一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚、下支撑板、安装板、降温辊、上支撑板和加热箱体，所述安装板下端两侧均安装有下支撑板，所述下支撑板下端前后两侧均安装有防滑支脚，所述安装板中间位置处安装有降温辊，所述降温辊中间位置处安装有中间转动轴，所述安装板前表面安装有散热风机，所述安装板上端安装有上支撑板，所述上支撑板内侧安装有限位板，且限位板中间位置处安装有加热箱体，所述加热箱体内部安装有加热装置，所述加热箱体下端安装有液压阀门。本实用新型专利技术能通过加热箱体将氮化硅进行加热，通过加热箱体下端的出料口流出，通过下端的降温辊将氮化硅的温度下降，就能够凝聚成氮化硅薄膜，制作方便且简单。

A silicon nitride film preparation equipment for solar cells

The utility model discloses a silicon nitride film preparation equipment for solar cells, which comprises a skid-proof support plate, a lower support plate, a mounting plate, a cooling roller, an upper support plate and a heating box body. The lower end of the mounting plate is provided with a lower support plate on both sides, and the lower end of the lower support plate is provided with a skid-proof support plate on both sides. A cooling roller is installed at the middle position, an intermediate rotating shaft is installed at the middle position of the cooling roller, a cooling fan is installed on the front surface of the installation plate, an upper support plate is installed at the end of the installation plate, a finite position plate is installed inside the upper support plate, and a heating box is installed at the middle position of the limit plate, and the heating box is arranged at the middle position of the upper support plate. A heating device is installed inside the body, and a hydraulic valve is installed at the lower end of the heating box. The utility model can heat the silicon nitride through the heating box, flow out through the outlet at the lower end of the heating box, and reduce the temperature of the silicon nitride through the cooling roller at the lower end, so that the silicon nitride film can be condensed into a silicon nitride film, which is convenient and simple to manufacture.

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备
本技术涉及氮化硅膜制备设备
，具体为一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备。
技术介绍
由于太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，为了减少太阳光的反射损失，通常所采取的办法是在太阳能电池的硅片表面覆盖一层减反射膜，氮化硅膜具有高绝缘性、化学稳定性好、致密性好、硬度高等特点，同时具有良好的掩蔽金属和水离子扩散的能力，从而被广泛采用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，具备能够成形含有氮化硅的薄膜，使薄膜更好的应用在太阳能上的优点，解决了现有设备在制备氮化硅薄膜的时候，脱膜不方便的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚、下支撑板、安装板、降温辊、上支撑板和加热箱体，所述安装板下端两侧均安装有下支撑板，所述下支撑板下端前后两侧均安装有防滑支脚，所述下支撑板内侧下端安装有安装扣件，所述安装扣件之间通过收集箱体连接，所述安装板中间位置处安装有降温辊，所述降本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚(1)、下支撑板(2)、安装板(4)、降温辊(5)、上支撑板(6)和加热箱体(8)，其特征在于：所述安装板(4)下端两侧均安装有下支撑板(2)，所述下支撑板(2)下端前后两侧均安装有防滑支脚(1)，所述下支撑板(2)内侧下端安装有安装扣件(12)，所述安装扣件(12)之间通过收集箱体(3)连接，所述安装板(4)中间位置处安装有降温辊(5)，所述降温辊(5)中间位置处安装有中间转动轴(13)，所述安装板(4)前表面安装有散热风机(11)，所述安装板(4)上端安装有上支撑板(6)，所述上支撑板(6)内侧安装有限位板(7)，且限位板(7)中间位置处安...

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚(1)、下支撑板(2)、安装板(4)、降温辊(5)、上支撑板(6)和加热箱体(8)，其特征在于：所述安装板(4)下端两侧均安装有下支撑板(2)，所述下支撑板(2)下端前后两侧均安装有防滑支脚(1)，所述下支撑板(2)内侧下端安装有安装扣件(12)，所述安装扣件(12)之间通过收集箱体(3)连接，所述安装板(4)中间位置处安装有降温辊(5)，所述降温辊(5)中间位置处安装有中间转动轴(13)，所述安装板(4)前表面安装有散热风机(11)，所述安装板(4)上端安装有上支撑板(6)，所述上支撑板(6)内侧安装有限位板(7)，且限位板(7)中间位置处安装有加热箱体(8)，所述加热箱体(8)内部安装有加热装置(9)，所述加热装置(9)位于加热箱体(8)内部安装有加热盘管(16)，所述加热盘管(16)一侧上端安装有盘管正极(17)，所述加热盘管(16)一侧下端安装有盘管负极(19)，且盘管正极(17)和盘管负极(19)之间通过盘管安装板(18)连接，所述加热箱体(8)下端安装有液压阀门(10)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凯，
申请(专利权)人：天津市瓦克新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12