一种大规格二氧化硅疏松体生产用制砣设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种大规格二氧化硅疏松体生产用制砣设备，属石英玻璃生产机械技术领域。它由框架、升降平台、升降丝杠、旋转电机、转盘和导向柱构成，框架内通过升降电机和升降丝杠安装有升降平台，升降平台的上表面通过转轴安装有转盘，升降平台的下表面安装有旋转电机。该制砣设备由于采用升降电机和升降丝杠抬起或下降升降平台；可提高升降平台的承重，同时使沉积基底的沉积面扩大，SiO2颗粒分布更均匀，温度场也分布更均匀，使得制备出的二氧化硅疏松体结构均匀分布，可有效提高二氧化硅疏松体的制备质量，从而提高石英玻璃的光学均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种大规格二氧化硅疏松体生产用制砣设备
本技术涉及一种大规格二氧化硅疏松体生产用制砣设备，属石英玻璃生产机械

技术介绍
石英玻璃具有特殊的光谱透过性能，热膨胀系数低、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀，在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。随着各领域光学系统对石英玻璃尺寸和光学均匀性要求的不断提高，研制大尺寸、高均匀石英玻璃的需求剧增。石英玻璃的光学均匀性直接影响光学系统的成像质量。用光学均匀性数值及分布图可表征材料内部折射率不均匀的程度。若玻璃存在光学不均匀，则光通过介质后会产生相位差，可导致光学系统无法实现预期功能，甚至无法工作。大规格二氧化硅疏松体制备机是石英玻璃生产的关键设备，其结构及性能直接影响二氧化硅疏松体沉积的尺寸和后期电熔玻璃化光学均匀性。合成二氧化硅疏松体是以有机硅(通常采用D4)为原料,在氢氧焰中发生水解或氧化反应生成SiO2纳米颗粒，沉积石英玻璃基底表面制备而成。在实现上述技术方案的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：(1)现有制砣机的立柱式或悬挂式对连接在主轴上的沉积基底的大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大规格二氧化硅疏松体生产用制砣设备，它由框架、升降平台（1）、升降丝杠（2）、旋转电机（3）、转盘（4）和导向柱（5）构成，其特征在于：框架内通过对称设置的升降电机（6）和升降丝杠（2）安装有升降平台（1），升降丝杠（2）两侧的框架内设置有导向柱（5），导向柱（5）与升降平台（1）滑动连接；升降平台（1）的上表面通过转轴（7）安装有转盘（4），转轴（7）上固装有传动齿圈（8）；转盘（4）一侧的升降平台（1）上通过传动轴安装有驱动齿轮（9），驱动齿轮（9）与传动齿圈（8）啮合连接；升降平台（1）的下表面安装有旋转电机（3），旋转电机（3）通过换向器与传动轴连接。

【技术特征摘要】
1.一种大规格二氧化硅疏松体生产用制砣设备，它由框架、升降平台（1）、升降丝杠（2）、旋转电机（3）、转盘（4）和导向柱（5）构成，其特征在于：框架内通过对称设置的升降电机（6）和升降丝杠（2）安装有升降平台（1），升降丝杠（2）两侧的框架内设置有导向柱（5），导向柱（5）与升降平台（1）滑动连接；升降平台（1）的上表面通过转轴（7）安装有转盘（4），转轴（7）上固装有传动齿圈（8）；转盘（4）一侧的升降平台（1）上通过传动轴安装有驱动齿轮（9），驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴家炳，邓强，廖电军，刘志龙，黄若杰，商春利，张国君，
申请(专利权)人：湖北菲利华石英玻璃股份有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42