一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)制造技术

本发明专利技术涉及(Cu,Fe)

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的方法及其应用
本专利技术涉及(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的制备领域，具体涉及一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的方法及其应用。
技术介绍
目前中温(600-800℃)固体氧化物燃料电池(SOFC)中所使用的金属连接体主要有：Cr基合金、Ni基合金和含Cr铁素体不锈钢。由于铁素体不锈钢具有抗高温氧化性、价格低廉、较高的电导和优良的导热性，热膨胀系数与其他组件匹配等优点，所以铁素体不锈钢成为最具发展潜力的连接体材料。但铁素体不锈钢在SOFC的工作环境下，尤其是阴极的高温氧化性环境中氧化腐蚀较为严重，并且存在Cr元素挥发使SOFC阴极中毒问题，而这些问题会严重影响连接体的导电性能，造成电池性能衰减。解决铁素体不锈钢连接体在实际应用中遇到的问题的主要途径是在铁素体不锈钢表面涂覆不含Cr的保护涂层。一些无Cr尖晶石涂层，如(Mn,Co)3O4、(Cu,Mn)3O4、Co3O4等具有较高电导，能有效阻碍Cr的扩散，热膨胀系数与不锈钢连接体接近等优势，成为目前较优的不锈钢涂层材料。而与其他尖晶石涂层对比，(Cu,Fe)3O4尖晶石满本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)预处理：依次用240#、400#、600#SiC水磨砂纸打磨含Cr铁素体不锈钢基体表面，并进行磨棱、倒角处理；基体打磨后进行喷砂，喷砂时压缩空气的压强范围为0.3～0.5MPa，所使用砂粒为二氧化硅；基体喷砂后，用丙酮超声清洗10～15min；清洗过的样品置于650～800℃空气中预氧化100～200h，形成Cr2O3和(Mn,Cr)3O4氧化层；(2)溅射沉积制备合金涂层：以Cu‑Fe合金靶材作为阴极，基体作为阳极，溅射沉积0.5～6h，获得Cu‑Fe合金涂层；(3)热转化制备尖晶石涂层：随后将溅射沉...

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)预处理：依次用240#、400#、600#SiC水磨砂纸打磨含Cr铁素体不锈钢基体表面，并进行磨棱、倒角处理；基体打磨后进行喷砂，喷砂时压缩空气的压强范围为0.3～0.5MPa，所使用砂粒为二氧化硅；基体喷砂后，用丙酮超声清洗10～15min；清洗过的样品置于650～800℃空气中预氧化100～200h，形成Cr2O3和(Mn,Cr)3O4氧化层；(2)溅射沉积制备合金涂层：以Cu-Fe合金靶材作为阴极，基体作为阳极，溅射沉积0.5～6h，获得Cu-Fe合金涂层；(3)热转化制备尖晶石涂层：随后将溅射沉积后的样品置于650～800℃箱式电阻炉中进行氧化，获得(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层。2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的基体中Cr：16～25mass％。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：耿树江，潘玥，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21