有机EL显示装置的制造方法制造方法及图纸

根据实施方式的有机EL显示装置的制造方法包括:工序(a),其为在支撑基板(12)上形成高分子膜(14)的工序；工序(b),其为在所述高分子膜(14)之上形成多个有机EL显示面板部(20)的工序；工序(c),其为在平台(200S)上将所述有机EL显示面板部(20)朝向所述平台(200S),将线束(100L)从所述支撑基板(12)侧至少照射至所述高分子膜(14)与所述支撑基板(12)的界面,同时使所述线束(100L)与所述支撑基板(12)相对地移动的工序,所述工序(c)在将所述有机EL显示面板部(20)从所述平台(200S)实质性的断热后的状态下进行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机EL显示装置的制造方法
本专利技术是关于有机EL显示装置,尤其是关于柔性的有机EL显示装置的制造方法。
技术介绍
有机EL(ElectroLuminescence)显示装置已开始实用化。作为有机EL显示装置的特征之一,例举可以获得柔性的显示装置。有机EL显示装置中,每个像素中包括至少一个OLED(OrganicLight-EmittingDiode)与控制向各OLED提供电流的至少一个TFT(ThinFilmTransistor)。下面,将有机EL显示装置称为OLED显示装置。如此,将每个OLED中具有TFT等的开关元件的OLED显示装置称为有源矩阵型OLED显示装置。作为柔性OLED显示装置的基板,研究了有塑料基板、金属箔、高分子膜等,但为了得到与液晶显示屏同等水平的显示性能,需要形成上述的TFT,而为了对应TFT制作工序中的高温过程,使用耐热性高分子膜(例如,聚酰亚胺膜)。然而,使用柔性的高分子膜作为基板,并在高分子膜上形成TFT、OLED,这从尺寸精度等的观点来看极其困难。由此,在现有技术中,在支撑基板(典型地为玻璃基板)上形成高分子膜,并在支撑基板上的高分子膜之上形成含有TFT、OLED的显示面板部后,通过将高分子膜从支撑基板剥离,从而得到柔性OLED显示面板。然后,根据OLED显示面板的需要,安装驱动电路等,而得到柔性OLED显示装置。作为将高分子膜从支撑基板剥离的方法,研究了有激光剥离(LaserLift-Off:LLO)法(例如,专利文献1及2)。LLO法是将从准分子激光或YAG(钇铝石榴石,Yttrium-AluminumGarnet)激光射出的高输出的脉冲激光聚光并照射至高分子膜与支撑基板的界面,使高分子膜发生物理的或化学的变化,而将高分子膜从支撑基板剥离。脉冲激光是剖面形状以细长的直线状形成延长的光束。这样的直线状的光束称为「线束」。线束的照射面的形状、即光照射区域的形状,例如,为长轴方向350mm、短轴方向1mm以下的矩形。通过使线束相对支撑基板向短轴方向相对地移动,从而可以在支撑基板的整个面上连续地剥离高分子膜。然而,在支撑基板的整个面上均匀地剥离高分子膜不易。专利文献1中记载的方法是在与形成高分子膜的显示面板部的一侧相反的一侧,形成有含有金属或金属酸化物的表面残留膜。在表面残留膜与支撑基板之间,或表面残留膜与高分子膜之间发生剥离。另一方面,在专利文献2中记载有:若如专利文献1所记载地剥离支撑基板的整个面,则在含有不能作为柔性显示面板使用的部分的状态下,因需要进行后段工序而很繁杂。专利文献2公开了一种方法:通过将剥离防止层形成于规定的位置,从而选择性地剥离仅作为柔性显示面板使用的部分。现有技术文献专利文献专利文献1:特开2011-48374号公报专利文献2:特开2014-48619号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题然而,专利文献1及2中记载的方法均需要形成用于LLO法的剥离工序的多余的层(表面残留膜或剥离防止层),因此使得成本上升。本专利技术的主要目的在于提供一种与现有技术相比低成本地制造柔性OLED显示装置的方法。解决问题的手段根据本专利技术的实施方式的有机EL显示装置的制造方法,其特征在于,包括:工序(a),其为在支撑基板上形成高分子膜的工序；工序(b),其为在所述高分子膜之上形成多个有机EL显示面板部的工序；工序(c),其为在平台上使所述多个有机EL显示面板部朝向所述平台,并从所述支撑基板侧至少将线束照射至所述高分子膜与所述支撑基板的界面,同时使所述线束与所述支撑基板相对地移动的工序,所述工序(c)在将所述多个有机EL显示面板部从所述平台实质性的断热后的状态下进行。在一实施方式中,所述工序(c)在所述多个有机EL显示面板部从所述平台分离的状态下进行。在一实施方式中,形成所述多个有机EL显示面板部的工序,包括形成排列成至少一列的多个有机EL显示面板部的工序,进一步包括,在所述工序(c)之前,将驱动电路安装于所述排列成至少一列的多个有机EL显示面板部的工序。在一实施方式中,在所述工序(c)中,利用配置于所述支撑基板的所述多个有机EL显示面板部之间的区域与所述平台之间的间隔部件,所述多个有机EL显示面板部维持与所述平台分离的状态。