The invention discloses a multi-wire ultrasonic cleaning and annealing integrated machine for bonding wire, including a bracket. The bracket is successively provided with a wire setting device, a tension control system, an ultrasonic cleaning device, an annealing device and a wire taking-up device. The cleaning and annealing processes of multiple bonding wires can be carried out simultaneously through multiple sets (four groups) of setting-off, cleaning, annealing and taking-up devices, thus effectively improving the processing efficiency; the continuous and rapid taking-off of fine bonding wires with a diameter of less than 0.03 mm can be effectively realized by the tension control system; and the continuous and quick taking-off of the wires can be achieved by the temperature regulator. By accurately controlling the annealing temperature and setting the inner and outer pipes, the high temperature annealing of the micro-bonded wire can be realized under the protective atmosphere, thus solving the problem that the wire body is prone to oxidize at high temperature.
【技术实现步骤摘要】
键合线多线超声清洗退火一体机
本专利技术涉及键合线
,具体涉及键合线多线超声清洗退火一体机。
技术介绍
随着集成电路及半导体器件向封装多引线化、高集成度和小型化发展,要求线径更细、电学性能更好的键合丝进行窄间距、长距离的键合。此外,芯片密度的不断提高,对键合材料的导热性和可靠性提出了更高的要求。键合线制备工艺主要包括拉丝与退火。由于软态键合线径仅为十几到几十微米,与宏观金属材料相比更易于在空气中被氧化,并且经过拉丝工序的软态键合线表面会存在拉丝油剂残留,因此有必要在退火工序前对软态键合线进行清洗,并且尽量减少清洗工序到退火工序之间的时间间隔。因此,本领域的技术人员致力于开发一种键合线的清洗退火装置,实现对软态键合线清洗、退火的一体化操作。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种键合线多线超声清洗退火一体机,其实现了键合线超声清洗和退火工序的连续进行,保证了键合线的加工质量和生产效率。本专利技术所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现:键合线多线超声清洗退火一体机,包括支架,所述支架上依次设有放线装置、张力控制系统、超声清洗装置、退火装置和收线装置。所述放线装置设有驱动器、若干放线杆、以及设在每个放线杆上的放线轴,所述驱动器的输出端与放线轴连接;所述张力控制系统设有控制器以及与控制器连接的若干张力杆,且在每个张力杆上均设有张力导轮;所述清洗装置设有槽体、缸体和超声发生装置;所述槽体由外槽和内槽组成,所述超声发生装置的超声振子设于内槽内,所述缸体设在槽体的下方,缸体内设有泵体,所述泵体通过管路与内槽连通;所述退火装置包括两个对称放置的各自独立 ...
【技术保护点】
1.键合线多线超声清洗退火一体机,包括支架(1),其特征在于:所述支架(1)上依次设有放线装置、张力控制系统、超声清洗装置、退火装置和收线装置,所述放线装置设有驱动器、若干放线杆(2)、以及设在每个放线杆(2)上的放线轴(3),所述驱动器的输出端与放线轴(3)连接;所述张力控制系统设有控制器以及与控制器连接的若干张力杆(4),且在每个张力杆(4)上均设有张力导轮(5);所述清洗装置设有槽体、缸体(6)和超声发生装置(7);所述槽体由外槽(8)和内槽(9)组成,所述超声发生装置(7)的超声振子设于内槽(9)内,所述缸体(6)设在槽体的下方,缸体(6)内设有泵体(10),所述泵体(10)通过管路与内槽(9)连通;所述退火装置包括两个对称放置的各自独立的炉体(11),以及设在炉体(11)上的温度调节器(12);所述炉体(11)包括600mm‑2000mm长的外管(13),所述外管(13)周围包裹着若干段100mm‑300mm宽的加热片(14)和保温外壳(15);所述外管(13)内部水平且平行放置有两根用于过线的内管(16);所述温度调节器(12)用于设定并调节炉体(11)温度;所述收线装置包 ...
【技术特征摘要】
1.键合线多线超声清洗退火一体机,包括支架(1),其特征在于:所述支架(1)上依次设有放线装置、张力控制系统、超声清洗装置、退火装置和收线装置,所述放线装置设有驱动器、若干放线杆(2)、以及设在每个放线杆(2)上的放线轴(3),所述驱动器的输出端与放线轴(3)连接;所述张力控制系统设有控制器以及与控制器连接的若干张力杆(4),且在每个张力杆(4)上均设有张力导轮(5);所述清洗装置设有槽体、缸体(6)和超声发生装置(7);所述槽体由外槽(8)和内槽(9)组成,所述超声发生装置(7)的超声振子设于内槽(9)内,所述缸体(6)设在槽体的下方,缸体(6)内设有泵体(10),所述泵体(10)通过管路与内槽(9)连通;所述退火装置包括两个对称放置的各自独立的炉体(11),以及设在炉体(11)上的温度调节器(12);所述炉体(11)包括600mm-2000mm长的外管(13),所述外管(13)周围包裹着若干段100mm-300mm宽的加热片(14)和保温外壳(15);所述外管(13)内部水平且平行放置有两根用于过线的内管(16);所述温度...
【专利技术属性】
技术研发人员:程平,
申请(专利权)人:合肥中晶新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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