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本实用新型公开了一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚、下支撑板、安装板、降温辊、上支撑板和加热箱体，所述安装板下端两侧均安装有下支撑板，所述下支撑板下端前后两侧均安装有防滑支脚，所述安装板中间位置处安装有降温辊，所述降温辊中间位置...
该专利属于天津市瓦克新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市瓦克新能源科技有限公司授权不得商用。

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