本专利技术的根据其他实施方式的有机EL显示装置的制造方法包括:工序(a),其为在支撑基板上形成高分子膜的工序；工序(b),其为在所述高分子膜之上形成多个有机EL显示面板部的工序；工序(c),其为在平台上使所述多个有机EL显示面板部朝向所述平台,并从所述支撑基板侧至少将线束聚光并照射至所述高分子膜与所述支撑基板的界面,同时使所述线束与所述支撑基板相对地移动的工序,所述工序(c)是在使从所述高分子膜与所述支撑基板的界面向所述多个有机EL显示面板部的散热速度,与从所述高分子膜与所述支撑基板的界面向所述多个有机EL显示面板部的间隙部分的散热速度实质均等的状态下进行。在一实施方式中,所述工序(c)是在加热了所述平台的状态下进行。专利技术效果根据本专利技术的实施方式,提供一种与现有技术相比可以低成本地制造柔性OLED显示装置的方法。附图说明图1(a)及(b)为在本专利技术的实施方式的OLED显示装置的制造过程得到的、多倒角面板基板10a及10b的示意性的俯视图,(c)为沿着(a)中的1C-1C线的示意性的剖面图。图2(a)及(b)为根据本专利技术的实施方式的OLED显示装置的制造方法得到的OLED显示面板10A及10B的示意性的俯视图。图3是示意性地示出本专利技术的实施方式的OLED显示装置的制造所使用的线束照射装置1000的构成例的立体图。图4(a)是示意性地示出使用线束照射装置1000而根据LLO法,从面板基板10a剥离聚酰亚胺膜14的工序的剖面图,(b)是示意性地示出线束照射时的热的流动(虚线箭头)的图。图5(a)及(b)是示出根据本专利技术的实施方式的OLED显示装置的制造方法的LLO工序的示意图。图6是示出根据本专利技术的实施方式的OLED显示装置的制造方法的其他的LLO工序的示意图。图7为照射能量密度不同的激光后的聚酰亚胺膜的光学图像。图8为激光照射后(使能量密度从150mJ/cm2增大至170mJ/cm2)的聚酰亚胺膜的光学图像。图9(a)为在能量密度为170mJ/cm2的条件下,贴附有剥离聚酰亚胺膜后的玻璃基板(左)及PET的聚酰亚胺膜(右)的光学图像,(b)是示出将试做的OLED显示面板从玻璃基板剥离的状态(左)的光学图像,(c)是示出试做的OLED显示面板的发光状态的光学图像。图10(a)及(b)是示出间隔部件42A示意图。图11(a)～(c)是用于说明间隔部件50的图。图12(a)～(d)是用于说明间隔部件50A的图。图13(a)及(b)是用于说明间隔部件50B的图。图14是示意性地示出顶部发光方式的OLED显示面板200的剖面图。具体实施例下面,参照说明书附图说明本专利技术的实施方式的OLED显示装置的制造方法。图1(a)及(b)中示出在本专利技术的实施方式的OLED显示装置的制造过程得到的、多倒角面板基板10a及10b的示意性的俯视图。图1(c)为沿着图1(a)中的1C-1C线的示意性的剖面图。如图1(c)所示,在形成于支撑基板12上的耐热性高分子膜14上,形成多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机EL显示装置的制造方法,其特征在于,包括:工序(a),其为在支撑基板上形成高分子膜的工序；工序(b),其为在所述高分子膜之上形成多个有机EL显示面板部的工序；工序(c),其为在平台上使所述多个有机EL显示面板部朝向所述平台,并从所述支撑基板侧至少将线束照射至所述高分子膜与所述支撑基板的界面,同时使所述线束与所述支撑基板相对地移动的工序,所述工序(c)在将所述多个有机EL显示面板部从所述平台实质性的断热后的状态下进行。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.12.28 JP 2015-2564641.一种有机EL显示装置的制造方法,其特征在于,包括:工序(a),其为在支撑基板上形成高分子膜的工序；工序(b),其为在所述高分子膜之上形成多个有机EL显示面板部的工序；工序(c),其为在平台上使所述多个有机EL显示面板部朝向所述平台,并从所述支撑基板侧至少将线束照射至所述高分子膜与所述支撑基板的界面,同时使所述线束与所述支撑基板相对地移动的工序,所述工序(c)在将所述多个有机EL显示面板部从所述平台实质性的断热后的状态下进行。2.如权利要求1所述有机EL显示装置的制造方法,其特征在于,所述工序(c)在所述多个有机EL显示面板部从所述平台分离的状态下进行。3.如权利要求1或2所述有机EL显示装置的制造方法,其特征在于,形成所述多个有机EL显示面板部的工序,包括形成排列成至少一列的多个有机EL显示面板部的工序,进一步包括,在所述工序(c)之前,将驱动电路安装于所述排列成至少一列的多个有机EL显示...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中康一，
申请(专利权)人：鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71