小得多，因此LSP可极大地增强金属纳米结构近场区域的电磁场。近年来，利用表面等离极化激元能量高度局域化、可突破光学衍射极限的特征，研究人员开发出诸多纳米光子学器件，如表面等离极化激元波长选择器、波导及滤波器等纳米光子学器件，实现了在纳米尺度范围内对光子的进一步操控。然而，当前制备的表面等离极化激元波长选择器，其尺寸较大不易集成，而且仅具备针对单一特定波长的选择特性，严重制约了波长选择器的广泛应用。如申请号为201310076320.0的中国专利公开了一种表面等离激元波长选择器结构,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，其特征在于包括：由下至上依次层叠设置的平面衬底、超薄下金属反射镜、金属纳米阵列嵌入式法布里‑珀罗复合光学腔、以及超薄上金属反射镜；所述金属纳米阵列嵌入式法布里‑珀罗复合光学腔的折射率大于所述平面衬底的折射率；所述金属纳米阵列嵌入式法布里‑珀罗复合光学腔包括法布里‑珀罗光学腔，以及嵌入腔中的金属纳米阵列；所述中的金属纳米阵列中的单颗粒呈周期性阵列排布。

【技术特征摘要】
1.一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，其特征在于包括：由下至上依次层叠设置的平面衬底、超薄下金属反射镜、金属纳米阵列嵌入式法布里-珀罗复合光学腔、以及超薄上金属反射镜；所述金属纳米阵列嵌入式法布里-珀罗复合光学腔的折射率大于所述平面衬底的折射率；所述金属纳米阵列嵌入式法布里-珀罗复合光学腔包括法布里-珀罗光学腔，以及嵌入腔中的金属纳米阵列；所述中的金属纳米阵列中的单颗粒呈周期性阵列排布。2.根据权利要求1所述的一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，其特征在于：所述超薄上金属反射镜和超薄下金属反射镜的厚度为5nm。3.根据权利要求1所述的一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，其特征在于：所述金属纳米阵列的单颗粒的截面形状为圆形或多边形结构。4.根据权利要求1所述的一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，其特征在于：所述法布里-珀罗光学腔中的金属纳米阵列的材料由金、银、铝、铑中的一种构成，或者由两种构成核壳结构。5.根据权利要求1所述的一种基于表面等离极化激元与光学腔强耦合的波长选择器，其特征在于：所述法布里-珀罗光学腔的厚度...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄凯，王鹤，高娜，康俊勇，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：福建,35